本発明は、トリクロロシラン及び四塩化ケイ素を金属シリコンから製造するための多段階の方法に関し、その際、第一の段階において、トリクロロシラン及び四塩化ケイ素を金属シリコンから製造し、かつ、第二の段階において、四塩化ケイ素を最終生成物のトリクロロシランへとさらに処理する。そのうえまた、本発明は、係る方法が組み込まれて実施されることができる装置に関する。 （もっと読む）

本発明は、水素の存在下で四塩化ケイ素をトリクロロシランへと接触水素化脱ハロゲン処理する方法の必須の要素としてのセラミック熱交換器の使用に関し、その際、生成物ガス及び出発材料ガスを、加圧下にある流として、該熱交換器に導き、かつ、該熱交換器が、セラミック材料より成る熱交換器エレメントを包含する。 （もっと読む）

【課題】高温ガス、例えば水素及びテトラクロロシランとの接触に適した装置を提供する。
【解決手段】
反応器１００は、テトラクロロシランの水素化に用いることができる。反応器１００は、炭化ケイ素系の構成材料から調製される少なくとも１つの部品を有する。反応器１００は、加圧可能シェル１０１と、加圧可能シェル１０１に囲まれた断熱材１０２と、断熱材１０２に囲まれた加熱要素１０６と、加熱要素１０６に囲まれた反応室１０７とを含む。 （もっと読む）

本発明は、アルカリ金属又はアルカリ土類金属とアルミニウムとのフッ化物塩の蒸解により四フッ化ケイ素を生成するための方法、任意にはケイ素源存在下で、四フッ化ケイ素を生成するためのシラン生成物の副産物の酸蒸解を含んで成るシラン生成方法に関する。 （もっと読む）

本発明は、トリクロロシランの生成反応の反応生成物からトリクロロシラン及びテトラクロロシランを主成分とするクロロシラン混合物を分離させる前処理段階と、上記クロロシラン混合物を微量の不純物及びトリクロロシランの混合物からなる第１上部ストリームと、テトラクロロシランを主成分とする第１下部ストリームとに分離させる第１精製段階と、上記第１上部ストリームを微量の低沸点不純物とトリクロロシランの混合物からなる第２上部ストリームと、微量の高沸点不純物とトリクロロシランの混合物からなる第２下部ストリームとに分離させる第２精製段階と、上記第２下部ストリームをトリクロロシランを主成分とする第３上部ストリームと、微量の高沸点不純物及びトリクロロシラン混合物からなる第３下部ストリームとに分離させる第３精製段階を含み、このとき、上記第３精製段階は、上記第２精製段階より高い圧力条件下で行われ、上記第２下部ストリームと上記第３上部ストリームの間で熱交換が行われることを特徴とするトリクロロシランの精製方法を提供する。 （もっと読む）

本発明は、ホウ素含有化合物に関して特定純度のハロゲン化ポリシランを純粋な化合物又は化合物の混合物として生成する方法である。本発明の一実施形態は、一般式Ｈ_pＳｉ_n-pＸ_(2n+2)-p（式中、n=1〜50、0≦p≦2n+1、X=F,Cl,Br,I）のハロゲン化ポリシランを、ハロゲン化ポリシランを含有、又は混合物中でハロゲン化ポリシランが形成されている混合物から、個別の化合物、又は化合物の混合物として生成する方法である。混合物は、ホウ素含有不純物を含有する。方法は、ａ）混合物を、少なくとも1ppbw（10億分の1重量部）のシロキサン形成酸化剤又はシロキサン自体と反応させる方法ステップであって、ホウ素含有不純物が、シロキサンと、ハロゲン化ポリシランとは異なる揮発性及び／又は溶解性を有する化合物を形成する方法ステップと、ｂ）ハロゲン化ポリシランをこれらの化合物と分離する方法ステップとを含み、水が最高で1ppmw、シロキサンが最低で1ppbw存在する。 （もっと読む）

本発明は、長鎖ハロゲン化ポリシランの熱分解により、短鎖ハロゲン化ポリシラン、ならびに／または短鎖ハロゲン化ポリシランおよびハロゲン化物含有ケイ素を製造するための方法および装置に関する。低分子ハロシランで希釈された長鎖ハロゲン化ポリシランの熱分解がハロシランの雰囲気下で行われることにより、簡単で費用対効果の高い方法で、工業的な規模でそのような生成物を確実に製造する。
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本発明は、ヘキサクロロジシランの生成方法に関するものである。ヘキサクロロジシランは、実験式ＳｉＣｌｘ（ｘ＝０．２〜０．８）の塩素化ポリシランの、塩素ガスを用いる酸化的分裂によって得られる。その結果として、ヘキサクロロジシランは高収率で選択的に得られる。 （もっと読む）

本発明は、水素化ポリゲルマシランを純粋な化合物または化合物の混合物として製造するための方法であって、ハロゲン化ポリゲルマシランが水素化される方法に関する。本発明はまた、水素化ポリゲルマシラン、該水素化ポリゲルマシランから製造されるゲルマニウム層、およびかかる層を製造するための方法にも関する。 （もっと読む）

本発明は、反応速度論的に安定した、化合物の混合物としてのハロゲン化ポリシランに関し、ここで各々の混合成分は少なくとも４つの連結したケイ素原子を有しており、これの置換基は塩素、および塩素と水素であり、この組成は、置換基対ケイ素の原子比は少なくとも１：１であり、ａ）該反応速度論的に安定したハロゲン化ポリシランは塩素による酸化的開裂に関して反応速度論的に高い安定性を有し、摂氏１２０度での１０時間内の変換率は、1013hPaの過剰量の塩素ガスの存在のもとで30mol%を越えるものでなく、且つｂ）該反応速度論的に安定したハロゲン化ポリシランは、該ポリシラン分子中における分岐部位の部分が8mol%より大きく、好ましくは11mol%より大きい。当該反応速度論的に安定したハロゲン化ポリシランは、これに比べ安定性が劣る従来のハロゲン化ポリシランよりも新しい用途がある。 （もっと読む）