【課題】反応炉の外壁を腐食させることなく、クロロシラン重合物を効率よく分解する。
【解決手段】クロロシラン重合物の分解方法であって、クロロシラン重合物およびＨＣｌを混合してなる原料ガスを予熱温度Ｔｉ［℃］に予熱する予熱工程と、予熱された前記原料ガスを分解炉内に滞留させる分解工程とを有し、前記分解工程での前記原料ガスの前記分解炉内における平均滞留時間ｔ［秒］とすると、Ｔ１≦Ｔｉ≦Ｔ２，Ｔ１＝６００×ｔ^{（−０．０５７）}−１５０，Ｔ２＝１９０×ｔ^{（−０．９）}＋４７０ただしｔ≦１０かつ４００≦Ｔｉ≦５５０を満たす。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１種のハロゲンシランを不均化し、かつ少なくとも１種のハロゲンシラン及び得られた少なくとも１種のシランの異種金属及び／又は異種金属を含有する化合物の含量を低下させる方法に関し、一般式Ｉ Ｈ_nＳｉＣｌ_m（Ｉ）［式中ｎ及びｍは整数、かつｎ＝１、２又は３及びｍ＝１、２又は３及びｎ＋ｍ＝４］の少なくとも１種のハロゲンシランが粒状の有機アミノ官能性樹脂と接触され、かつ一般式ＩＩ Ｈ_aＳｉＣｌ_b（ＩＩ）［式中ａ及びｂは整数、かつａ＝０、２、３又は４及びｂ＝０、１、２又は４、ここでａ＋ｂ＝４］の少なくとも１種のシランが工程で取得され、かつ前記シラン中の異種金属及び／又は異種金属を含有する化合物の含量が式Ｉのハロゲンシランに比べて低下されている。本発明の対象はさらにハロゲンシランを不均化するため及びモノシランの製造方法における異種金属又は異種金属を含有する化合物の吸着剤としてのこの樹脂の使用である。 （もっと読む）

本発明は、著量の水を含有する、アミノ官能性の高分子触媒前駆体を、その内部の多孔質構造およびその外部の球形の形状を維持しつつ、触媒の形成下に処理する方法に関するものであり、本発明による方法では、触媒前駆体を緩和な温度および減圧下に処理し、かつ２．５質量％未満の含水率を有する触媒が製造される。本発明による方法は有利には、シラン類からジクロロシラン、モノシラン、シランまたは太陽発電用もしくは半導体用ケイ素を製造する大工業的な方法に統合されている。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１種の無機シラン及び少なくとも１種の異種金属及び／又は異種金属を含有する化合物を含有する組成物を、前記組成物を少なくとも１種の有機アミノ官能化ポリマー吸着剤と接触させ、かつ異種金属及び／又は異種金属を含有する化合物の含量が低下されている組成物を取得することにより、処理する方法、並びに無機シランの組成物中の異種金属及び／又は異種金属を含有する化合物の含量の減少のための吸着剤の使用に関する。 （もっと読む）

本発明の対象は、一般式（１）及び（２）
Ｓｉ_nＸ_2n+2 （１）
Ｓｉ_mＸ_2m （２）
［式中、Ｘは、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩから選択され、ｎは、２〜１０の整数を意味し、かつｍは、３〜１０の整数を意味する］のオリゴハロゲンシランから選択されるオリゴハロゲンシランの製造方法であって、ケイ素と、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｖ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ｗ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｃｄ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｐ、Ｓｂ、Ｂｉ、Ｓ、Ｓｅ、Ｔｅ及びＰｂ及びそれらの混合物から選択される金属のハロゲン化物とを含有する混合物を、−１２５℃〜１１００℃の温度で反応させ、そして形成されたオリゴハロゲンシランを、Ｎ₂、希ガス、ＣＨ₃Ｃｌ、ＨＣｌ、ＣＯ₂、ＣＯ、Ｈ₂及びＳｉＣｌ₄から選択されるキャリヤーガスで除去する、前記製造方法である。 （もっと読む）

本発明の主題は、一般式（１） Ｓｉ（ＳｉＲ₃）₄ （１）のネオペンタシランの製造方法において、一般式（２） Ｒ₃Ｓｉ−（ＳｉＲ₂−）_xＳｉＲ₃ （２）［式中、Ｒは、Ｃｌ、Ｂｒ及びＩから選択され、ｘは、負ではない５までの整数を表す］のケイ素化合物を、触媒活性化合物（Ｋ）の存在で反応させ、この場合に形成されるテトラハロゲンシランの分離を、遊離される前記テトラハロゲンシランよりも高い沸点を有する室温で液状の化合物（Ｌ）の存在での蒸留により行う、ネオペンタシランの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】吸着塔の破過現象を早期に予見することにより、吸着塔を適切に管理し、水素ガスを高純度に精製して、高品質の多結晶シリコンを製造する。
【解決手段】トリクロロシラン及び水素ガスを含む原料ガスを反応させて多結晶シリコンを析出するとともに、その析出の際に生じる排ガスからクロロシラン類を凝縮分離し、その後塩化水素を分離した後、水素ガスを精製して原料ガスの一部として再利用する多結晶シリコン製造方法において、水素ガスを精製するための吸着塔を通過した排ガス中のモノシラン量を監視し、該モノシラン量から吸着塔の破過を事前に予見して吸着塔の運転を管理する。 （もっと読む）

【課題】金属級シリコンから高純度シリコン結晶を得る製造工程において、粗製液体ポリクロロシランからリン不純物又はホウ素不純物を除去する方法及び装置、並びに除去剤を提供する。
【解決手段】除去方法は、平均粒径が０．３〜１．００ｍｍであり、水銀圧入法による細孔直径５０〜２２５００ｎｍの細孔容積が０．１０ｍＬ／ｇ以下であり、細孔直径５０ｎｍ以上での細孔容積のピークが細孔直径１００〜４００ｎｍに存在し、ＢＥＴ法による比表面積が１３００ｍ^２／ｇ以上であり、充てん密度が０．５５ｇ／ｍＬ以上であり、強熱残分が０．５質量％以下であり、水中振とう試験によるダスト発生率が６００ｐｐｍ（質量／質量）以下であり、硬さが９９．５％以上である活性炭と、液体ポリクロロシランとを接触させる工程を含む。 （もっと読む）

【課題】塩素化されたシランであって、ＳｉＨ₃Ｃｌ、ＳｉＨ₂Ｃｌ₂及びそれらの組み合わせを含む少なくとも１つの最終生成物をフィード流中のシランに関して５０％以上のモル収率で調製するための方法を提供する。
【解決手段】シランと塩化水素を含む反応混合物を最終生成物を提供するのに十分な温度及び時間で触媒と接触させることにより１つ又は複数の塩素化されたシランを含む最終生成物が提供される。 （もっと読む）

【課題】トリクロロシランの分解とポリマーの生成を効果的に抑制し、トリクロロシランの回収率が高いトリクロロシランの製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】トリクロロシランの製造装置１０は、テトラクロロシランと水素とを含む原料ガスを転換反応させて反応生成ガスを生成する転換炉２０と、転換炉２０から反応生成ガスを供給され、この反応生成ガスを冷却してトリクロロシランを含む反応生成物を回収する冷却器３０とを備え、冷却器３０には、反応生成ガスを冷却する冷却液を噴霧するノズル４０，４２が２以上備えられ、これらノズル４０，４２は冷却液の平均液滴径が異なるものを有し、その噴霧量がそれぞれ調整可能である。 （もっと読む）