【解決課題】製造コストが低く、運転管理及び装置管理が簡便な多結晶シリコンの製造方法を提供すること。
【解決手段】高純度四塩化珪素と亜鉛との反応により生成する排出ガスから分離した該塩化亜鉛及び未反応亜鉛の混合物を酸化する酸化処理と、該混合物を塩酸水溶液に溶解させる塩酸水溶液溶解処理と、酸性抽出剤により亜鉛成分を抽出する亜鉛成分抽出処理と、硫酸水溶液により亜鉛成分を逆抽出する亜鉛成分逆抽出処理と、硫酸亜鉛水溶液を水溶液電解する硫酸亜鉛水溶液電解処理と、該亜鉛成分抽出処理で得られる塩酸水溶液のうちの一部の塩酸水溶液を精製する塩酸精製処理及び塩化水素ガスを気化させる塩化水素気化処理、又は該亜鉛成分抽出処理で得られる塩酸水溶液のうちの一部の塩酸水溶液を気化させ、塩化水素を精製する塩化水素気化精製処理とを有し、該塩酸水溶液のうちの他部、該酸性抽出剤を含有する有機溶媒、及び該硫酸水溶液を循環使用する高純度多結晶シリコンの製造方法。 （もっと読む）

本発明は、様々なフッ化原料と非晶質シリカ（ＳｉＯ_２）及び硫酸を用いたテトラフルオロシラン（ＳｉＦ_４）の連続式製造方法に関する。本発明によれば、テトラフルオロシランの収率を高めることができ、低コストで環境に優しくテトラフルオロシランを連続製造できる。さらに、反応時に発生するフッ化水素の量を最小化し、装置の腐食を最小化することができ、ＳｉＦ_４と水の混合ガスである反応生成物を、高温でＨ_２ＳＯ_４スクラバーに通過させ、水を除去し、凝結された水とＳｉＦ_４の副反応によるシリカゲル及びヘキサフルオロケイ酸の発生を防止し得ることによって、配管の目詰まりやＳｉＦ_４の収率低下を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】不純物汚染を十分に抑制しながら、低コストで、生産性良く気相成長を行うことができる気相成長装置及びシリコンエピタキシャルウェーハの製造方法を提供する。
【解決手段】気相成長装置１０の反応チャンバー１２内に配設されたサセプタ１７のウェーハＷの載置面が、原料ガスから生成された厚さ６〜２０μｍのポリシリコン膜で被覆され、かつ、前記気相成長装置１０を構成する部材のうち前記反応チャンバー１２内に露出した金属部材の表面が、原料ガスから生成された反応副生成物からなる膜で被覆された反応チャンバーを具備する気相成長装置とする。 （もっと読む）

【課題】高い熱効率で供給ガスを加熱するとともに、熱効率を損なうことなく装置の大型化を図ることができ、大量生産を可能にするトリクロロシラン製造装置を提供する。
【解決手段】反応室１０１内に上下方向に沿って設けられ原料ガスを加熱する複数のヒータ２０と、ヒータ２０に接続された複数の通電用電極部２３とを備え、通電用電極部２３は、反応室１０１の底板１３上に突出配置される柱部２４と、柱部２４の上端部に水平方向に沿って設けられ上面にヒータ２０の基端部が電気接続状態に固定される受板部２５とを有しており、受板部２５が隣接状態に配置されることにより反応室１０１の下部にガス導入室１０１ａが区画形成され、反応室１０１を囲む筒状壁体１１Ａにガス導入室１０１ａに原料ガスを案内するガス導入口１１ｂが形成され、受板部２５間の隙間がガス導入室１０１ａに導入された原料ガスを流通させるガス流通路１０２とされる。 （もっと読む）

【課題】クロロシラン類に含まれる不純物に由来する臭素元素を高精度でかつ迅速に定量できる方法；および、テトラクロロシランの製造方法。
【解決手段】３０〜５００ｍＬの容器を４個（１１，１２，１３，１４）備えた加水分解装置（１０）を用いて、（ａ）クロロシラン類と水とを反応させて、反応生成物を含む水溶液を得る工程と、（ｂ）水溶液をアルカリ性化合物で中和した後、イオンクロマトグラフを用いて水溶液中の臭化物イオン濃度を測定し、クロロシラン類に含まれていた不純物に由来する臭素元素を定量する工程、または（ｂ’）誘導結合プラズマ質量分析装置（ＩＣＰ−ＭＳ）を用いて水溶液中の臭素元素濃度を測定し、クロロシラン類に含まれていた不純物に由来する臭素元素を定量する工程とを有する方法によって、クロロシラン類に含まれる不純物に由来する臭素元素を定量する。 （もっと読む）

【課題】高い熱効率で供給ガスを加熱するとともに、熱効率を損なうことなく装置の大型化を図ることができ、大量生産を可能にするトリクロロシラン製造装置を提供する。
【解決手段】反応室１０１の内部空間は、周方向に沿う第１の壁１１Ａ〜１１Ｅにより半径方向に区画されるとともに、周方向と交差する方向に延びる第２の壁１２Ａ，１２Ｂによって複数に区画されており、第１の壁１１Ａ〜１１Ｅ及び第２の壁１２Ａ，１２Ｂの上部又は下部に、導入される原料ガスを、各小空間２１〜２６を順次経由して上下に折り返しながら反応室１０１の中心部に向けて流通させる連通部２８が形成され、各小空間２１〜２６にヒータ４０が設置され、第２の壁１２Ａ，１２Ｂの両側の小空間２１〜２５は、一方が上向き流路用小空間で、他方が下向き流路用小空間とされ、これら小空間２１〜２５が第２の壁１２Ａ，１２Ｂの連通部２８を介して連通している。 （もっと読む）

【課題】反応室内のヒータ表面の最高温度を抑制するとともに、反応室内の伝熱面積を大きくし、供給ガスを高い熱効率で加熱することができる構造を簡略化した組み立て及び点検等の作業性に優れたトリクロロシラン製造装置を提供する。
【解決手段】原料ガスを供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応ガスを生成する反応室１０１と、反応室１０１内に上下方向に沿って設けられ原料ガスを加熱する発熱部２１が形成される複数のヒータ２０と、これらヒータ２０の基端部２２に接続された複数の電極２３と、ヒータ２０の発熱部２１同士間に設置される複数の輻射板２４とが備えられている。 （もっと読む）

【課題】反応室内のヒータ表面の最高温度を抑制し、高い熱効率で供給ガスを加熱できるトリクロロシラン製造装置を提供する。
【解決手段】トリクロロシランと塩化水素等とを含む反応ガスを生成する反応室１０１と、反応室１０１内に上下方向に沿って設けられ原料ガスを加熱する複数のヒータ２０と、ヒータ２０の基端部に接続された複数の電極２３とを備え、ヒータ２０は発熱部２１ａからなる第１ヒータ２０ａと、第１ヒータ２０ａの発熱部２１ａよりも短い発熱部２１ｂの上端に非発熱部からなる輻射板２４ｂが接続された第２ヒータ２０ｂとを備え、第１ヒータ２０ａの発熱部２１ａの一部と、第２ヒータ２０ｂの輻射板２４ｂとが対向配置されており、反応室１０１は第２ヒータ２０ｂの発熱部２１ｂと輻射板２４ｂのうち、第２ヒータ２０ｂの発熱部２１ｂ側に原料ガスの導入口１１ｂを備え、第２ヒータ２０ｂの輻射板２４ｂ側に反応ガスの導出口１５を備える。 （もっと読む）

【課題】高い熱効率で供給ガスを加熱するとともに、熱効率を損なうことなく装置の大型化を図ることができ、大量生産を可能にする。
【解決手段】略筒状の壁体１１、壁体１１の上端を閉じる天板１２および下端を閉じる底板１３を備え、壁体１１の下部に設けられたガス導入流路１１ｂを通じてテトラクロロシランと水素とを含む原料ガスを供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応ガスを生成する反応容器１０と、反応容器１０内に設置され、原料ガスを加熱する複数のヒータ２０とを備え、ヒータ２０は、電気を供給されて発熱する発熱体２１と、発熱体２１の下端を支持する受台２２とを有し、発熱体２１に、その高さ方向の途中位置かつガス導入流路１１ｂの上方に配置されるフランジ２３が水平方向に沿って設けられており、隣接するヒータ２０間にフランジ２３により狭められた原料ガスの流路１０２が形成されているトリクロロシラン製造装置１００。 （もっと読む）

【課題】トリクロロシランとメチルジクロロシランの分離を容易化して高純度のトリクロロシランを得ること。
【解決手段】メチルジクロロシランとテトラクロロシランとトリクロロシランとを含む混合物を蒸留して蒸留前混合物よりもメチルジクロロシラン含有率が高い留分を分画し、この分画された留分を加熱してメチルジクロロシランとテトラクロロシランとの間で塩素の再分配を行ってメチルジクロロシランをメチルトリクロロシランに変換する。そして、このメチルトリクロロシランを含む再分配後の留分を蒸留精製して高純度なトリクロロシランを分離する。この方法では、沸点が蒸留精製の対象であるトリクロロシランの沸点（３２℃）と近いために除去が困難であったメチルジクロロシラン（沸点４１℃）を、テトラクロロシランとの間で塩素の再分配を行うことによりメチルトリクロロシラン（沸点６６℃）に変換させることとして除去を容易なものとしている。 （もっと読む）