【課題】反応原料である金属粉体などの影響を受けにくい熱制御を実現した反応器を提供する。
【解決手段】筒状の内部を一方から他方へ流動させることで少なくとも反応性ガスと金属粉体または無機化合物粉体とを反応させる反応炉を有する反応器であって、温度制御手段を、反応炉の内壁面に沿って、径内方向へ少なくとも二重に設ける。 （もっと読む）

【課題】硬い金属粉体などの接触に対して耐磨耗性が優れた部材を提供する。
【解決手段】気流により移動する金属粉体または無機化合物粉体が接触する部材であって、該部材における粉体が接触する表面にセラミックス層やダイヤモンド膜などの磨耗防止手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】反応室内の温度分布を均一にしてさらに高い熱効率で供給ガスを加熱するとともに、熱効率を損なうことなく装置の大型化を図ることができ、大量生産を可能にするトリクロロシラン製造装置を提供する。
【解決手段】下方から前記原料ガスを供給されて反応ガスを生成する略筒状の反応室と、前記反応室内に設置されて前記原料ガスを加熱する複数のヒータと、これらヒータの下端に接続され前記反応室の底板に固定された複数の電極とを備え、各前記ヒータは、一対の前記電極に固定された一対の非発熱部と、これら非発熱部に取り付けられ電気を供給されて発熱する発熱部とを有し、前記発熱部は、各前記非発熱部から上方へ延びて前記一対の非発熱部間を接続する板状の第１発熱体と、この第１発熱体よりも高さが低く、前記非発熱部から上方へ延びて前記一対の非発熱部間を接続する板状の第２発熱体とを備えるトリクロロシラン製造装置。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコンの製造工程等において発生するクロロシラン類のポリマーを、確実かつ安全に効率よく処理する。
【解決手段】クロロシラン類を含有するポリマーを処理するポリマー処理装置１０であって、加水分解の処理水Ｗ１を保持する液槽部２２と、液槽部２２の上部に接続された散水塔２４とを有する処理槽２０と、処理槽２０内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段７０と、散水塔２４の上部に接続され、下方に向けて開放した開口部４０ａを有するガス案内塔４０と、水封水Ｗ２を保持する水封槽５０と、を有し、ガス案内塔４０の開口部４０ａが水封水Ｗ２中に収容されることにより、処理槽２０の散水塔２４およびガス案内塔４０の内部気体が処理槽２０および水封槽５０によって水封されるとともに、不活性ガス供給手段７０によって処理槽２０内に不活性ガスが供給され、処理槽２０およびガス案内塔４０の内部が陽圧に維持される。 （もっと読む）

【課題】金属シリコンと塩化水素との反応によりトリクロロシランを製造するに際し、反応生成ガスからトリクロロシランを凝縮分離した後の排ガスを、効果的に工業的に実施し得る方法を提供する。
【解決手段】金属シリコンに塩化水素を反応させてトリクロロシランを生成せしめる第１の製造プロセスと、金属シリコンにテトラクロロシラン及び水素を反応させてトリクロロシランを生成せしめる第２の製造プロセスとを、互いに独立したプロセスで含み、前記第１の製造プロセスにより得られたトリクロロシランを含む反応生成ガスから、該トリクロロシランを凝縮分離し、トリクロロシランが凝縮分離された後の排ガスを、水素源として第２の製造プロセスに供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い熱効率で供給ガスを加熱するとともに、熱効率を損なうことなく装置の大型化を図ることができ、大量生産を可能にする。
【解決手段】テトラクロロシランと水素とを含む原料ガスを供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応ガスを生成する反応室１１を有する反応容器２０と、反応室１１内に備えられて原料ガスを加熱するヒータ３０と、反応容器２０の周囲を覆うように設けられた断熱容器４０と、断熱容器４０と反応容器２０との間にこの反応容器２０を囲むように設けられ、反応室１１に原料ガスを供給するガス供給流路１５とを備えるトリクロロシラン製造装置。 （もっと読む）

【課題】反応流体から金属シリコン粉末やその酸化物、不純物成分を効率的に除去して、不純物の少ないトリクロロシランを得る。
【解決手段】反応炉２内に供給された金属シリコン粉末を塩化水素ガスによって流動させながら反応させ、この反応により生成されたトリクロロシランを浄化しながら取り出すトリクロロシラン製造装置１において、反応炉２に接続されたトリクロロシラン浄化系５に、反応炉２から排出されるトリクロロシランを含む反応流体中の粗粒子を分離して捕集する粗粒子分離手段２１と、該粗粒子分離手段２１で捕集された粗粒子を反応炉２内に戻す粗粒子回収系２５と、粗粒子分離手段２１を通過した反応流体中の微小粒子を除去するフィルター２７とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】塩化工程で分離したポリマーを原料の一部として用い、配管閉塞を防ぎながら効率的にトリクロロシランに転換する。
【解決手段】分解炉２に、分解炉２の内部を加熱する加熱手段１１と、分解炉２の内底部を除き内部空間を内側空間と外側空間とに二分する上下方向に沿う中心管体３と、中心管体３の内側空間又は外側空間のいずれか一方の空間にポリマー及び塩化水素を供給する原料供給管１５と、他方の空間から反応後のガスを導出する反応ガス導出管７とが設けられるとともに、原料供給管１５は、ポリマーを供給するポリマー供給管５と、塩化水素を供給する塩化水素供給管６とを備え、ポリマー供給管５及び塩化水素供給管６から供給されるポリマー及び塩化水素の合流部が、分解炉２の内部空間又は分解炉２の外部のいずれか一方で、少なくとも２００℃以上の温度領域に形成されている。 （もっと読む）

本発明は、トリクロロシラン及び四塩化ケイ素を金属シリコンから製造するための多段階の方法に関し、その際、第一の段階において、トリクロロシラン及び四塩化ケイ素を金属シリコンから製造し、かつ、第二の段階において、四塩化ケイ素を最終生成物のトリクロロシランへとさらに処理する。そのうえまた、本発明は、係る方法が組み込まれて実施されることができる装置に関する。 （もっと読む）

本発明は、水素の存在下で四塩化ケイ素をトリクロロシランへと接触水素化脱ハロゲン処理する方法の必須の要素としてのセラミック熱交換器の使用に関し、その際、生成物ガス及び出発材料ガスを、加圧下にある流として、該熱交換器に導き、かつ、該熱交換器が、セラミック材料より成る熱交換器エレメントを包含する。 （もっと読む）