【課題】粒子サイズや形状が揃った単分散の弗素含有複合塩、特に２群以上の固溶不可能なカチオン種群を含み、それぞれの群が結晶学的に区別されたサイトを占めるような弗素含有複合塩を製造する新規な方法を提供すること。
【解決手段】溶媒中に溶解させた状態の複数種のカチオンとフルオロアニオンを含む反応母液に、フルオロアニオンの分解を促進するトリガーを作用させて、複数種のカチオンおよび弗素を含有する複合塩を反応母液から固体として析出させることを特徴とする、弗素含有複合塩の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、バイオ由来シリカと炭素質物質と少量の金属ケイ素を塩素と反応させる四塩化ケイ素の製造方法において、工業的な実施に適すると同時に、シリカの反応率の高い製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明者らは、バイオ由来シリカと炭素質物質との混合物を、塩素と反応させて、四塩化ケイ素を製造する方法において、篩分粒径が１．０ｍｍ以上４．８ｍｍ以下の金属ケイ素を、シリカに対して、１０〜３０ｗｔ％加えて塩素化反応を行うことにより、外部からの余分なエネルギー供給の必要がなく、高いシリカ反応率で四塩化ケイ素が製造できることを見出した。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコンの製造原料であるトリブロモシランを高い選択率及び／又は高い収率で得ることができる製造方法を提供すること。
【解決手段】金属グレードシリコン及び臭化水素を３８０〜４５０℃、好ましくは３８０〜４３０℃で反応させ、蒸留により分離回収するトリブロモシランの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】汚染されたクロロシランをわずかなコストで精製しかつその場合に存在する不純物をできる限り少量の搬出量に濃縮し、搬出すること
【解決手段】ＴＣＳ、ＤＣＳ及びＳＴＣを含むクロロシランからなるホウ素含有混合物を準備する工程、及び複数の蒸留塔中でクロロシランからなる前記混合物を蒸留により精製する工程を有し、低沸点のホウ素化合物を、ホウ素濃度が高められたＤＣＳを含む塔頂流によって前記蒸留塔から分流し、及び高沸点のホウ素化合物を、高沸点物を含むホウ素濃度が高められた塔底流によって前記蒸留塔から分流する、クロロシランを蒸留により精製する方法 （もっと読む）

【課題】ホウ素化合物量を低減した多結晶シリコンの製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】本発明においては、トリクロロシラン（ＴＣＳ）タンク２ａと一連の蒸留ユニット４〜６とを接続するトリクロロシラン（ＴＣＳ）ライン２２においてＡｒガスを供給する。蒸留ユニット４〜６は、圧力変換器４ｅ〜６ｅと、蒸留ユニット４〜６からのベントガスを排出する排気ライン２６上に位置づけられた圧力独立制御弁（ＰＩＣ−Ｖ）４ｆ〜６ｆとを有する。Ａｒガスは、ＰＩＣ−Ｖ４ｆ〜６ｆを開放するよう設定された圧力より高い圧力を有するＴＣＳライン２２へと供給される。ベントガスを蒸留ユニット４〜６から連続的に排出しつつ、ＴＣＳは蒸留ユニット４〜６により蒸留される。 （もっと読む）

【課題】塩化水素を用いてシラン中のMueller-Rochowによる直接合成の高沸点残留物を熱分解する方法。
【解決手段】二酸化ケイ素を含有し、アルミニウムを含まない粒子の流動層中で熱分解する。 （もっと読む）

【課題】ヒータの劣化を防止しつつポリマーの処理量を多くする。
【解決手段】分解炉２に、分解炉２の内部を加熱する加熱手段１１と、分解炉２の内底部を除き内部空間を内側空間と外側空間とに二分する上下方向に沿う中心管体３と、中心管体３の内側空間又は外側空間のいずれか一方の空間にポリマー及び塩化水素を供給する原料供給管４と、他方の空間から反応後のガスを導出する反応ガス導出管６とが設けられ、加熱手段１１は、分解炉２の高さ方向の複数箇所で炉本体７の周囲を囲む複数の筒状ヒータ１２〜１５を有し、分解炉２の内部空間の高さ方向の複数箇所の温度を検出する内部温度検出センサ１６〜１９の検出結果に基づき筒状ヒータ１２〜１５の出力を制御するとともに筒状ヒータ１２〜１５の温度検出する外部温度検出センサ２０〜２３の検出結果に基づき筒状ヒータ１２〜１５の出力又は原料の供給を制御する制御部２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置から排出されるシラン類をリサイクルすることを目的とする。
【解決手段】半導体製造装置２０から排出される混合ガスに含まれるシラン類が除害装置３０によってシリカとして無害化される。除害装置３０で生成したシリカはシリカ回収手段４０によって回収される。炭素含有物質混合手段５０は、シリカ回収手段４０で回収されたシリカに炭素含有物質を混合する。塩素化手段６０は、炭素含有物質混合手段５０で得られた混合物に塩素含有物質を反応させて四塩化珪素を形成する。 （もっと読む）

【課題】クロロシラン類留出物中からドナー不純物およびアクセプタ不純物を除去して含有量を低減させる技術を提供すること。
【解決手段】本発明のクロロシラン類の精製方法は、水素化工程101および／または塩素化工程102、不純物転化工程103、精製工程104の少なくとも３つの工程を備えている。不純物転化工程103では、一般式Ａｒ−Ｒ−ＣＨＯ（Ａｒは置換または未置換のアリール基、Ｒは炭素数２以上の有機基）で表記されるアルデヒド化合物が添加され、クロロシラン類留出物に含有されているドナー不純物およびアクセプタ不純物が高沸点物に転化される。ドナー不純物とアクセプタ不純物を高沸点物に転化させた後のクロロシラン類留出物は、精製工程104へと送られる。精製工程104では、蒸留塔などを用いることにより、塔頂部より系外に回収して、充分にドナー不純物およびアクセプタ不純物が除去された高純度のクロロシラン類を得る。 （もっと読む）

【課題】モノクロロシランを劣化のない安定した状態で、保存するための容器及び方法の提供。
【解決手段】内部表面が次の群より選択される容器：（ａ）機械的研磨の結果として生じる表面；（ｂ）電解研磨の結果として生じる表面；（ｃ）有機分子の疎水性防護層の形成の結果として生じる表面；（ｄ）ステンレス鋼の内部表面を与えることの結果として生じる表面；（ｅ）アルミニウムの内部表面を与えることの結果として生じる表面；（ｆ）ニッケルの内部表面を与えることの結果として生じる表面；（ｇ）ポリマーコーティングの結果として生じる表面；（ｈ）酸化ケイ素コーティングを有する表面；（ｉ）その金属に分子的に結合した結晶性炭素の層を有する表面；（ｊ）金属フッ化物の保護層を有する表面；（ｋ）シランへの曝露によって金属に結合させたシランの保護層を有する表面；及び（ｌ）不活性化ヒドロキシル基を有する表面。 （もっと読む）