【課題】 光触媒反応ユニットに使用されるシリカガラスであって、光触媒の反応効率を向上させるために、２５０ｎｍ程度以下の光を約２５０ｎｍ〜４５０ｎｍ程度の長波長側へ効率よく波長変換することができ、それとともに、長時間紫外線を照射しても性能が低下しにくい、耐紫外線性等に優れた特性を兼ね備えた光触媒用シリカガラス、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 シリカガラスにおいて、少なくとも、前記シリカガラスは、ＯＨ基含有量が１０ｗｔ．ｐｐｍ以下であり、厚さ１０ｍｍの波長２４５ｎｍでの直線透過率が９０．０％〜３０．０％の範囲であり、塩素及びフッ素の合計含有量が１００ｗｔ．ｐｐｍ以下であり、光触媒反応ユニットに使用されるものであることを特徴とする光触媒用シリカガラス、及び、このような光触媒用シリカガラスを製造するための光触媒用シリカガラスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶＬ用の反射型マスク、ミラー等に用いられる、光学面の平坦度および表面粗さに優れており、かつ面取部の欠けが防止されたＥＵＶＬ用光学部材、およびＥＵＶＬ用光学部材の光学面の表面処理方法の提供。
【解決手段】ＯＨ濃度が１００ｐｐｍ以上で、ＴｉＯ₂を含有し、ＳｉＯ₂を主成分とする石英ガラス材料製のＥＵＶＬ用光学部材の光学面に、フッ素または塩素の少なくとも一方を含有するソースガスを用いたＧＣＩＢエッチングを施すことを特長とするＥＵＶＬ用光学部材の表面処理方法。 （もっと読む）

低膨張性ガラス基板は、チタニアおよびシリカを含有し、かつ１９℃から２５℃までの温度範囲において、１ｐｐｂ／℃／℃未満の平均熱膨張率勾配を有する熱膨張特性を備えている。
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【課題】
透明性が高く、かつ高屈折率な光学ガラスを得る。
【解決手段】
非晶質マトリックスと、この非晶質マトリックスに分散された結晶性粒子から構成される光学ガラスであり、上記非晶質マトリックスは酸化ケイ素，酸化リンから選ばれる第一の酸化物と、酸化チタン，酸化ジルコニウムから選ばれる第二の酸化物からなり、上記結晶性粒子は、酸化チタン，酸化ジルコニウム，シリコンの少なくともいずれかの酸化物の結晶であり、上記酸化チタン結晶粒子の平均粒径は３ｎｍ以上２０ｎｍ以下、シリコン結晶粒子平均粒径は３ｎｍ以上８ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 化学反応装置の材料として長期間使用しても、材料表面のエッチング等による強度低下及び透過率低下の物性変化が抑制された、耐化学性に優れたシリカガラス、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 シリカガラスにおいて、少なくとも、ＯＨ基含有量が１〜５０ｗｔ．ｐｐｍであり、仮想温度が８００〜１１００℃であり、Ｌｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎの各金属不純物濃度がそれぞれ２００ｗｔ．ｐｐｂ以下であるシリカガラス、及び、このようなシリカガラスを製造するためのシリカガラスの製造方法。 （もっと読む）

１０ｐｐｍ未満、ある実施の形態において、１ｐｐｍ未満の水酸基（ＯＨ）および重水酸基（ＯＤ）濃度の総濃度を有する溶融シリカ物品が記載されている。この溶融シリカ物品は、一酸化炭素を含む無ハロゲンの雰囲気中でスートブランクを乾燥させることによって形成される。乾燥されたスートブランクは、必要に応じて、ＯＨおよびＯＤ濃度の目標レベルに到達するようにドープし、溶融シリカ物品内の均一性を改善してもよい。次いで、乾燥されたスートブランクを酸化し、焼結して、前記物品を形成する。１０ｐｐｍ未満のＯＨおよびＯＤの総濃度を減少させる方法も記載されている。
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【課題】赤外線、可視光線、紫外線からなる群から選ばれた光線を通過させるために使用される高い光透過率を有する合成石英ガラス体を提供する。
【解決手段】合成石英ガラス体表面にフッ素化剤を接触させ、当該合成石英ガラス体の内部２へフッ素化剤を浸透させて、その表面部分を改質することにより、合成石英ガラス体の表面部分に空隙を形成し、その表面部分においてフッ素原子濃度が表面から深さ方向に傾斜的に減少している合成石英ガラス体の製造方法。 （もっと読む）

【解決手段】波長３６５ｎｍの紫外線に対する内部透過率分布が１０％以下であることを特徴とするナノインプリントモールド用チタニアドープ石英ガラス。
【効果】本発明によれば、微細パターン転写時のモールドの透過率分布による樹脂の硬化の程度に差異を生じにくい、ナノインプリントモールドに好適なチタニアドープ石英ガラスを提供することができる。 （もっと読む）

【課題】 高い化学的安定性及び機械的強度を有するとともに、光触媒作用を効率よく発揮させることができる光触媒体及びこれの製造方法、並びにこのような光触媒体を用いた浄化装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも、連続気泡を有する多孔質シリカガラス担体を作製し、該多孔質シリカガラス担体の表面に、光触媒となる材料の被膜を形成する処理を行う多孔質光触媒体の製造方法、及び、少なくとも、連続気泡を有する多孔質シリカガラス担体と、前記多孔質シリカガラス担体の表面に形成された、光触媒となる材料の被膜とからなる多孔質光触媒体、並びに、少なくとも、反応器と、該反応器内に収容された、上記の多孔質光触媒体と、紫外線ランプとを具備し、前記紫外線ランプで前記多孔質光触媒体に紫外線を照射しながら、前記多孔質光触媒体に被処理物を通過させ、光触媒作用によって該被処理物を浄化処理する浄化装置。 （もっと読む）

【解決手段】０〜２５０℃における線熱膨張係数が−３００〜３００ｐｐｂ／℃の範囲内であって、２５℃における線熱膨張係数分布が１００ｐｐｂ／℃以下であるチタニアドープ石英ガラスを使用することを特徴とするナノインプリントモールド用チタニアドープ石英ガラス。
【効果】本発明によれば、微細パターン転写時のモールドの温度変化による変形を抑制することができ、位置精度の高いナノインプリントによる微細パターンの転写が可能となる。 （もっと読む）