【課題】撥インキ剤の相溶性に優れ、製膜後の表面外観ならびにパターン形状が良好であり、表面撥インキ性に優れる一方で、通常の洗浄や時間が経過しても表面撥インキ性を維持することができるアルカリ現像感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】撥インク剤としての含フッ素樹脂（Ａ）と、波長３００〜４５０ｎｍの紫外光に反応するアルカリ現像可能な感光性成分とを含んだアルカリ現像性感光性樹脂組成物であって、含フッ素樹脂（Ａ）が、所定のランダム又はブロック共重合体であると共に、平均分子量Ｍｗが２０００〜２００００の範囲であり、また、溶剤を除いた合計成分１００質量部に対する含フッ素樹脂（Ａ）の割合が、０．０５〜１質量部であることを特徴とするアルカリ現像性感光性樹脂組成物である。 （もっと読む）

【課題】生体蓄積性の低いパーフルオロアルキルアルキル(メタ)アクリレートの共重合体を有効成分とする撥水撥油剤であって、キュア温度が低く、また撥水撥油処理された布地の風合いを良好ならしめる撥水撥油剤を提供する。
【解決手段】(A)一般式 C_nF_2n+1C_mH_2mOCOCR=CH₂(R：水素原子またはメチル基、n：4、5または6、m：1、2、3または4)で表わされるパーフルオロアルキルアルキルアクリレートまたは対応するメタクリレート 61.6〜80重量％、(B)ベンジルアクリレートまたはベンジルメタクリレート 5〜80重量％、(C)(i)塩化ビニリデンおよび(ii)ポリエチレングリコールモノアクリレートまたはポリエチレングリコールモノメタクリレート 5〜80重量％および(D)架橋性基含有重合性単量体 0.5〜40重量％の共重合組成を有する含フッ素共重合体をポリエチレンオキサイド付加型ノニオン性界面活性剤で水中に分散させた水性エマルジョンよりなる撥水撥油剤。 （もっと読む）

ａ）フッ素化メタクリレートの繰り返し単位が、付加した全モノマーの約４０重量％〜８０重量％の範囲で存在し、
ｂ）非フッ素化アルキルアクリレートの繰り返し単位が、付加した全モノマーの約１０重量％〜３５重量％の範囲で存在し、そして
ｃ）非フッ素化ヒドロキシアルキルメタクリレートの繰り返し単位が、付加した全モノマーの約５重量％〜２５重量％の範囲で存在し、そして
ｄ）すべての繰り返し単位の合計が１００重量％である
という条件で、
（１）少なくとも１つのフッ素化メタクリレート、および（２）少なくとも１つの非フッ素化アルキルアクリレートおよび（３）少なくとも１つの非フッ素化ヒドロキシアルキルメタクリレートからの繰り返し単位を任意の順番で含む溶剤型の非水性フッ素化メタクリレートポリマー。 （もっと読む）

【課題】塗布ムラのない高度な平坦性（膜厚均一性）を有する層間絶縁膜を形成することができ、かつ優れた放射線感度及び現像マージンを有するポリシロキサン系のポジ型感放射線性組成物、その組成物から形成される層間絶縁膜、並びにその層間絶縁膜の形成方法の提供。
【解決手段】［Ａ］シロキサンポリマー、［Ｂ］キノンジアジド化合物、並びに［Ｃ］（ｃ１）フッ化アルキル（メタ）アクリレートモノマー、（ｃ２）側鎖にオキシアルキレン基を有する（メタ）アクリレートモノマー、及び（ｃ３）シロキサン基を有する重合性化合物に由来する構造単位を有する共重合体を含有するポジ型感放射線組成物。 （もっと読む）

【課題】塗布方法としてスリット塗布法を採用した場合であっても、塗膜に微小な凹凸からなるムラを発生させることなく液晶表示素子のスペーサーを形成しうる感放射線性樹脂組成物、液晶表示素子のスペーサーとして要求される諸性能（例えば高回復率と柔軟性とが両立された圧縮性能ならびにラビング耐性）を維持しつつ、特に高度の膜厚均一性を有する液晶表示素子のスペーサーおよびその形成方法が提供される。さらに、液晶表示素子の保護膜、層間絶縁膜としても使用することができる。
【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、〔Ａ〕一般式（１）で示されるアルカリ可溶性樹脂、〔Ｂ〕重合性不飽和化合物、〔Ｃ〕感放射線性重合開始剤、ならびに〔Ｄ〕一般式（３）〜（５）の重合性不飽和化合物を含む重合性不飽和化合物の共重合体を含有する。液晶表示素子のスペーサーは、上記の感放射線性樹脂組成物から形成される。 （もっと読む）

【課題】塗布方法としてスリット塗布法を採用した場合であっても、塗膜に微小な凹凸からなるムラを発生させることなく液晶表示素子のスペーサーを形成しうる感放射線性樹脂組成物、液晶表示素子のスペーサーとして要求される諸性能（例えば高回復率と柔軟性とが両立された圧縮性能ならびにラビング耐性）を維持しつつ、特に高度の膜厚均一性を有する液晶表示素子のスペーサーを提供すること。
【解決手段】上記感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）重合性不飽和化合物、（Ｃ）感放射線性重合開始剤および（Ｄ）シリコーン鎖を有する特定の重合体を含有する。液晶表示素子のスペーサーは、上記の感放射線性樹脂組成物から形成される。 （もっと読む）

【課題】ＣＤのピッチ依存性、被覆率依存性が良好な、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びにこれを用いたレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）シアノ基と、酸の作用により分解しアルカリ可溶性となる基とを有する繰り返し単位（ａ）を有する、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂、
（Ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び、
（Ｃ）フッ素原子及び珪素原子の少なくともいずれかと、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液に対する溶解性が増大する基とを有する樹脂を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】コーティング剤の成分として用いた場合に、基材に充分な撥水性を付与可能なフッ素系重合体、及びコーティング剤を提供する。
【解決手段】本発明は、炭素数が６以下のパーフルオロアルキル基を含有するフッ素系重合体および、このフッ素系重合体を含有するコーティング剤に関するものである。本発明のフッ素系重合体は、炭素数が６以下のパーフルオロアルキル基含有モノマー５０質量％以上８５質量％以下と、フッ素を含まない非フッ素系モノマーを１５質量％以上５０質量％以下とを、重合させてなる。非フッ素系モノマーには、炭素および水素からなる環状部分を有する環状モノマーが含まれる。 （もっと読む）

【解決手段】ラクトンを密着性基として有する繰り返し単位、酸不安定基含有繰り返し単位及びカーバメート構造含有繰り返し単位を共重合してなる高分子化合物と、光酸発生剤を含む第1のポジ型レジスト材料を基板上に塗布し第1レジスト膜を形成する工程、第1レジスト膜を露光後加熱処理し、現像して第1レジストパターンを形成する工程、第1レジストパターンを加熱して酸に対して不活性化し、基板上の第1レジストパターン上にC3〜8のアルコール、又はC3〜8のアルコール及びC6〜12のエーテルを溶媒とする第2ポジ型レジスト材料を塗布して第2レジスト膜を形成する工程、第2レジスト膜を露光し、PEB後現像して第2レジストパターンを形成する工程を含むパターン形成方法。
【効果】第1レジストパターンのパターンが未形成部分に第2パターンを形成し、パターン間のピッチを半分にするダブルパターニングを行い、一度のドライエッチングで基板を加工できる。 （もっと読む）

【課題】物品の風合いを低下させることなく、物品の表面に撥水撥油性を付与できる撥水撥油剤組成物およびその製造方法の提供。
【解決手段】パーフルオロアルキル基を有する（メタ）アクリレート等に基づく重合単位の１〜３５質量％と、ベヘニル（メタ）アクリレートに基づく重合単位の１０〜７０質量％と、マレイン酸アルキルエステルに基づく重合単位の０．１〜３０質量％と、塩化ビニルに基づく重合単位（ｄ）の３〜４０質量％と、架橋し得る官能基を有する単量体に基づく重合単位（ｅ）の０〜１５質量％を含む含フッ素共重合体を含有することを特徴とする撥水撥油剤組成物。 （もっと読む）