【課題】液浸露光時において被膜表面の疎水性を高くしつつ、現像不良による欠陥の発生を抑制でき、しかもリソグラフィ性能に優れたレジスト被膜を形成する。
【解決手段】重合体成分を含有し、当該重合体成分中に、下記式（１）で表される繰り返し単位（ａ１）と、式（Ｆ１−１）、式（Ｆ１−２）及び式（Ｆ１−３）で表される繰り返し単位からなる群より選ばれる少なくとも１つの繰り返し単位（ｆ１）と、を有する感放射線性樹脂組成物を提供する。
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【課題】優れたＣＤ均一性のレジストパターンを製造でき、得られたレジストパターンの欠陥の発生数も少ないレジスト組成物を提供する。
【解決手段】式（ａａ）で表される構造単位と、式（ａｂ）で表される構造単位とを有する樹脂及び酸発生剤を含有するレジスト組成物。
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【課題】十分な離型性を提供し、シリコーン型において高いアスペクト比の形状（feature）から、複数の正確なパターン形状を提供。
【解決手段】Ａ）パターン化表面を有するシリコーン型を、硬化性（メタ）アクリレート組成物で充填することであって、該硬化性（メタ）アクリレート組成物が、（ａ）フルオロ官能性（メタ）アクリレート又はフルオロ官能性（メタ）アクリレートと（メタ）アクリレートとの組合せ、（ｂ）光開始剤、Ｂ）前記硬化性（メタ）アクリレート組成物を硬化させて、パターン形状を形成すること、Ｃ）前記シリコーン型と前記パターン形状とを分離すること、任意選択で、Ｄ）前記パターン形状をエッチングすること、及び任意選択で、Ｅ）前記シリコーン型を再使用して、工程Ａ）〜Ｄ）を繰り返すことを含む方法。 （もっと読む）

【課題】波長２００ｎｍ以下の放射線に対して優れた透明性を有し、適切なアルカリ加水分解性を有すると共に、構造の選択により撥水性、滑水性、表面偏在性など各種性能の調整が可能で、例えばフォトレジスト用添加剤又は保護膜材料等の水液浸ＡｒＦレーザー露光リソグラフィー材料を構成する高分子化合物を提供する。
【解決手段】特定の含フッ素エステル型単量体及び該含フッ素エステル型単量体繰り返し単位を有する高分子化合物、及び該高分子化合物が可視光から波長２００ｎｍ以下までの幅広い波長領域において優れた透明性を有し、また適切なアルカリ加水分解性を有することから、光機能性材料、コーティング材料等の原料として有用で、更に、フォトレジスト用添加剤又は保護膜材料等の水液浸ＡｒＦレーザー露光リソグラフィー材料を構成するポリマーとして特に有用となる。 （もっと読む）

【課題】ドライ露光、液浸露光、ダブルパターンニングに適するレジスト用重合体、それを含むレジスト材料、ならびにそのレジスト材料を用いるパターン形成方法を提供する。
【解決手段】一般式（１）：


の繰り返し単位と、酸分解性基を有する繰り返し単位を含有する重合体を用いる。 （もっと読む）

【課題】水性塗料用組成物に含有させることによって塗膜表面の自己浄化機能を向上させることができるとともに、塗料の貯蔵安定性を損ないにくい水性塗料用低汚染化剤を提供する。
【解決手段】炭素数１〜２４のペルフルオロアルキル基を有する重合単位（ａ’）の３０〜７０質量％と、アルキレンオキシド鎖を有する重合単位（ｂ’）の２０〜６９質量％と、アミノ基を有する重合単位（ｃ’）の１〜１０質量％を含む含フッ素共重合体を含有する水性塗料用低汚染化剤。 （もっと読む）

【課題】環境及び生体への蓄積性が低く、優れたレベリング剤として用いることができるフッ素系界面活性剤を提供する。また、このフッ素系界面活性剤を用いたコーティング組成物及びレジスト組成物を提供する。
【解決手段】炭素原子数４〜６のフッ素化アルキル基（ただし、前記アルキル基は酸素原子によるエーテル結合を有するものも含む。）を有する単量体（Ａ）及び下記一般式（２）で表されるポリオキシアルキレン鎖を有する単量体（Ｂ）を必須の単量体として共重合させた共重合体であることを特徴とするフッ素系界面活性剤を用いる。


（式中、Ｒは水素原子又はメチル基であり、Ｘ及びＹはそれぞれ独立のアルキレン基であり、ｍ及びｎはそれぞれ０または１以上の整数であり、かつｍとｎの合計は３以上であり、Ｚは水素原子又は炭素原子数１〜６のアルキル基である。） （もっと読む）

【課題】パーフルオロアルキル基含有モノマーの使用量が少ないにもかかわらず、高い撥水・撥油性を有するフッ素系共重合体およびコーティング剤を提供する。
【解決手段】本発明は、フッ素系共重合体、フッ素系共重合体の製造方法、およびコーティング剤に関するものである。本発明は、パーフルオロアルキル基を有するパーフルオロ基含有ポリマーの存在下、パーフルオロアルキル基を有するパーフルオロ基含有モノマーと、フッ素を含まない非フッ素系モノマーとを、超臨界二酸化炭素中で重合させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、熱可塑性樹脂の離型性、潤滑性、摩耗性等の表面特性を改質するとともにベタツキや白化が見られない樹脂組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】パーフルオロアルキルアクリレートとポリエチレングリコールモノ（メタ）クリレートとポリエチレングリコールジ（メタ）クリレートとの共重合体を含有する熱可塑性樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】塗布性に優れ、現像ムラ及び画像欠陥が少なく、平面性に優れる硬化膜が得られるポジ型感光性樹脂組成物、及び、それを用いた硬化膜の形成方法を提供すること。
【解決手段】（成分Ａ）式（１）で表される構成単位Ａ及び構成単位Ｂを含み、重量平均分子量が１，０００以上１０，０００以下である共重合体、（成分Ｂ）酸により分解しカルボキシル基又はフェノール性水酸基を生成する酸分解性基を有する構成単位と、カルボキシル基又はフェノール性水酸基と反応して共有結合を形成しうる官能基を有する構成単位とを有する樹脂、（成分Ｃ）光酸発生剤、並びに、（成分Ｄ）溶剤を含有し、前記成分Ａを０．００１〜１．００重量％含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
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