【課題】精製前のフォトレジスト用樹脂を含有する樹脂溶液中に含まれる、樹脂の重合の際に副生したオリゴマーや低分子量のポリマー、目的とする重量平均分子量よりも高分子量のポリマーを効果的に除去することができ、分子量分布が狭く且つ残留金属濃度の低いフォトレジスト用樹脂を得ることができるフォトレジスト用樹脂の精製方法を提供する。
【解決手段】本フォトレジスト用樹脂の精製方法は、フォトレジスト用樹脂と溶剤とを含有する樹脂溶液におけるフォトレジスト用樹脂の精製を、カラムクロマトグラフィー（充填剤；例えば、シリカゲル等の無機材料）により行う。 （もっと読む）

【課題】フォトレジスト用樹脂に対する熱履歴を少なくすることができ、且つフォトレジスト用樹脂溶液を効率良く製造できるフォトレジスト用樹脂溶液の製造方法を提供する。
【解決手段】本フォトレジスト用樹脂溶液の製造方法は、重合性化合物を重合させることにより、レジスト用樹脂を含有する樹脂溶液を調製する工程と、樹脂溶液に含まれる樹脂を再沈殿により精製し、スラリーを得る工程と、スラリーを濾過し、洗浄溶剤を用いて洗浄することにより湿粉を得る工程と、恒率乾燥領域内で湿粉を乾燥して乾燥物を得る工程と、乾燥物を再溶解し、洗浄溶剤をフォトレジスト用溶剤に置換する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】含まれるゲルなどの異物の量が少ない熱可塑性樹脂体の製造方法を提供する。
【解決手段】熱可塑性樹脂に対する濾過工程と、前記樹脂または前記樹脂を含む樹脂組成物を溶融成形する成形工程とを含む熱可塑性樹脂体の製造方法であって、前記濾過工程として、前記樹脂を含む溶液を濾過する溶液濾過と、前記溶液濾過後の樹脂を当該樹脂が熱溶融した状態で濾過する溶融濾過とを行う方法とする。熱可塑性樹脂は、例えばアクリル樹脂であり、当該樹脂は主鎖に環構造を有していてもよい。 （もっと読む）

【課題】現像欠陥の要因となる低溶解性の成分を除去できる重合体の精製方法、およびこの精製方法により得られる重合体溶液を提供する。
【解決手段】アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の重合体であって酸の作用によりアルカリ可溶性になる重合体を該重合体を溶解する良溶媒に溶解させて重合体溶液とする第１の工程と、この重合体を溶解しないが上記良溶媒には相溶する貧溶媒を、上記重合体溶液に、重合体による沈殿が析出しない範囲で添加する第２の工程と、第２の工程後の重合体溶液を濾過する第３の工程とを備え、上記良溶媒１００質量部に対して、貧溶媒が１００質量部以下であり、上記濾過に使用するフィルターの孔径が１．０μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】カルボキシル基含有アクリル共重合体を沈殿重合により製造するに際し、洗浄工程において共重合体粒子の造粒形態を一様にし、ハンドリング性を向上するようにしたカルボキシル基含有アクリル共重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】カルボキシル基含有アクリル系単量体およびこれと共重合可能なその他のアクリル系単量体を含む共重合体（Ａ）を、前記単量体の混合物は溶解し、かつ共重合体（Ａ）の溶解度が１ｇ／１００ｇ以下であり、芳香族基を含有しない有機溶媒（Ｂ）中で共重合し、得られた共重合体（Ａ）のスラリーを固液分離した後、得られた共重合体ケークに３０℃以下の水を添加し９５〜１１５℃の温度に昇温して洗浄し再度固液分離を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 シリコーン系重合体部分を疎水性の枝部とし親水性の重合性単量体由来の構造単位を有する重合体を幹部とするシリコーン系グラフト共重合体および製法の提供。
【解決手段】 式；CH₂＝C(R¹)−COO−(R²−O)_n−R³(式中R¹はH又はメチル、Ｒ²はエチレン又はプロピレン基、R³はH又はC1〜6の炭化水素基、nは１〜２５、ただし、ｎ＝１の場合はＲ³は１〜６の１価の炭化水素基である)で表される(メタ)アクリル酸エステル、エチレン性不飽和カルボン酸(塩）、Ｍw＝５０００〜３５０００のシリコーン系マクロモノマー及び場合により他の単量体を共重合したシリコーン系グラフト共重合体、当該グラフト共重合体を含む水性被覆用重合体組成物並びに当該グラフト共重合体を(A)群の有機溶媒（ケトン、エーテル、エステル、芳香族炭化水素、塩化芳香族炭化水素、脂肪族炭化水素、塩化脂肪族炭化水素、脂環式炭化水素）と(B)群の有機溶媒(１価又は多価アルコール、グリコールエーテル)の混合溶媒中で前記単量体を共重合させて製造する方法。 （もっと読む）

【課題】液浸露光によるパターニングにおいて、良好にレジスト膜表面を疎水化し、液浸液追随性を良好とするとともに、塗布欠陥、現像欠陥の抑制に効果を示す樹脂、及び、その製造方法、該樹脂を含有するポジ型レジスト組成物を提供することである。
【解決手段】表面に偏在化してレジスト膜の表面を疎水化する、レジスト組成物に添加する樹脂であって、ゲルパーミッションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定される分子量分布において、分子量３万以上の高分子量成分のピーク面積が、全体のピーク面積に対して０．１％以下であることを特徴とする樹脂その製造方法、該樹脂を含有するポジ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】 アクリル系樹脂とイミド化剤を有機溶媒の存在下で反応させる際に、反応後のポリマー鎖中に生成するアミン塩が除去された、イミド樹脂の製造方法を提供する。
【解決手段】 アクリル系樹脂とイミド化剤を有機溶媒の存在下で反応させ、次いでイオン交換樹脂と接触させることを特徴とするイミド樹脂の製造方法により、ポリマー鎖中に生成したアミン塩を除去することができ、ポリマー臭気がなく、溶融フィルム作成時に発泡等の不具合のないイミド樹脂が得られる。 （もっと読む）

【課題】 残存単量体が低減された、水に可溶な架橋タイプの増粘用カルボン酸基含有重合体粉末を容易に取得することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 炭素数３〜５個を有するオレフィン系不飽和カルボン酸を主たる成分とする単量体を、単量体は溶解するが、重合体は溶解しない溶剤中で、ラジカル開始剤を用いて重合し、析出したスラリー状重合体を分離・加熱により溶剤を揮散させるとともに、溶剤の揮散完了後も、得た粉末状重合体の加熱を継続して製造する。 （もっと読む）

【課題】重合体溶液の粘度上昇を抑制して、高分子量のアクリル系重合体を製造することができるアクリル系重合体の製造方法を実現する。
【解決手段】本発明のアクリル系重合体の製造方法は、水酸基含有単量体と（メタ）アクリル酸エステルとを含む単量体組成物を溶液重合するアクリル系重合体の製造方法であり、上記重合溶液中の単量体組成物の濃度が４５質量％以上である条件下で重合を行う工程を含み、上記工程では、重合性基を有していないアルコールを上記重合溶液が含有している方法である。 （もっと読む）