【課題】
本発明の目的は、レジストとの親和性を有する溶媒の含有量が少なく、塗布時のレジストへの相互作用を起こさず、レジストの良好なパターンプロファイルを得ることを可能とする保護膜を形成できる保護膜形成用重合体の製造方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、
（１）単量体、開始剤、重合溶媒を混合した溶液を過熱して重合する工程、
（２）重合溶液を重合体の貧溶媒と接触させて、重合体を析出させる工程、
（３）析出した重合体を遠心濾過・減圧濾過・加圧濾過等の方法で固液分離する工程、
（４）得られた固体状の重合体をリンスする工程、
（５）得られた固体状の重合体を塗膜形成溶媒に溶解後、濃縮する工程、
前記工程を含むレジスト保護膜用重合体溶液の製造方法において、固体状の重合体をリンスする溶媒が重合体に対して貧溶媒であり、塗膜形成溶媒よりも沸点が低いことを特徴とするレジスト保護膜用重合体溶液の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】所望の分子量分布のポリマーが、処理工程を大幅に短縮し、高い収率で得られ、得られるポリマーの純度も高いポリマーの精製方法の提供。
【解決手段】精製するポリマーを含有する溶液を、ポア径の標準偏差が平均径の１０％以内であるマイクロポアを有するアルミニウム陽極酸化皮膜よりなるフィルターを用いて濾過する工程を少なくとも１回施すことを特徴とする、ポリマーの精製方法。 （もっと読む）

【課題】レジスト組成物に利用可能なハイパーブランチポリマーの解像性能の経時安定性の向上を図ることができるハイパーブランチポリマーの合成方法を提供すること。
【解決手段】極性溶媒の存在下においてモノマーをリビングラジカル重合させることによりハイパーブランチポリマーを重合し、前記ハイパーブランチポリマーが存在する反応溶液の中から再沈法によって前記ハイパーブランチマーポリマーを回収し、前記回収したハイパーブランチポリマーを溶解させた溶液を、孔径０．１μｍ以下のフィルターを用いて濾過するようにした。 （もっと読む）

【課題】クロム系触媒を用いるエチレン低重合体の製造方法において、エチレン低重合体が分離されたハイボイラーからクロム系触媒等の分解生成物が生じにくい条件でデセンを回収する方法を提供する。
【解決手段】クロム系触媒を用いるエチレンの低重合反応により得られたエチレン低重合体を含む反応液から、蒸留操作によりエチレン低重合体とクロム系触媒、デセン、テトラデセン、及び副生ポリマーを含むハイボイラーとを分離し、次いで、ハイボイラーを蒸発分離器７０及び液溜タンク８０によりテトラデセン濃度が５重量％以上になるように濃縮すると共に、デセンを下記一般式（１）を満たすように蒸発分離する。式（１）中、Ｔは、蒸発分離器７０における残溶液の温度、θは、蒸発分離器７０における残溶液の滞留時間である。
θ／１．２ＥＸＰ（８５０／Ｔ）≦１ （１） （もっと読む）

改良された効率を有する高圧分離器が提供される。この分離器は、重力分離器の内側に配置された遠心分離器を含む。この遠心分離器は、取り囲まれた上方部分を有し、望ましくは単一の円筒を含む。この高圧分離器は、高圧下での低密度ポリエチレンの製造に於いて使用するのに特に適している。
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【課題】遷移金属錯体含有触媒を重合触媒とするビニル系モノマーの原子移動ラジカル重合を利用して製造される、ポリオレフィンセグメントとラジカル重合体セグメントが結合した構造のオレフィン系グラフト重合体を含有する溶液から、触媒残査、未反応モノマー成分、溶媒成分等を効率的に取り除く精製方法を提供すること。
【解決手段】遷移金属錯体を含む触媒を重合触媒とするビニル系モノマーの原子移動ラジカル重合を利用して製造されるポリオレフィンセグメントとラジカル重合体セグメントが結合した構造のオレフィン系グラフト重合体を含有する溶液から、以下の工程（工程１〜工程３）を経ることを特徴とするオレフィン系グラフト重合体を精製する方法。（工程１）ポリマーの良分散液化工程。（工程２）未反応モノマー・溶媒・触媒残査分離工程。（工程３）乾燥工程 （もっと読む）

吸水性ポリマー粒子の連続的な製造方法であって空気循環型バンド乾燥機上でポリマーゲルを乾燥させることを含む製造方法において、ポリマーゲルの含水量が、乾燥の間にもしくは乾燥の後に、前記空気循環型バンド乾燥機の制御のために使用される方法。 （もっと読む）

本発明は、５５ｍｏｌ％未満中和されている、酸基を有する少なくとも１のエチレン不飽和モノマー溶液の重合、および得られるポリマーゲルを加熱されたガス流により乾燥させることにより（この際、少なくとも２の温度帯域において乾燥を実施する）、吸水性ポリマー粒子を製造する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】異物の少ない重合体粉末を得ることができる重合体粉末の製造方法、異物の少ない重合体粉末およびレジスト組成物を提供する。
【解決手段】重合体が分散媒に分散した分散液をろ過して重合体湿粉を製造する工程と、減圧乾燥装置５０を用いて重合体湿粉を乾燥させる工程とを有し、前記減圧乾燥装置５０内に気体を流入させる際、孔径が０．１〜１．０μｍのフィルター５２を通過した気体を流入させる重合体粉末の製造方法。 （もっと読む）

【課題】目的とする用途において設計通りの性能を発揮できる重合体、その製造方法、およびレジスト膜に設計通りの性能を発揮させ、かつレジストパターンにおけるディフェクトの発生を抑えることができるレジスト組成物を提供する。
【解決手段】重合体の分散液をろ過して重合体湿粉を製造する工程と、該重合体湿粉を容器５２に入れて乾燥させる工程とを有し、容器５２として、容器浸漬後の水の電気伝導度（Ｘ）と容器浸漬前の水の電気伝導度（Ｙ）との差（Ｘ−Ｙ）が、１．８μＳ／ｃｍ以下であるものを用いる重合体の製造方法。ただし、容器浸漬前の水としては、電気伝導度が０．５μＳ／ｃｍ以下である純水を用い、容器浸漬後の水の電気伝導度（Ｘ）は、容器の内面積１ｍ² あたり２０Ｌの純水に容器を浸漬し、浸漬開始から１５分後に容器を浸漬した状態で測定した水の電気伝導度とする。 （もっと読む）