【課題】微細な粒子形状を有し、容易に安定して回収することができる、水酸基含有単量体単位を多く含む高極性の半導体フォトリソグラフィ用重合体の精製方法を提供する。
【解決手段】水酸基含有単量体単位（Ａ）を４５質量％以上含み、必要に応じてラクトン骨格含有単量体単位（Ｂ）、吸光性基含有単量体単位（Ｃ）、酸脱離基含有単量体単位（Ｄ）及び環状エーテル構造含有単量体単位（Ｅ）から選択される少なくとも１種の単量体単位を含む半導体フォトリソグラフィ用重合体を溶媒に溶解した重合体溶液を２０℃以下のエーテル系溶媒中に添加して再沈殿させる半導体フォトリソグラフィ用重合体の精製方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、上記実情に鑑みて、工業的なスケールで適用でき、親水性有機溶媒やポリマー合成時に発生した親水性の反応副生成物などの親水性化合物などの除去性が高く、ポリマーの回収率も高く、塗布液としても使用可能なポリマー溶液の製造方法、及びポリマーの精製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】一般式（Ａ）で表されるユニット及び一般式（Ｂ）で表されるユニットを含有するポリマーと、炭素数とＯＨ基数との比（炭素数／ＯＨ基数）が４〜７のアルコールとを含有するポリマー溶液の製造方法であって、
前記ポリマーを溶解し、前記アルコールと相溶する有機溶媒と、前記ポリマーとを含むポリマー溶液Ａに、前記アルコールを加えて、ポリマー溶液Ｂを得る添加工程と、
前記ポリマー溶液Ｂに水を用いた抽出処理を施す抽出工程とを備える、とを備える、ポリマー溶液の製造方法。 （もっと読む）

【課題】レジスト性能に悪影響を与える酸性成分、塩基性成分などの不純物を容易に０．５ｐｐｍ以下に制御し、かつ、両親媒性化合物、特に、部分的に保護された水酸基を有する重合体を安価に提供すること。
【解決手段】低級アルコール以外の有機溶媒中、両親媒性化合物を製造する方法において、両親媒性化合物の有機溶媒溶液に極性溶媒を混合した後、該混合液をイオン交換樹脂と接触させることによって両親媒性化合物を精製する。両親媒性化合物としては、分子内に親水性部と疎水性部を有する共重合体が好適であり、分子内に水酸基を１個以上有するモノマーユニットを５０モル％以上含む共重合体、又は少なくとも１種のエーテル鎖を有するモノマーユニットを５０重量％以上含む共重合体が特に好適である。 （もっと読む）

【課題】高感度、高解像性、良好なパターン形状及び良好なラインエッジラフネスを同時に満足させる、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いたパターン形成方法及び該組成物に用いられる樹脂の精製方法を提供する。
【解決手段】活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する構造部位（Ｘ）を有する繰り返し単位（Ａ）を有する樹脂（Ｐ）を含有する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、前記組成物中の、前記樹脂（Ｐ）中に含まれる繰り返し単位（Ａ）を構成する単量体（ａ）の存在量が、前記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物の質量に対して０．０５質量％以下であることを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いたパターン形成方法及び該組成物に用いられる樹脂の精製方法。 （もっと読む）

水分散可能な環状カーボネート官能化ビニルコポリマー結合剤、該結合剤の製造方法、該結合剤を含有する水性分散液、該結合剤、水および（アミン）硬化剤を含む系、ならびに硬化被覆を製造するための該結合剤の使用を提案する。驚くべきことに、本発明による乳化剤基がポリマー鎖に組み込まれている該結合剤が、３０質量％超までの固体含有量を有する、安定した水性分散液をもたらすことが見出された。 （もっと読む）

【課題】有機溶媒（Ｂ）を含む重合体溶液中のイオン性不純物を除去するために、該溶液を極性溶媒（Ａ）及びイオン交換樹脂と接触させる際に、イオン交換樹脂の触媒作用による極性溶媒（Ａ）と有機溶媒（Ｂ）との反応を抑制する方法を提供すること。
【解決手段】極性溶媒（Ａ）とイオン交換樹脂を用いて、イオン交換樹脂との接触により極性溶媒（Ａ）と反応する有機溶媒（Ｂ）を含む重合体溶液中のイオン性不純物を除去する工程を含む重合体の製造方法において、該工程を行う前に、極性溶媒（Ａ）と有機溶媒（Ｂ）とを混合した液をイオン交換樹脂と接触させる工程を含むことを特徴とする重合体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】微細粒子及びゴミ等を極力低減させ、パターンにおける欠陥数を大幅に低減することができる樹脂溶解液の精製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】樹脂溶解液に、活性炭並びに（Ａ）金属塩化物、（Ｂ）金属酸化物及び（Ｃ）イオン交換樹脂からなる群から選ばれる少なくとも１種の添加物質を接触させる工程を含む樹脂溶解液の精製方法、樹脂溶解液の取得方法、及び化学増幅型フォトレジスト組成物の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、Ｎ−アルキルラクタムと炭素との接触を含む、Ｎ−アルキルラクタムを精製するための方法に関する。本発明は、ポリ（フッ化ビニリデン）（ＰＶＤＦ）及びＮ−アルキルラクタムを含む混合物に関し、その際Ｎ−アルキルラクタムは、それらの製造のための方法と同様にＮ−アルキルラクタムと接触することによって精製される。本発明は、改良された色が品質要求である適用のためのＰＶＤＦの加工における該混合物の使用にも関する。 （もっと読む）

本発明は、（ａ）重合後に超吸収性ポリマーを提供するように選択されるモノマーの水性混合物を製造する工程、（ｂ）反応器に前記モノマー混合物を供給する工程、（ｃ）反応器中の水性モノマー混合物を遊離基重合に供して超吸収性ポリマーゲルを得る工程、及び（ｄ）反応器から超吸収性ポリマーゲルを除去する工程、（ｅ）反応器から除去された超吸収性ポリマーを処理して最終生成物を得る工程を含む、超吸収性ポリマーの製造のための方法であって、炭酸塩及び／又は炭酸水素塩を含む塩基性水性媒体が超吸収性ポリマーゲルに供給される、方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 ビニル系重合体溶液の濾過において大量に処理を行うと、濾布、金網に代表される濾材に目詰まりが起こり、そのまま繰り返して濾材を利用すると濾過速度が低下して最終的には閉塞してしまう。そのため一般の濾過機すなわち逆洗機構を持たない濾過機でビニル系重合体の濾過操作を経済的かつ効率的に行うための濾材の洗浄方法が望まれていた。
【解決手段】 この課題を解決するために、０.３ＭＰａ以上に加圧して、濾材面積に対して８０ｋｇ／ｍ^２以上溶剤を濾材に流すこと(順洗)により目詰まり粒子を濾材より除去し、濾材の繰り返し利用が可能となる方法を提供する。 （もっと読む）