【課題】有機ＥＬ素子の発光層を蒸着する方法を提供する。
【解決手段】複数の相異なるカラーを備えたサブピクセルの組み合わせを単位ピクセルとし、行方向に複数のサブピクセルが順に交互に配置され、列方向に同一カラーのサブピクセルが配された有機ＥＬ素子の発光層を蒸着する方法であって、サブピクセルのうち、奇数行（または偶数行）に配された同一カラーのサブピクセルの位置に対応する開口部を備えたマスクを利用して発光層を１次蒸着するステップと、マスクを移動させて、１次蒸着ステップで発光層が蒸着されたサブピクセルに直接隣接するサブピクセルには、１次蒸着ステップで蒸着された発光層を蒸着するのに使われたマスクの同一開口部により蒸着されないように発光層を２次蒸着するステップと、を含む有機ＥＬ素子の発光層蒸着方法。 （もっと読む）

【課題】ＣＶＤ法により防湿膜を蒸着する際、蛍光体層13に塵埃等が付着しにくいシンチレータパネル11の製造方法を提供する。
【解決手段】シンチレータパネル11の蛍光体層13を下向きとして、基板12の周辺部を支持台21の複数の支持針24により支持する。この支持状態で、ＣＶＤ法により基板12および蛍光体層13の表面全体を覆う防湿膜を蒸着する。防湿膜の蒸着後に、支持台21の支持針24上からシンチレータパネル11を外す。 （もっと読む）

【課題】例えば銅などの高融点材料を含む原料粉体を加熱して得られる気体を用いてウェハにこの銅膜を成膜するにあたって、原料粉体中の化合物中に含まれる有機物などの不純物が銅膜に取り込まれることを抑えると共に、簡便に固体状の原料粉体から気体が得られるようにして原料粉体のコストを抑えること。
【解決手段】固体状の原料粉体を貯留する原料貯留部から粉体導入路を介してキャリアガスと共にこの原料粉体を処理容器へと供給し、この粉体導入路に介設された粉体気化部において原料粉体をプラズマ化して気体状の原料を得る。 （もっと読む）

【課題】生産性を高めるとともに、蒸着材料の加熱の均一性を向上させて蒸着レートを安定して制御できるようにする。
【解決手段】真空チャンバ２内で、蒸着材料を加熱して昇華または蒸発させて基板９上に蒸着する真空蒸着装置１において、蒸着材料である有機材料を、有機材料よりも融点が高く、かつ、有機材料よりも熱伝導性がよい多孔質体に担持して蒸着源３としている。 （もっと読む）

【課題】処理むらを防止して、良好な被膜を安定的に形成できるようにした表面処理装置および表面処理方法を提供する。
【解決装置】本発明の表面処理方法は、大気圧よりも低い圧力下でシランカップリング剤Ｙ１を気化させ、気化したシランカップリング剤Ｙ２の雰囲気に無機膜１０を有する基板Ｗを晒すことで無機膜１０上にシランカップリング剤の被膜を形成する表面処理工程を有する。また、本発明の表面処理装置１は、上記表面処理方法に用いられる装置であって、シランカップリング剤Ｙ１を気化させる処理剤気化装置２１と、処理剤気化装置２１に対してキャリアガスを供給するガス供給装置２２と、無機膜１０を有した基板１０を配置するとともに気化したシランカップリング剤Ｙ２が供給される成膜室３と、成膜室３内を減圧するポンプ５とを有する。 （もっと読む）

本発明は、基材上に蒸着されたメラムの、高湿度に対する耐性が求められる用途（レトルト処理もしくは金属堆積を含むさらなる処理等）または太陽電池やディスプレイ等の用途における使用に関する。バリア層のメラム対メラミン比（ｗ／ｗ）は、３：１〜５０：１の範囲にある。レトルト耐性を有する積層体は、２枚のプラスチックフィルムとその間に結晶性メラム層とを有し、積層体の、９０°引張試験で３０ｍｍ／分で測定されたラミネート強度は約２Ｎ／インチ以上である。 （もっと読む）

【課題】材料容器内の材料の充填密度を高める。
【解決手段】蒸着源１００は、有機材料ｍａを収納する材料容器１１０と、材料容器１１０に収納された有機材料ｍａを加熱するヒータ１０５と、複数の貫通孔が形成された平板１１５ａを有し、平板１１５ａの押圧面１１５ａ１により材料容器１１０に収納された有機材料ｍａを押圧しながら、ヒータ１０５の加熱により気化した有機分子を複数の貫通孔に通す押圧部材１１５と、弾性力を用いて押圧部材１１５による有機材料ｍａへの押力を緩和するベローズ１２０とを備える。 （もっと読む）

基材上に無機又はハイブリッド有機／無機バリア層を形成するための方法。この方法は、蒸発させた金属アルコキシドを基材上に凝縮させて基材の上に層を形成する工程と、この凝縮した金属アルコキシド層を水と接触させてこの層を硬化させる工程とを含む。
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【課題】樹脂表面と反射膜用の金属薄膜の密着性を向上させることができる反射膜形成技術を提供する。
【解決手段】本発明は、成膜対象物の樹脂からなる成膜面上に真空中で緩衝用重合体膜を形成する緩衝用重合体膜形成工程（Ｐ２）と、緩衝用重合体膜上に真空中でプラズマによる処理を施すプラズマ処理工程（Ｐ４）と、当該プラズマ処理された緩衝用重合体膜上に、真空蒸着によって光反射性の金属薄膜を形成する反射膜形成工程（Ｐ６）とを有する。 （もっと読む）

【要 約】
【課題】高品質な有機薄膜を形成できる技術を提供する。
【解決手段】蒸発槽４１の内部に所定量の有機材料を供給し、蒸発槽４１を密閉して有機材料蒸気を放出させる。蒸発槽４１内が設定圧力まで上昇した後、放出口４３を開け、蒸発槽４１から蒸気放出装置１４に有機材料蒸気を移動させ、真空槽１１内に放出させる。有機材料が二種類以上の有機化合物の混合物であっても、大きな圧力差で移動するから、移動速度の相違による有機材料蒸気の組成変化はなく、膜厚方向で均一な有機薄膜を形成することができる。溶剤に有機化合物が溶解又は分散された液体状の有機材料を用いる場合、蒸発槽４１内で有機化合物の蒸気を発生させる前に、溶剤を蒸発除去しておくとよい。 （もっと読む）