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国際特許分類[C23C14/12]の内容

国際特許分類[C23C14/12]に分類される特許

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【課題】大気に開放されることなく、かつ蒸発温度を超える温度への一度の加熱で、低温及び高温に属する不純物(中温材料、高温材料)を除去し、成膜の対象である中温材料のみからなる高純度な膜を得ることができる成膜方法を提供する。
【解決手段】第1の温度T1に制御することにより第1の蒸発源11に備えられた第1の有機材料20から低温材料LM、中温材料MMを気化させる。生成された気体状態の低温材料LM、中温材料MMを、第2の蒸発源12系に移動させ、収集パネル19で冷却し、固体状態または液体状態の第2の有機材料21を生成させる。次に、第2の有機材料21を第2の温度Tに制御して、低温材料LMを気化させる。残留した中温材料MMからなる第3の有機材料22を、第3の温度Tに制御することにより気化させ、気化された中温材料MMを用いて基板30に成膜する。 (もっと読む)


【課題】光学特性に影響を与えず、高精度な光学特性を有する光学物品が得られる光学物
品の製造方法を提供すること
【解決手段】第一光学基板11または第二光学基板の少なくとも一方に多層膜12が形成
されて前記多層膜12を介して互いに接合する光学物品の製造方法であって、第一光学基
板11または第二光学基板の少なくとも一方に形成された前記多層膜12の表面に沿って
衝撃付与部材20を滑走させて前記多層膜12の表面の凸部121を脱離し、前記多層膜
12の表面、前記第一光学基板11または前記第二光学基板の少なくともいずれか一方に
プラズマ重合膜を形成し、これらを接合することを特徴とする光学物品の製造方法。 (もっと読む)


【課題】固体表面の改質方法及び表面改質された基材を提供する。
【解決手段】基材の表面に、環状、枝状、又は直鎖構造からなる有機分子を共有結合を介して被覆し、分子膜を形成し、それにより、液体と固体表面の相互作用を著しく抑制して、前進接触角(θ)と後退接触角(θ)の差(θ−θ、ヒステリシス)を小さくすることで、液滴の滑落・滑水性、耐水性、固体表面からの液滴の除去性を向上させて耐食性あるいは防食性にして、ヒステリシスが5°以下の撥水性、超撥水性を示す表面に改質する、固体表面の改質方法、及びその表面改質された基材。
【効果】固体表面を極めて小さいヒステリシスを有する表面に改質することを可能とする固体表面の改質方法、及び動的接触角の差が極めて小さいため、塩水が表面に残存しにくい、優れた耐食性を示す基材を提供することができる。 (もっと読む)


第一のデバイスが提供される。第一のデバイスは、プリントヘッドと、プリントヘッドに気密的に密閉された第一のガス源とを含む。プリントヘッドは、複数のアパーチャを備えた第一の層を含み、各アパーチャは0.5から500マイクロメートルの最小寸法を有する。第二の層が第一の層に結合される。第二の層は、第一のガス源及び少なくとも一つのアパーチャと流体連結した第一のビアを含む。第二の層は絶縁体製である。
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【課題】反応容器内で第1及び第2の原料ガスを反応させ、基板表面に薄膜を成膜する場合において、第1及び第2の原料ガスを、インジェクタの近傍で均一に混合してから基板に到達させることができ、成膜する薄膜の膜質、膜厚を基板間及び面内で均一に揃えることができる成膜装置を提供する。
【解決手段】反応容器内に第1及び第2の原料ガスを吐出する第1及び第2のインジェクタ11、12を備え、第1及び第2のインジェクタ11、12は、第1及び第2の原料ガスを基板に向けて吐出する複数の第1の吐出口N1、N2が設けられ、第1の吐出口N1から吐出された第1の原料ガスの流路FL1が、対応する第2の吐出口N2から吐出された第2の原料ガスの流路FL2と略同一であり、第1の原料ガスは、第1の吐出口N1から吐出された後、基板に到達する前に、第2の原料ガスと混合されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】バイオスクリーニングにおいて標的物質を回収するために用いる構造体であって、加工性が高くまたは融点が低くかつ密度が小さなシリコンを用いて、表面積が大きくかつ磁気特性を帯びたシリコン構造体を提供する。
【解決手段】基材11と、基材11のシリコンを主成分とする表面に直接接合された二酸化珪素を主成分とする複数の繊維状突起物12とを備えたシリコン構造体10であり、繊維状突起物12に磁性体を担持させた。二酸化珪素からなる複数の繊維状突起物12を互いに絡み合うように密集して形成させることにより、表面積を増大しかつ、繊維状突起物12に磁性体13を担持させることにより磁気分離が可能で高効率な回収を可能とする。 (もっと読む)


【課題】分子配向方向が制御された電荷輸送性非晶質薄膜を得る方法を提供する。
【解決手段】明確な融点を示さず、60℃以上のガラス転移点(Tg)を有し、分子量400〜2500の範囲にあり、電荷輸送性のアミン系π共役化合物であって、該π共役化合物が内接する最小直径の円筒の長さ(L)と直径(D)の比(L/D)が2.5以上であるπ共役化合物を、基板に蒸着製膜する際に、基板温度を制御することにより、π共役化合物の配向方向を制御して電荷輸送性非晶質膜の配向方向を制御する方法、及び蒸着する基板の温度を0℃〜Tg-30℃の範囲に制御してπ共役化合物の分子配向が基板に対して水平方向に配向した電荷輸送性非晶質薄膜を製造する方法。 (もっと読む)


【課題】水蒸気バリア性に優れた、透明なガスバリア性積層フィルムを提供する。
【解決手段】プラスチックフィルムからなり、表面の算術平均粗さ(Ra)が10nm以上となる基材層1の上に、重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物を含むアンカー層2と、SiOxCy(xは1.5以上2.0以下、yは0以上0.5以下)で表される酸化珪素からなり、厚さが10nm以上1000nm以下のガスバリア層3とを順次積層してなるガスバリア性積層フィルムにおいて、前記アンカー層2の厚みが0.1μm以上10μm以下、かつ、前記アンカー層2の表面の算術平均粗さ(Ra)が5nm以下であることを特徴とするガスバリア性積層フィルム。 (もっと読む)


【課題】真空蒸着法が可能な有機ラジカル化合物、それを用いた有機デバイスの提供。
【解決手段】下記一般式(1)


(式中、Ar〜Arは芳香族基、縮合多環芳香族基よりなる群からそれぞれ独立して選ばれた基である。)で示されることを特徴とする有機ラジカル化合物、それを用いた有機デバイス。 (もっと読む)


【課題】特に耐筆記性などの耐久性を向上させた透明導電性積層フィルムを提供する。
【解決手段】 透明なプラスチックフィルムからなる基材層(A)上の一方の面に0.2μm以上20μm以下のハードコート層(H)、反対の面に重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物(b)を硬化してなる厚さ0.1μm以上20μm以下の被膜層(B)、前記被膜層(B)上に透明導電膜層(C)が積層されてなり、前記被膜層(B)を形成する前記重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物(b)の硬化収縮率が0.2%以上10%以下であることを特徴とする透明導電性積層フィルム。 (もっと読む)


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