【課題】本発明の目的は、発熱体ＣＶＤ法を用いて、プラスチック成形体の表面に、プラスチック成形体との高い密着性（特に、耐水性）を有するガスバリア薄膜を形成する方法を提供することである。
【解決手段】本発明に係るガスバリア性プラスチック成形体９０の製造方法は、プラスチック成形体９１の表面に、発熱体ＣＶＤ法で、構成元素としてＡｌ及びＯを含有するガスバリア薄膜９２を形成するガスバリア性プラスチック成形体の製造方法において、プラスチック成形体を収容した真空チャンバ６の内部に、水素ガスを供給して、プラスチック成形体の表面を還元する水素処理工程と、Ａｌ源原料ガスを供給して、Ａｌ源原料ガスを発熱した発熱体に接触させて、Ａｌ源原料ガスを分解して化学種を生成させ、プラスチック成形体の表面に化学種を到達させることによって、ガスバリア薄膜を形成する成膜工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】実質的に純粋な、同形の金属層を１以上の基体上に金属含有前駆体の分解によって堆積する方法を提供する。
【解決手段】堆積プロセスの間、一または複数の基体は前駆体の分解温度より高い温度に維持され、一方、周囲の環境は前駆体の分解温度より低い温度に維持される。前駆体は輸送媒体、たとえば蒸気相の中に分散される。蒸気相はその中に液体も含有し、該蒸気相中の金属含有前駆体（一または複数の金属含有前駆体）の濃度は、金属前駆体（一または複数の金属前駆体）について飽和またはそれに近い状態にある。輸送媒体と基体との間の上述の温度の制御を確保することによって、かつ輸送媒体について飽和状態を維持することによって、堆積された金属薄膜の品質は顕著に改善され、かつ副生金属粉塵の生成は大きく低減されまたは実質的になくされる。 （もっと読む）

本発明は、マルチゾーン金属コーティングを備える基材を調製するためのプロセスであって、任意で前記金属材料とは相違する組成を有する金属外層を含む金属材料を温度Ｔ１へ加熱する段階と、アルミニウム、マグネシウム、及び／又は亜鉛のコーティングを蒸着させる段階と、及び温度Ｔ２へ冷却させて前記蒸着を持続する段階とを含むプロセスに関する。本発明はさらに、前記プロセスを用いて入手できるマルチゾーン金属コーティングを備える基材に関する。
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【課題】比誘電率の低い絶縁層の表面にＭｎ等の第１の金属を含む薄膜、例えばＭｎＯｘを効率的に形成することが可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】凹部２を有する絶縁層１２２が表面に形成された被処理体Ｗに第１の金属を含む薄膜を形成する成膜方法において、絶縁層の表面に親水化処理を施して親水性の表面にする親水化工程と、親水化処理の行われた絶縁層の表面に第１の金属を含む第１の金属含有原料を用いて成膜処理を施すことにより第１の金属を含む薄膜を形成する薄膜形成工程とを有する。これにより、比誘電率の低い絶縁層の表面にＭｎ等の第１の金属を含む薄膜、例えばＭｎＯｘを効率的に形成する。 （もっと読む）

【課題】 原料供給サイクルに同期させたプラズマを用いる時分割的な原料供給ＣＶＤ法により半導体またはフラット表示素子の基板上に優れた特性を有する金属酸化物、金属窒化物及び金属の薄膜を形成する方法を提供すること。
【解決手段】 プラズマを用いる原子層蒸着装置の反応器内において基板上に金属酸化物膜を形成する方法であって、反応器内に金属原料化合物を供給する段階と、反応器内に酸素ガスを供給する段階と、反応器内に所定時間中に酸素プラズマを生じさせる段階と、を含む金属酸化物膜の形成方法。 （もっと読む）

【課題】Ｎｉ基又はＣｏ基超合金タービン部品の耐酸化性を改良する。
【解決手段】タービン部品の表面に、白金アルミナイドの第１内側層１４と、第１内側層上に設けられたＭＣｒＡｌＸ合金（式中、ＭはＦｅ、Ｎｉ及びＣｏから選択され、Ｘはイットリウム又は他の希土類元素から選択される。）を含む第２外側耐酸化性層１６とを堆積することによって、タービン部品表面に二層保護皮膜１２を成膜する。 （もっと読む）

【課題】デッドエンド部分に残留している化学物質を迅速・安全・効果的にパージアウト出来、流体貯蔵タンクの交換をスムーズに行うことが出来る技術の提供。
【解決手段】先端部の継手部２４より基部側にバルブ２３を有する配管を設けた流体貯蔵タンク２１と、流体消費ライン５１と、洗浄流体供給ライン６１と、洗浄流体回収ライン４１との間の配管装置で、内管３３と内管３３の外側に設けられた外管３１とを具備し、外管３１の一端側には流体貯蔵タンク２１に設けられた継手部２４に接合される継手部が設けられ、内管３３の一端側は外管３１の一端側に設けられた継手部より突出し、継手部同士を接合した場合、流体貯蔵タンク２１に設けられた配管７１内に進入可能に構成され、外管３１の他端側は洗浄流体回収ライン４１に接続できるように、また内管３３の他端側は流体消費ライン５１、および洗浄流体供給ライン６１に接続できるよう構成される。 （もっと読む）

【課題】特定のアルミニウム化合物を用いる薄膜蒸着の方法の提供。
【解決手段】アルミニウム膜を蒸着するための方法が提供される。かかる方法は式［Ｈ_２ＡｌＮＲ^１Ｒ^２］_ｎ（式中、Ｒ^１およびＲ^２は、１〜３個の炭素を有する、同じであるかもしくは異なるアルキル基であり、ｎは２または３の整数である）のジアルキルアミドジヒドロアルミニウム化合物を用いる。アルミニウム膜は薄くても厚くてもよく、アルミニウム膜であってもアルミニウム金属を含む混合金属膜であってもよい。ＣＶＤおよびＡＬＤ法の両者を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】 Ａｌの薄膜を確実に作製する。
【解決手段】 塩素を含有する作用ガス１７をチャンバ１内に供給し、チャンバ１内の圧力を高くして滞留時間を長くし、塩素ラジカルによりＡｌ製の被エッチング部材１１をエッチングして被エッチング部材に含まれるＡｌ成分とハロゲンＣｌとからなる前駆体ＡｌＣｌ_３を生成し、塩素ラジカルによる還元が容易なＡｌＣｌ_２及びＡｌＣｌの中間体を介して前駆体ＡｌＣｌ_３のＡｌ成分を基板３側に成膜させ、Ａｌの薄膜を確実に作製する。 （もっと読む）

【課題】 見栄えがよく製品としての照度を確保した樹脂成形品の提供。
【解決手段】 （１） 蓄光材を含有した樹脂部材２０と、樹脂部材２０の表面に設けられ蓄光材が発光した光を透過可能な厚さの金属膜３０と、を有する樹脂成形品１０。（２）金属膜３０は真空蒸着にて形成される。金属膜３０を有するので昼間等の明るい時に高級感を出すことができる。また、金属膜３０は蓄光材が発光した光を透過可能な厚さであるため、昼間等の明るい時には、光が金属膜３０を透過して樹脂部材２０に至り蓄光材が光を蓄えることができるとともに、夜間等の暗い時には、蓄光材の発光した光が金属膜３０を透過する。 （もっと読む）