【課題】 半導体、液晶製造装置用の部材でフッ素系，塩素系等のハロゲン系ガスやそのプラズマに対して高い耐食性を示すＹ_２Ｏ_３膜を基材表面に成膜した耐食性部材において、従来よりも高い緻密性を有した厚膜の要求が高まっている。
【解決手段】 Ｙ_２Ｏ_３球状粒子を含み、耐食膜の結晶がより比較的高密度に充填されたＹ_２Ｏ_３厚膜を、Ｙ_２Ｏ_３球状粒子とＹ_２Ｏ_３粒子とＹ_２Ｏ_３ゾルを含むスラリーを基材に塗布し、高温で焼成することにより耐食性部材を形成する。 （もっと読む）

【課題】撥液剤被覆層により表面をコートした基板上に、高い密着性を示す金属ナノ粒子焼結体膜を形成する方法を提供する。
【解決手段】撥液剤被覆層により表面をコートした基板上に、所定の塗布液厚で金属ナノ粒子分散液を塗布し、該塗布液層の表面から、所定の波長のレーザ光を垂直照射し、金属ナノ粒子分散液と接する撥液剤被覆層のレーザ露光領域を選択的に除去し、引き続き、塗布液層に所定の波長のレーザ光を照射し、基板と塗布液層との界面の温度を上昇させ、該基板表面に高い密着性を示す金属ナノ粒子焼結体膜を形成させる。 （もっと読む）

【課題】
粒子流あるいは粒子噴流を用いて粒子を物質表面に埋め込んで、表面度平坦度、粒子の付着強度、埋め込み痕の形状、密度などの性状を向上させる方法を提供する。
【解決手段】
レーザーなどの光子熱源やジュール熱源を使い所定の物質表面を変形し易くして、粒子流あるいは噴流粒子を物質表面に噴射して粒子を埋め込むことにより加工後の表面平坦度、粒子の付着強度を高める。また、ジュール熱源条件やレーザーの出力、レーザー径、波長などを変化させて、埋め込み痕の形状、密度などの性状を向上させることにより、本発明の方法で作製されたデバイスの機能、性能の向上を高める方法とする。 （もっと読む）

【課題】鉄系金属材料に対し、密着性、耐熱性、導電性、耐食性のいずれにも優れる金属材料、およびこれを実現することができる金属材料の製造方法の提供。
【解決手段】鉄系金属材料と、前記鉄系金属材料の表面に形成されている酸化物層とを有し、前記酸化物層が、Ｚｒ、ＴｉおよびＨｆからなる群から選ばれる少なくとも１種の金属（Ａ）とＦｅとを酸化物として含む金属材料、およびこれを製造する金属材料の製造方法。 （もっと読む）

【課題】優れた拡散皮膜組成物及び金属表面の優れた拡散被覆方法を提供する。
【解決手段】拡散皮膜組成物は（ａ）１種以上の金属を含む皮膜粉末と、（ｂ）気化又は燃焼時に活性化ガスを放出するバインダーとを含有する。拡散被覆方法は、（ａ）基材を用意し、（ｂ）基材の少なくとも一部に拡散皮膜組成物を施工し、但し本組成物が１種以上の金属を含む皮膜粉末とバインダーとを含有し、（ｃ）皮膜組成物の少なくとも一部を気化又は燃焼し、バインダーの少なくとも一部を気化又は燃焼して活性化ガスを発生するとともに金属の少なくとも一部を気化し、これにより基材上に金属の皮膜を形成する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、コールドスプレー法で得られる従来の積層体と比較して皮膜の強度および基材に対する皮膜の接合強度に優れる積層体の製造方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、コールドスプレー法によって基材２の表面に皮膜３を形成する積層体１の製造方法において、前記基材２の表面に、この基材２の物性と前記皮膜３の物性との間の物性を示す素材からなる中間層Ｍを少なくとも１層形成した後に、この中間層Ｍ上に前記皮膜３を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安価で簡便な、耐水蒸気酸化性を向上することができる鋼の表面処理方法により表面処理されたフェライト系耐熱鋼を提供する。
【解決手段】粉末Ｃｒショット材のショットピーニング処理により付着されたＣｒが予備酸化処理されてなるＣｒ酸化物皮膜を基材表面に有する。 （もっと読む）

【課題】皮膜材を飛散することなく成膜用の工具と成膜対象の金属基材の平面との隙間に確実に集めることができ、成膜用の工具を意図的に加圧する必要がなく、よって装置構成が容易であり、また、厚みの均一な膜を金属基材の広範囲な平面に連続して形成することができるようにした、金属等の基材の平面に耐摩耗性等の皮膜層を形成する成膜方法及びこの成膜方法に用いられる成膜工具を提供する。
【解決手段】円柱体の底部平面から側部外周面に向けて渦巻状に傾斜する複数条の溝を略等間隔に形成して成る成膜用の工具を用い、前記工具を回転させる間に、前記工具の底部周辺にある粉末状の皮膜材を集めて基材平面と前記工具の底面との間に押し込み、ここに高温、高圧、高剪断力を発生させる。 （もっと読む）

【課題】プラスチックからなる基材に形成される金属層の機能性を確保すると共に金属層の性質をより幅広く実現可能とする。
【解決手段】プラスチックからなる板状の基材Ｙの少なくとも一方側の面に金属層Ｘ１を形成するコーティング方法であって、上記金属層Ｘ１の原料粉末Ｘを圧延処理によって上記基材Ｙの少なくとも一方側の面に圧着する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラズマ発生に伴う衝撃力を効率よく被加工面に付与するとともに、被加工面に所望の機能を付与することのできる表面改質方法と、それに用いる被膜体の提供を課題とする。
【解決手段】本発明の表面改質方法は、被加工物の被加工面の上をレーザを吸収してプラズマを発生するプラズマ発生層と一面に平面又は凹凸形状を有する硬質層とを備えた被覆体で覆い、この被覆体に短パルス高ピーク出力のレーザを照射し、レーザピーニングの衝撃波により被加工面を硬質層の平面又は凹凸形状に加圧成形ことを特徴とする。被加工面と被覆体の間に粉粒体などの固着物を配置して被加工面を加圧成形するとともに、粉粒体などの固着物を埋設してもよい。固着物の有する特性により、被加工面に様々な機能を付与することができる。 （もっと読む）