【課題】費用のかかる真空及び機器要件なしで、ＥＢＰＶＤによって生じるコーティングと構造的に類似したコーティングを作製することができるシステムを提供する。
【解決手段】超合金基板にサーマルバリアコーティングを施すシステムは、サーマルバリアコーティングを作製するための材料を供給する少なくとも１つのターゲットと、ターゲットから原子粒子を遊離させるためにターゲットに向けて操作可能に指向される少なくとも１つのレーザと、プラズマを発生させ、原子粒子を加速させて超合金基板上にサーマルバリアコーティングとして堆積させるためのプラズマトーチとを備え、超合金基板は、ニッケル基超合金又はコバルト基超合金である。
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【課題】ＳｎやＮｉなどによるめっきを必要とせず、また、接合部の電気抵抗の増加を最小限に抑えることが可能な、レーザー溶接し易い銅あるいは銅合金材料を提供すること。
【解決手段】本発明のレーザー溶接用の銅材料または銅合金材料は、板厚０．０５〜１０．０ｍｍの銅板または銅合金板の少なくとも片面が、着色剤を含有する樹脂層で被覆されてなり、前記樹脂層表面の波長１０００ｎｍの光に対する反射率が４０％以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＳｎやＮｉなどによるめっきを必要とせず、また、接合部の電気抵抗の増加を最小限に抑えることが可能な、レーザー溶接し易い銅あるいは銅合金材料を提供すること。
【解決手段】本発明のレーザー溶接用の銅材料または銅合金材料は、板厚が０．０５〜１０．０ｍｍの銅板または銅合金板の少なくとも片面に、抵抗率１００Ωｃｍ以下の導電性コーティング層を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低コストで安定した品質の薄膜を製造することができる薄膜製造方法を提供する。
【解決手段】薄膜製造方法であって、基板２０の第１主面２０ａ上に形成させる薄膜の原料溶液中に、基板を配置する配置工程と、第１主面２０ａ側から光を照射することにより、基板２０の第１主面２０ａ上に薄膜を形成する形成工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜上に中間層を介して金属膜を形成する場合に、その密着性を改善することができる成膜方法及び成膜装置並びに積層膜を提供すること。
【解決手段】基板３の表面の絶縁膜１上に、金属と酸化物とを含む複合層である中間層５を介して金属膜７を積層して、積層膜９を形成する際には、基板３に対して、超臨界流体と複合層５中の金属となる原料と複合層５中の酸化物となる原料とを供給して、複合層５の超臨界成膜を行うとともに、超臨界成膜を行う際には、複合層５中の酸化物となる原料に対する複合層５中の金属となる原料の供給比率を、連続的又はステップ状に、膜厚の増加に伴って増加させる。 （もっと読む）

本発明は、微粒子化の低減を示すプラズマエッチング耐性層で基板をコーティングする方法であって、基板にコーティング層を適用するステップを含む方法を含み、コーティング層は、約２０ミクロン以下の厚さを有し、ある時間にわたってフッ素ベースのプラズマに曝露された後のコーティング層は、コーティング層の断面に広がるいかなるクラックまたは亀裂も実質的に含まない。［００６２］記載される方法によって調製されるコーティングされた基板。また、本発明には、フッ素ベースの半導体ウエハー処理プロトコルで構造要素として使用するためのコーティングされた基板も含まれ、コーティングは、約２０ミクロン以下の厚さを有するコーティング層であり、ある時間にわたってフッ素ベースのプラズマに曝露された後のコーティング層は、コーティング層の断面に広がるいかなるクラックまたは亀裂も実質的に含まず、微粒子化の低減を示す。
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【課題】粗面化処理することなく、平坦な表面を有する導電性金属箔を用いてなる、有機基材や異方導電フィルムとの密着性を向上させた金属箔部材を提供する。
【解決手段】導電性金属箔１の片面に絶縁性機能膜２を有する金属箔１であって、前記絶縁性機能膜２が、ケイ素、チタン、ジルコニウムおよびアルミニウムの中から選ばれる金属原子を含む金属アルコキシド化合物を加水分解−縮合反応してなるＭ−Ｏの繰り返し単位を主骨格とする縮合物を含む塗工液を塗工して形成されてなり、かつ前記絶縁性機能膜２と、異方導電フィルム４との接着強度が、リフロー処理後で５．７Ｎ／ｃｍ以上であり、リフロー処理後、更に８０℃、９５％ＲＨで１０００時間の処理を行った後において３．５Ｎ／ｃｍ以上である絶縁性機能膜付き金属箔１である。 （もっと読む）

【課題】き裂を除去した除去部を肉盛により補修する際の、熱ひずみによる影響を抑制して、補修部における欠陥の発生を防止することができるガスタービン動翼の補修方法およびガスタービン動翼を提供する。
【解決手段】ガスタービン動翼の補修方法は、ガスタービン動翼１０のプラットフォーム１１の側面１１ａに発生したき裂１２を、プラットフォーム１１の厚さ方向に断面形状が円弧状の溝１３を形成することで除去するき裂除去工程Ｓ１００と、プラットフォーム１１の厚さ方向に走査しながら、肉盛材料１４を多層に肉盛して溝１３を埋める肉盛工程Ｓ１０１と、肉盛材料１４によって肉盛された肉盛部１５の寸法を当初の寸法に戻す成形工程Ｓ１０２と、当初の寸法に戻されたプラットフォーム１１を熱処理する熱処理工程Ｓ１０３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 耐エロージョン性機械部品にエロージョンが発生した場合に、簡便に補修できる方法を提供する。
【解決手段】 耐エロージョン性が求められる蒸気タービン翼の先端前縁部に形成された、Ｓｉの含有量が３〜１１ｗｔ％となる鉄基金属組織を５〜１０μｍの厚さで形成された部位に対し、深さ１０μｍ未満のエロージョン部が発生した機械部品の補修方法において、該エロージョン部にＳｉの含有量が３〜１１ｗｔ％となる鉄基金属組織を５〜１０μｍの厚さで再形成させる時間分、Ｓｉ電極との間で放電パルスの電流値の時間積分の値が３０Ａ・μｓ〜８０Ａ・μｓの範囲である放電パルスを繰り返し発生させることで、耐エロージョン性機械部品の補修を行う。 （もっと読む）

【課題】 本発明は，対象物の洗浄を行う際に用いる水の洗浄力を効率的に高めることができるとともに，コーティング（対象物への被膜形成）を行う際の作業効率を高めることができる洗浄及び被膜形成装置等を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の洗浄及び被膜形成装置１００は，対象物の洗浄や対象物への被膜形成を行うためのものであり，コート液を収容するコート槽１と，コート槽１と接続された混合加電槽２と，混合加電槽２に接続する水供給装置３と，混合加電槽２の送出口と接続された放出装置４とを有する。また，コート槽１と混合加電槽２との間には，弁５が設けられている。混合加電槽２は，槽内の液体を混合し，混合した液体に電気を通すものである。そして，洗浄時には，混合加電槽２へのコート液の供給がなされず，被膜形成時には，混合加電槽２へとコート液が供給される。 （もっと読む）