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国際特許分類[C23F1/18]の内容

国際特許分類[C23F1/18]に分類される特許

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【課題】充放電サイクルを繰り返しても容量保持率の低下が起こらず高寿命で、負極集電体が変形しないリチウムイオン二次電池を作成可能なリチウムイオン二次電池負極用電解銅箔を供給することを目的とする。
【解決手段】本発明のリチウムイオン二次電池の負極集電体を構成する電解銅箔であって、該電解銅箔は200〜400℃で加熱処理後の0.2%耐力が250N/mm2以上、伸びが2.5%以上であり、該電解銅箔の活物質層を設ける表面は防錆処理が施され、或いは粗化処理され防錆処理が施されている。また本発明は前記電解銅箔を集電体とするリチウムイオン二次電池用電極、該電極を負極としたリチウムイオン二次電池である。 (もっと読む)


【課題】微細パターンの回路配線の形状不良及びスラッジの発生を防止することにより、断線やショート等がない微細パターンの回路配線を形成し得る銅含有材料用エッチング剤組成物を提供する。
【解決手段】(A)第二銅イオン及び第二鉄イオンから選択される少なくとも1つの酸化剤成分0.1〜15質量%、(B)エチレンオキサイド基及びプロピレンオキサイド基から選択される少なくとも1つの基を(ポリ)アミン類化合物の活性水素に付加した化合物0.001〜5質量%、(C)ヒドロキシアルカンスルホン酸及びヒドロキシアルカンスルホン酸塩から選択される少なくとも1つのヒドロキシアルカンスルホン酸成分0.1〜10質量%、並びに(D)塩酸及び硫酸から選択される少なくとも1つの無機酸0.1〜10質量%を必須成分とする水溶液からなることを特徴とする銅含有材料用エッチング剤組成物とする。 (もっと読む)


【課題】封止材等との接着性が良好であり、電気特性及び放熱性の低下を抑制することができ、低温処理可能であって、生産性に優れ、キズやコスレなどの痕が付きにくい、半導体実装用導電基材の表面処理方法を提供する。
【解決手段】半導体実装用導電基材に、腐食抑制剤、硫酸及び過酸化水素を含有する化学粗化液を接触させて表面に粗化形状を形成する粗化工程を有し、前記腐食抑制剤は、1,2,3−ベンゾトリアゾール及び5−アミノ−1H−テトラゾールを含有し、前記粗化工程の後に、前記粗化工程で表面に形成される有機皮膜を、アミンを含有するアルカリ性溶液に接触させて除去する皮膜除去工程を有する半導体実装用導電基材の表面処理方法。 (もっと読む)


【課題】塩化鉄水溶液にシュウ酸を添加したエッチング液を用いてエッチングを行い、微細な配線パターンを形成する際に、スプレー圧力の変化によって生じるエッチング速度やパターン形成可能な最狭配線ピッチの変化が少ないエッチング液を提供する。
【解決手段】塩化鉄(III)及びシュウ酸を含有するエッチング液に、エチレンジアミンにポリエチレンオキサイド鎖及びポリプロピレンオキサイド鎖が結合したブロック共重合体を添加する。 (もっと読む)


【課題】 銅または銅合金とニッケルを同時に有する電子基板から銅または銅合金をエッチングする工程において、銅または銅合金のエッチングを高選択的に行うことができるエッチング液を提供することを目的とする。
【解決手段】 銅または銅合金とニッケルを同時に有する電子基板から銅または銅合金を選択的にエッチングする工程用のエッチング液であって、酸基を分子内に有するキレート剤(A)、過酸化水素(B)、およびオキシエチレン鎖を分子内に有する界面活性剤(C)を必須成分とする銅または銅合金用エッチング液。 (もっと読む)


【課題】銅を、異方的にエッチングすることが可能なエッチング方法を提供すること。
【解決手段】表面にマスク材102が形成された銅膜101の周囲を、有機化合物ガス22雰囲気とする工程と、有機化合物ガス22雰囲気中で、銅膜101に、マスク材102をマスクに用いて酸素イオン6を照射し、銅膜101を異方性エッチングする工程と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】電解めっきにて成膜した銅膜4をエッチングして銅パターン4’を形成するに際し、生産性を大きく低下させることなく、順テーパ形状の断面形状を有する銅パターン4’を容易に形成できるようにする。
【解決手段】それぞれめっき液を収容した第一のめっき浴と第二のめっき浴を用い、銅膜4を第一の銅膜4aと第二の銅膜4bに分けて成膜すると共に、以下のA、B、Cのいずれか一又は二以上の調整を行う。
A:第一の銅膜4aの成膜に用いるめっき浴中のめっき液の光沢剤濃度を、第二の銅膜4bの成膜に用いるめっき浴中のめっき液の光沢剤濃度より高くする。
B:第一の銅膜4aの成膜に用いるめっき浴中のめっき液の平滑剤濃度を、第二の銅膜4bの成膜に用いるめっき浴中のめっき液の平滑剤濃度より低くする。
C:第一の銅膜4aの成膜に用いるめっき浴中のめっき液の温度を、第二の銅膜4bの成膜に用いるめっき浴中のめっき液の温度より高くする。 (もっと読む)


【課題】本発明は、銅含有材料の良好な外観、特に金属光沢を維持し、レジスト等の被覆材料との充分な密着性を有する化学処理を行うことができる銅含有材料粗面化剤及び銅含有材料の粗面化方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の銅含有材料粗面化剤は、(A)硫酸25〜200g/リットル、(B)過酸化水素10〜100g/リットル、(C)亜リン酸または亜リン酸塩から選ばれる少なくとも1種の亜リン酸成分0.05〜20g/リットル、(D)1,2,3−ベンゾトリアゾール、5−メチル−1H−テトラゾールから選ばれる少なくとも1種又は2種のアゾール成分0.05〜10g/リットル、(E)塩化ナトリウムまたは塩化ベンザルコニウムから選ばれる1種類又は2種類の塩素化合物成分0.005〜0.5g/リットルを含む水溶液からなることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】熱反応型レジスト材料として銅の酸化物を用いてレーザー光で露光した場合、特に、CuO(II)を熱反応型レジスト材料として、その露光・未露光部を選択的にエッチングすることのできる酸化銅用エッチング液及びエッチング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】酸及びキレート化剤のいずれか一方と、リン酸エステル部位を含有する界面活性剤とを少なくとも含むエッチング液を用いて、銅の酸化物を主成分とする酸化銅含有層に対してエッチング処理を行う。 (もっと読む)


【課題】低い過酸化水素含有量で銅膜と他の金属膜とからなる多重膜の一括エッチングが可能で、工程に適したエッチング速度、適当なエッチング量、及び適切なテーパ傾斜角を有するエッチング液組成物により、既存の過水系エッチング液よりも高い安定性を有し、処理枚数能力を向上させる。
【解決手段】
本発明による金属配線エッチング液は、過酸化水素、酸化剤、フッ素化合物、キレート剤、硝酸系化合物、ホウ素系化合物、添加剤、及び残量の水を含むことを特徴とする。 (もっと読む)


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