【課題】 弁体の開閉動作を行なう際に高雰囲気温度での使用であっても通路の閉塞状態を良好に保持することのできる弁装置を提供する。
【解決手段】 通路３，３ａを開閉するための弁体８６を含む作動軸８４と、この作動軸８４と連繋し温度に応じて変形することで弁体８６を開閉動作させる熱応動素子１２１と、前記通路３，３ａに設けられ弁体８６が接離するシート部材４１とを備え、シート部材４１に対し弁体８６が接離することで通路３，３ａを開閉する弁装置１において、前記シート部材４１を移動自在とした。 （もっと読む）

【課題】さらなる微細化に対応でき、例えば信号流路の流量をゼロとして流量の制御及び調節が可能なマイクロバルブマイクロバルブを提供する。
【解決手段】分岐部Ｆにおいて２つに分岐する主流路の外壁面に少なくとも１つの信号生成部（１２，１３）が設けられており、信号生成部(１２，１３)は、閉空間で構成され、分岐後の主流路の一方に近く、他方に遠い位置における分岐部Ｆの近傍において閉空間から主流路に臨む開口部を有しており、信号生成部（１２，１３）の壁面には振動生成部（１２ａ，１３ａ）が設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体の流れを制御することができるマイクロバルブの流量調節方法を提供する。
【解決手段】流体注入排出用の第１の開口部と、下壁に形成されている流体注入排出用の第２の開口部を有するバルブ室内に、板状の弁体が、空隙を介して常に流体注入排出用の第２の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体を逆流することなく、一方向のみに輸送するマイクロバルブの流量調節方法を提供する。
【解決手段】 流体排出用の開口部と、下壁に形成されている流体注入用の開口部を有するバルブ室内に、少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が、常に流体注入用の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入用の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。 （もっと読む）

【課題】単結晶シリコンから形成されるダイアフラムのへき開を防止する。
【解決手段】静電アクチュエータ１と、静電アクチュエータ１により駆動させられる単結晶シリコンのダイアフラム２と、ダイアフラム２が往復運動することにより開閉される流路３ａとを備え、ダイアフラム２の外縁領域２ａを単結晶以外の結晶構造に改質する。 （もっと読む）

第１の室と第２の室（１５）との間に位置する膜を有する中間弁。第１の室内に入口及び出口を設けることができる。膜（１９）は、第１及び第２の室間にオリフィスを提供することができる。膜上に第１の電極を設け、第２の室の内側表面上に第２の電極を設けることができる。膜は、第１及び第２の位置又は多数の可変の位置を有することができる。電極（２２、１３）を横切って電圧を適用すると、膜を第２の位置へ移動させることができ、その間、出口（２６）は、入口（２７）との流体連通のために少なくとも部分的に開き、オリフィス（１４）は閉じ、膜（１９）は、第２の空洞（１５）内の流体圧力クッションにより第２の位置で停止し、引き込みを阻止する。電極（２２、１３）から電圧を除去すると、膜は第１の位置へ戻ることができ、オリフィスを開き、出口を閉じる。
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【課題】 小型で簡便なエアーバルブを提供する。
【解決手段】 気体が流入する流入口６と、流入した気体が流出する流出口７と、電圧を印加することで伸縮可能なエラストマー又はポリマーと、前記エラストマー又はポリマーに電圧を印加するために設けられた電極とを有するアクチュエータ２と、を備え、流入口６から流出口７までの流出経路Ｒ１をアクチュエータ２を駆動させて開閉する。 （もっと読む）

【課題】 双安定状態を利用して、エネルギー消耗が小さく、さらに弁に作用する流圧が十分でない場合でも、漏れを低減することができる弁を提供する。
【解決手段】 プランジャ２１０と、プランジャ２１０が往復動できる第１領域２２２と第２領域２２４とを有する作動室２２０と、第１領域２２２と第２領域２２４のそれぞれの周辺に設けられて、プランジャ２１０の存在する領域に作動磁界を形成する第１電磁石２３０及び第２電磁石２４０、第１領域２２２と第２領域２２４との間の作動室２２０に設けられて、作動室２２０に流体を流入する流入部２５０、及び第１領域２２２に対して離隔される方向に前記第２領域２２４の終端部に設けられた第２流出口２６０を備えることを特徴とする弁である。 （もっと読む）

弁を通る流体流れを変調するために弁内の流れチャンネルの寸法を選択的に変更できる弁が提供される。弁は空洞内へ延びる入口（１０）及び出口（１２）を備えた、空洞（１４）を画定するハウジング（８）を有する。膜（３０）が空洞内に位置し、この場合、膜の少なくとも一部が流体経路（１５）の少なくとも一部を画定する。１又はそれ以上の電極（２０）が膜に関して固定され、１又はそれ以上の電極（２２）が、弁を通る流体流れを変調するために膜を静電的に作動できるように、ハウジングに関して固定される。
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界面動電現象を利用する装置に非ニュートン流体を使用して、当該装置を流れる電気浸透流を生成する。非ニュートン流体の非線形の粘度により、界面動電装置は、外部から印加される圧力及び電位等の異なる作動条件下において作動することができる。非ニュートン流体を用いる界面動電装置は、これらに限定されないが、界面動電ポンプ、フロー制御器、ダイアフラムバルブ、及び変位システムを含む多数の用途に使用することができる。
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