【課題】気体供給弁の小型化を図るとともに、気流吹き付けの開始及び停止の遅れを低減する。
【解決手段】気体供給弁１０は、気体を導入する気体導入路１１ｃと、該気体導入路の導入開口１１ｅが内部に臨む弁シリンダ１２と、該弁シリンダの内部において前記導入開口を開閉可能に構成する閉塞部１５ａを備えた弁体１５と、前記弁シリンダの内部に臨む導出開口１２ｄを備えた気体導出路１２ｃ他と、前記弁体を駆動して前記導入開口の開閉動作を行う圧電アクチュエータ１９と、を具備する気体供給弁において、少なくとも弁の開放時において前記導入開口と前記導出開口の間の内部空間を外部に連通させる通気経路１２ｅ、１２ｆ他が前記気体導入路及び前記気体導出路とは別に設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】応答性能を高めることができると共に、流体の流量制御が可能であり、宇宙機用スラスタに好適なバルブ装置を提供する。
【解決手段】流体の入口側から出口側に至る流路の途中に、流路の一部となる流通孔５を有するバルブシート６を備え、バルブシート６の流路入口側に、流通孔５を閉塞する状態に弾性保持したボール７を備えると共に、バルブシート６の流路出口側に、流通孔５を通してボール７を押動するポペット８と、ポペット８を往復駆動する圧電アクチュエータ２を備えた構成により、応答性能を高めて、レギュレータを用いずに流体の流量制御を行うことを可能にし、宇宙機用スラスタに好適なバルブ装置Ｖとした。 （もっと読む）

【課題】弁体を開閉動作させる駆動力の低減を可能とすると共に、その構造の小型化を図ることを可能にする流量調整絞り弁を提供することを課題とする。
【解決手段】流量調整絞り弁１０１は、流入路１ｂ及び流出路１ｃを有するボディ１を備える。また、ボディ１の内部において流入路１ｂ及び流出路１ｃの間に回転自在に設けられ、回転することにより流入路１ｂ及び流出路１ｃを連通する流路４ｂの開度を調整する弁体４を備える。さらに、ボディ１の内部において、圧電素子部１１，１２を有し、凸部１０ｂａにおいて弁体４に当接すると共に、圧電素子部１１，１２の振動により弁体４を回転させる振動アクチュエータ１０を備える。 （もっと読む）

【課題】弁体を動作させる駆動力の低減によるアクチュエータの小型化及び１つのアクチュエータによる弁体の複数の動作を可能とすることにより、その構造の小型化及びコストの低減を図ることのできる切替弁を提供することを課題とする。
【解決手段】切替弁１０１は、流体通路Ｃ１，Ｃ２を有するボディ１を備え、ボディ１の内部の流体通路Ｃ１，Ｃ２の途中に弁孔１ａを備える。また、弁孔１ａには内部で摺動及び回転自在な弁体２が収容される。さらに、ボディ１の内部には、圧電素子部１１，１２，１３を有する振動アクチュエータ１０が設けられ、振動アクチュエータ１０は弁体２に当接し、圧電素子部１１，１２，１３の振動により弁体２を摺動及び回転させる。また、弁体２は、摺動することにより流体通路Ｃ１，Ｃ２のうちの１つを連通し、さらに回転することにより連通した流体通路Ｃ１或いはＣ２の流量を調整する。 （もっと読む）

【課題】 弁体が導出口を設けた弁座基板に押し付けられた場合でも、流体を導出することができる溝を備えたマイクロバルブを実現する。
【解決手段】 弁座基板に対向させて弁体を設け、この弁体に設けられた電極と前記弁座基板に設けられた電極間を静電引力により前記弁体を変位させ、前記弁座基板に設けた流体を流入させる導入口の流入量を制御するマイクロバルブにおいて、前記弁体を挟んで前記弁座基板と反対側に設けられたバックプレートと、このバックプレートに設けられると共に流体を流出する導出口と、前記弁座基板に設けられると共に前記導入口を囲むように設けられた突起部と、この突起部に対向させて前記弁体に設けられた絶縁膜とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、内燃機関内での、バルブの閉鎖フェーズ中の、ピエゾアクチュエータによって作動されるバルブ素子のバウンド衝突を抑制するための方法に関する。この方法は以下のステップを有している：すなわち、・ピエゾアクチュエータを部分的に放電するステップ、これによってバルブ素子は弁座に達する前に制動される、・ピエゾアクチュエータの放電を中断するステップ、これによってピエゾアクチュエータはバルブ素子によって圧接され、電荷を形成する、・ピエゾアクチュエータを再び放電するステップ、ここで部分的放電後の残留電荷および充電中断中に形成された電荷が少なくとも部分的に放出される。本発明では、放電過程を短時間中断することを提案する。これによって、ピエゾアクチュエータは、バルブ素子の運動エネルギーを受容し、バウンドを伴うはね返りが始まる前に、ピエゾアクチュエータは再び放電され、これによってピエゾアクチュエータによって受容されたエネルギーが排出される。
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【目的】 製品ごとに応答性能のバラツキを少なくし、個別の調整を不要にし得る圧電素子駆動式ダイヤフラム型制御弁を提供する。
【構成】 流路が形成された弁本体３と、流路を開状態にして弁本体３に保持されたダイヤフラム４と、ダイヤフラム４の開閉方向へ移動可能に支持され、ダイヤフラム４を閉鎖可能な弁棒５と、ダイヤフラム４の閉方向への移動を阻止されるとともにダイヤフラム４の開方向への変形による変位を許容された状態で支持された圧電素子６と、圧電素子６の変位を許容された側の端部に当接することによって支持された作動部材７と、弁棒５の軸線Ｘを中心として放射状に配置され、圧電素子６の変位に伴う作動部材７の変位を拡大して弁棒５に伝えるように揺動自在に支持された複数の梃子体８と、を有することとした。 （もっと読む）

【課題】流体の良好な制御と低消費電力化の両立が高いレベルで達成できる静電駆動型半導体マイクロバルブを提供する。
【解決手段】バルブ構造体１は、フレーム１０と、フレーム１０の開口内に配置された弁体部１１と、ビーム１２とを有する。弁座２は、表面開口する弁孔２０を有し、弁孔２０に弁体部１１が一致するようバルブ構造体１が搭載されている。弁体部１１と弁座２の対向面には、可動電極層１３と固定電極層２１が形成され、可動電極層１３の表面には、絶縁層３が形成されている。弁体部１１は、初期状態で弁孔２０をその接触圧によって塞ぐように弁孔２０の開口周辺領域に接触している。弁座２の上表面には、弁孔２０の開口周縁部２５を囲むように、環状凹溝（環状溝部）２４が形成され、また、環状凹溝２４に一端が連通するとともに他端が開放した凹溝（連通溝部）２４ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】スティッキング現象の発生を抑制することで信頼性の高い動作を実現できるマイクロバルブを提供する。
【解決手段】半導体基板を用いて形成され、フレーム１１、弁体部１２、およびビーム１３を有する弁体基板１と、表面に開口する弁孔２１を有し、該弁孔２１に弁体部１２が一致するようにしてフレーム１１を表面に固定することにより弁体基板１が搭載される弁座基板２と、弁体基板１における弁座基板２側とは反対側の表面に搭載される第１基板３と、を具備する。弁体部１２と弁座基板２との互いの対向面の少なくとも一方の表面に、弁孔２１を弁体部１２で閉止した状態において流体リーク量が許容範囲に納まるように高さ設計され弁体部１２と弁座基板２とが固着するのを防止する複数の微小突起８を設けてある。 （もっと読む）

【課題】構成が簡単で製造が容易であり、かつ従来のマイクロバルブと同程度に機能し得るマイクロバルブを有する微細流路を提供する。
【解決手段】微細流路１ａのマイクロチャンネル３が備える第１の反応流体Ａの流路６および第２の反応流体Ｂの流路７の所定位置に、マイクロバルブ１０，１１をそれぞれ備える。マイクロバルブ１０，１１は、微粒子状磁性体の滞留領域１２，１４と、これに対応して磁界の作用をおよぼし得る位置にそれぞれ付設した磁石機構１３，１５とをそれぞれ有する。これにより、磁石機構１３，１５による磁界の作用時には、凝集した微粒子状磁性体が滞留領域１２，１４に密着して流路を閉塞する。また、磁界の非作用時には、凝集した微粒子状磁性体が、滞留領域１２，１４内で移動するか第１の反応流体Ａおよび第２の反応流体Ｂ中にそれぞれ分散して流路６，７を開放する。 （もっと読む）