【課題】よりサイズが小さく、より高い流体圧力をコントロールすることが可能な、より廉価なマイクロバルブを提供する。
【解決手段】マイクロバルブは、対応する動作開口を動作開口層内に含む。コントロール流体が動作開口を通って流れる。コントロール流体の流れは、通常、動作開口層の近傍における電荷分布を介して印加される電界によってコントロールされる。１つの実施態様においては、電界が、動作開口の開閉を調整でき、それによってコントロール流体の流れをコントロールする。コントロール流体の流れが、コントロールされることになる流体が流れる導管の壁に沿って形成される柔軟な膜の伸張をコントロールする。柔軟な膜の伸張は、コントロールされることになるメイン流体の流れをコントロールする。 （もっと読む）

【課題】流路からの漏れを軽減し、コンタミネーションの発生を抑制できる簡素な構造のマイクロ流体装置を提供する。
【解決手段】マイクロ流体装置は、マイクロ流体チップ１１と超音波ステータ１４とを有し、マイクロ流体チップ１１は超音波ステータ１４に形成された保持部１５に保持される。マイクロ流体チップ１１は、微小な流路１２を有する基板１８からなる。流路１２の内部には、弁体１３が移動可能に設置されている。上流側の流路１２の断面積は下流側の断面積よりも大きく、弁体１３が流路１２の下流側へ移動した場合、下流側の流路１２が塞がれ、流路１２が分断される。弁体１３が流路１２の上流側へ移動した場合、流路１２が連結された状態となる。弁体１３の移動は、超音波ステータ１４が発振する進行波によって行われる。進行波は保持部１５を介してマイクロ流体チップ１１の基板１８に伝えられ、弁体１３はその進行波の進行方向に応じて移動する。 （もっと読む）

【課題】所定の駆動源により弁体を変位させる電動弁において、弁体のストローク量を充分確保できるようにする。
【解決手段】 一端に上記駆動源（50）に押し付けられて弁座開口（49）方向へ変位する上蓋部（61b）が設けられ、他端に上記弁体（65）を保持するとともに第１変位部（61b）の変位に応じて弁体（65）を移動させるように変位する底壁部（62c）が設けられるとともに、底壁部（62c）の変位方向に直交する断面積Ｓ２が、上蓋部（61b）の同方向の断面積Ｓ１よりも小さく設定された第１液室（70）と、第１液室（70）に連通された第２液室（52）と、第１液室（70）及び第２液室（52）に封入された液体が熱膨張すると第２液室（52）を拡張させるように変位する容量調整用ベローズ（54）とを設ける。 （もっと読む）

本発明はハウジング（６）を備えた能動制御バルブ（１）に関する。前記能動制御バルブ（１）は、通路開口（４ａ）を有し、かつ移動可能に支持されたバルブプレート（４）と、前記ハウジング（６）に固定して配置され、かつ通路開口（２ａ）を有するカウンタープレート（２）とを備える。前記バルブプレート（４）は前記カウンタープレート（２）に対して摺動可能に支持され、前記通路開口（２ａ，４ａ）は開閉される通路（２４）を形成する。前記能動制御バルブ（１）は前記バルブプレート（４）を駆動する駆動装置（８）を備え、前記バルブプレート（４）は駆動バネ（７）によって前記駆動装置（８）に連結され、前記バルブプレート（４）の位置を固定するために、駆動可能な挟持装置（１０）が設けられる。
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【課題】プラントに設置されている電動弁が、次回に動作する時、設計条件を満たす能力を発揮しうるか否かを予測する方法を提供する。
【解決手段】プラントにおける制御流路に配設した弁装置と、弁装置を開閉駆動する電動モータと、その電動モータにより弁体を開閉移動する伝動機構と、電動機構に連係して弁体の開閉移動に要する駆動力を電気的に検出する弁体駆動力検出センサと、弁体の開閉移動における開閉度合いを検出する弁体位置検出手段とを備え、弁体の開閉時において、弁体位置検出手段によって得られる弁体の特定位置における弁体駆動力検出センサが検出した駆動力に基づいて、当該電動弁が将来動作する時、設計操作力が得られるか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】エラストマーバルブの構造体製造方法を提供する。
【解決手段】微細製作モールドの頂部上で第一エラストマー層を形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第一エラストマー層２０の底部表面に沿って延びる第一凹部を形成する第一隆起突出部を有する、工程；第二エラストマー層２２を微細製作モールドの頂部上に形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第二エラストマー層２２の底部表面に沿って延びる、第二凹部を形成する第二隆起突出部を有する工程；該第二エラストマー層２２の底部表面を、該第一エラストマー層２２の頂部表面上へ結合し、その結果、制御チャネルが、該第一および第二エラストマー層２０の間の第二凹部中に形成される工程；および平坦基板の頂部上の該第一エラストマー層を位置決めし、その結果、フローチャネル３２が該第一エラストマー層２２と該平坦基板との間の該第一凹部中に形成される工程、を包む。 （もっと読む）

【課題】高圧下でも安定したシールが可能であり且つ高速開閉により高速なジェット噴射が可能な超臨界流体ジェット噴射用パルスバルブ装置を提供する。
【解決手段】超臨界流体ジェット噴射用パルスバルブ装置は、超臨界流体導入部１１とジェット噴射出力部１２とを有する超臨界流体導入ハウジング１０と、超臨界流体導入ハウジング１０のジェット噴射出力部１２に配置されるオリフィス２０と、オリフィス２０を押圧することでジェット噴射出力部１２をシールするプランジャ３０とからなる。プランジャ３０は、超臨界流体導入ハウジング１０に一部分が挿入される。付勢部４０によりプランジャ３０をオリフィス２０側に付勢する。駆動部５０は、外部入力信号に応じてプランジャ３０をオリフィス２０と反対側に駆動させる。 （もっと読む）

【解決手段】 流体用筐体（５）と、流体用筐体（５）の内部に設けられている少なくとも１つの切替部材（６）と、流体用筐体（５）の外部に設けられているアクチュエーション手段（７０）とを備えるスイッチングバルブ（１００）であって、アクチュエーション手段（７０）は、流体用筐体（５）に衝撃状の力を与えることによって、切替部材（６）にパルス状に力を伝達させて、切替部材（６）を第１の位置（９１）から第２の位置（９２）へと移動させ、切替部材（６）は、第１の位置（９１）において、流体用筐体（５）を通る流路（３、４）の第１の流体状態を定め、切替部材（６）は、第２の位置（９２）において、流体用筐体（５）を通る流路（３、４）の第２の流体状態を定めており、第１の流体状態および第２の流体状態は、互いに異なるスイッチングバルブ（１００）を提供する。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化に対しても歪みが生じる虞がなく、したがって、圧力−流量特性等の諸特性が変化する虞のないノーマリクローズド型のマイクロバルブを実現することができるマイクロバルブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロバルブは、ＳＯＩ基板１１のダイアフラム１２の下面側に弁１３及び固定部１４が設けられ上面側かつ弁１３に相対する位置に絶縁膜１５が設けられた第１の基板１と、ガラス基板２１に溝部２２及び開孔部２３が形成された第２の基板２と、ガラス基板３１に流体の流入口及び流出口３２が形成された第３の基板３とを重ね合わせて接合一体化した構成である。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を駆動源として弁体を変位させる電動弁において、弁体のストローク量を充分確保できるようにする。
【解決手段】圧電素子（50）に押し付けられて変位する第１変位部（61b,91）と、弁体（65）を保持するように変位しながら弁体（65）を開閉方向へ移動させる第２変位部（62c,92）とを有する変位拡大機構（60）を設ける。変位拡大機構（60）は、第１変位部（61b,91）の変位量を拡大させて第２変位部（62c,92）へ伝達させる。 （もっと読む）