【課題】エラストマーバルブの構造体製造方法を提供する。
【解決手段】微細製作モールドの頂部上で第一エラストマー層を形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第一エラストマー層２０の底部表面に沿って延びる第一凹部を形成する第一隆起突出部を有する、工程；第二エラストマー層２２を微細製作モールドの頂部上に形成する工程であって、該微細製作モールドが、該第二エラストマー層２２の底部表面に沿って延びる、第二凹部を形成する第二隆起突出部を有する工程；該第二エラストマー層２２の底部表面を、該第一エラストマー層２２の頂部表面上へ結合し、その結果、制御チャネルが、該第一および第二エラストマー層２０の間の第二凹部中に形成される工程；および平坦基板の頂部上の該第一エラストマー層を位置決めし、その結果、フローチャネル３２が該第一エラストマー層２２と該平坦基板との間の該第一凹部中に形成される工程、を包む。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
本願明細書に記載の微細流体構造。

【図１】

【図２】

【図３】

【図４】

【図５】

【図６】

【図７Ａ】

【図７Ｂ】

【図７Ｃ】

【図７Ｄ】

【図７Ｅ】

【図７Ｆ】

【図７Ｇ】

【図７Ｈ】

【図８】

【図９】

【図１０】

【図１１】

【図１２】

【図１３】

【図１４】

【図１５】

【図１６】

【図１７】

【図１８】

【図１９】

【図２０】

【図２１】

【図２２】

【図２３Ａ】

【図２３Ｂ】

【図２４Ａ】

【図２４Ｂ】

【図２５】

【図２６Ａ】

【図２６Ｂ】

【図２７】

【図２８Ａ】

【図２８Ｂ】

【図２８Ｃ】

【図２８Ｄ】

【図２９】

【図３０】

【図３１Ａ】

【図３１Ｂ】

【図３１Ｃ】

【図３１Ｄ】

【図３２】

【図３３】

【図３４】

【図３５Ａ】

【図３５Ｂ】

【図３５Ｃ】

【図３５Ｄ】

【図３６】

【図３７】

【図３８】

【図３９】

【図４０】

【図４１】

【図４２Ａ】

【図４２Ｂ】

【図４２Ｃ】

【図４２Ｄ】

【図４２Ｅ】

【図４２Ｆ】

【図４２Ｇ】

【図４２Ｈ】

【図４２Ｉ】

【図４２Ｊ】

【図４３】

【図４４Ａ】

【図４４Ｂ】

【図４４Ｃ】

【図４４Ｄ】

【図４５Ａ】

【図４５Ｂ】

【図４６Ａ】

【図４６Ｂ】

【図４７】

【図４８Ａ】

【図４８Ｂ】

【図４９】

【図５０】

【図５１】

【図５２】

【図５３】

【図５４】

【図５５】

【図５６】

【図５７】

【図５８】

【図５９】

【図６０】

【図６１】

【図６２】

【図６３】

【図６４】

【図６５】

【図６６】

【図６７】

【図６８】

【図６９】

【図７０】

【図７１】

【図７２】

【図７３Ａ】

【図７３Ｂ】

【図７３Ｃ】

【図７４】

【図７５】

【図７６】

【図７７】

【図７８】

【図７９】

【図８０Ａ】

【図８０Ｂ】

【図８１】

【図８２】

【公開番号】特開２００９−５２７４４（Ｐ２００９−５２７４４Ａ）
【公開日】平成２１年３月１２日（２００９．３．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２２９０８４（Ｐ２００８−２２９０８４）
【出願日】平成２０年９月５日（２００８．９．５）
【分割の表示】特願２００４−３４４８６１（Ｐ２００４−３４４８６１）の分割
【原出願日】平成１３年１１月２８日（２００１．１１．２８）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．ＴＥＦＬＯＮ
【出願人】（５９８１２８４２１）カリフォルニア　インスティチュート　オブ　テクノロジー (26)
【Ｆターム（参考）】