【課題】冷媒を低流量に絞っても安定的に運転する。
【解決手段】両弁部Ｂ１、Ｂ２のうち、一方は低流量域で操作量に対する流量が部分的に急増する特性を有する弁部であり、他方は低流量域で操作量に対する流量がなだらかな特性を有する弁部であり、ヒートポンプＥＣＵ２０Ａは、冷媒を低流量で制御する場合、一方である膨張弁９の弁部Ｂ２は許容しうる最小開度（本実施形態では５０ステップ）で固定して、他方であるエジェクタ３の弁部Ｂ１を駆動して流量制御を行うようになっている。
これによれば、低流量域で操作量に対する流量がなだらかな特性を有する弁部で流量制御を行うことより、冷媒を低流量に絞っても安定的に運転することができる。 （もっと読む）

【課題】電磁アクチュエータ１によりフラッパ２を作動させてノズル３０との隙間の大きさを調整し、空気圧を制御するようにしたノズルフラッパ式の気体圧サーボバルブＶにおいて、高精度且つ高応答という特性を損なうことなく、コスト低減を図る。
【解決手段】円筒状の流路形成部材３の先端に一体にノズル３０を設けて、バルブボディ５の嵌合孔５３に嵌め込む。流路形成部材３の先端側には嵌合部３２を設けて嵌合孔５３にしっかりと嵌合させるとともに、基端部３４の外周には雄ねじを螺刻して、嵌合孔５３の内周に螺刻した雌ねじに螺合させる。流路形成部材３の中間部は嵌合孔５３よりも小径とし、その外周面に軸心方向に長い長穴として流路３１を開口させる。流路形成部材３の中間部を取り囲む嵌合孔５３の内面にポートＰ，Ａとの連通路５４を開口させる。 （もっと読む）

本発明は、圧縮ガスで満たすことができる、冷却ガス発生器（１１）の圧力容器（１４）の閉鎖装置に関し、圧力容器（１４）は、一端に閉鎖した底部を、及び他端に容器開口部（１６）を備え、この容器開口部（１６）の上に、周囲と連通する排出開口部（１８）を静止位置において閉鎖するバルブ本体（４８、７１）を有する、冷却ガス発生器（１１）を形成するための閉鎖装置（１２）を配置することができ、このバルブ本体（４８、７１）を、排出開口部（１８）を開くための駆動装置（３１）により作動位置へ移動させることができ、排出開口部（１８）の少なくとも１つの弁座（５１）と駆動装置（３１）との間に、加えられる閉鎖力を低下させるとともに静止位置と作動位置との間で少なくとも１つのバルブ本体（４８、７１）を作動させる装置（３３）が設けられる。 （もっと読む）

【課題】流体の流動を遮断し、適時にチャンネルに沿って流体を流れるように開放するバルブユニット、これを備えた反応装置、及びチャンネルにバルブを形成する方法を提供する。
【解決手段】流体の流路を形成し、第１高さＤ１の第１領域と第２高さＤ２の第２領域とを含む部分を備える流体チャンネル１６と、流体チャンネルの第１領域に充填されて形成され、相転移可能なバルブ物質からなるバルブ２７、２８とを備え、第１高さＤ１は第２高さＤ２よりも小さく、第２領域は、第１領域の一側に隣接して位置し、第１領域は、流体チャンネル方向に一定幅Ｇを有することを特徴とするバルブユニット、これを備えた反応装置、及びチャンネルにバルブを形成する方法である。 （もっと読む）

【課題】弁閉鎖ユニット及びそれを備えた反応装置を提供する。
【解決手段】常温で固体の相転移物質及び相転移物質内に分散され、外部からの電磁波の照射による電磁気波エネルギーを吸収して発熱する複数の微細発熱粒子を含んでなる充填物が充填された充填物チャンバと、充填物チャンバとチャンネルを連結する連結通路と、充填物に電磁波を照射するための外部エネルギー源と、を備えており、外部エネルギー源からの電磁波の照射によって発熱した複数の微細発熱粒子は、相転移物質を溶融及び膨脹させることによって充填物を膨張させ、膨張した充填物は、連結通路を通ってチャンネルに流入してチャンネルを閉鎖することを特徴とする弁閉鎖ユニット及びそれを備えた反応装置である。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位を拡大して被駆動体に伝えることができ、被駆動体を精度よく移動させることができる圧電駆動装置を提供すること。
【解決手段】圧電駆動装置１０は、ケース２と駆動装置本体１１とを備える。駆動装置本体１１は、第１および第２の圧電素子１７，１８と、圧電素子１７の変位を拡大する第１の変位拡大機構と、第１の変位拡大機構によって圧電素子１７の伸長方向に直交する方向に移動してケース内面に当接する当接部と、圧電素子１８の変位を拡大して被駆動体を移動させる第２の変位拡大機構とを備える。圧電素子１７に電圧を印加すると、第１の変位拡大機構を介して当接部がケース内面に当接して駆動装置本体１１がケース２に対して移動不能に停止される。圧電素子１８に電圧を印加すると、第２の変位拡大機構が変位して被駆動体が移動される。 （もっと読む）

【課題】 消費電力が最小でありながら早い動作、大きなバルブ力及び大きな変位利点があるマイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）のバルブ装置を提供する。
【解決手段】 開口７０が形成された基板２０と基板電極４０と開口７０の上に位置して電極素子層６２及びバイアス素子層６４、６６を有する可動膜６０とを含む。少なくとも１つの弾性的に圧縮可能な誘電体層５０を設け、基板電極４０と可動膜６０の電極素子層６２との間の電気的絶縁を確実にする。動作に当たっては、開口７０に対して可動膜６０を動かすように電圧差を基板電極４０と可動膜６０の電極素子層６２との間に設け、これにより、可動膜６０によってカバーされる開口７０の部分を制御可能に調整する。 （もっと読む）

【課題】形状記憶合金から成るワイヤの収縮を利用してオリフィスを封止するようにした小型バルブにおいて、形状記憶合金から成るワイヤの寿命を長くする。
【解決手段】小型バルブ１は、オリフィス２５を有する固定構造物２と、固定構造物２に対して可動自在な可動構造体３と、形状記憶合金から成るワイヤ４と、ワイヤ４にバイアスの引っ張り応力を付与するバイアス弾性体５とを備える。ワイヤ４は、バイアス弾性体５に係合され、第１電極６と第２電極７によって保持されている。また、可動構造体３の突出部３３がバイアス弾性体５に係合されている。第１電極６と第２電極７を介してワイヤ４に通電すると、ワイヤ４が加熱されて収縮し、バイアス弾性体５が変形することにより可動構造体３が移動して、オリフィス２５が封止される。オリフィス２５が封止されているときにワイヤ４に働く応力は、バイアス弾性体５が変形することにより低減される。 （もっと読む）

【課題】デッドボリュームが極めて小さいマイクロバルブを有するバルブ装置を用いた化学分析装置を提供する。
【解決手段】流体が移動可能な複数の第１の流路２１を有する第１の部材１１、第１の部材１１に隣接し、複数の第１の流路２１に連通可能な第２の流路２２を有する第２の部材２１、第２の部材１２に隣接し、複数の第２の流路２２のそれぞれに連通可能な第３の流路２３を有する第３の部材１３を備え、第１〜第３の部材１１、１２、１３が相対的に移動することにより、複数の第１の流路２１の一つと複数の第２の流路２２の一つを連通させるバルブ装置と、第３の部材１３において第３の流路２３に連結され、複数の第１の流路２１の一つから複数の第２の流路２２の一つを通って第３の流路２３内を流れる流体に物理的あるいは化学的処理を行う反応部２５とを備えることを特徴とする化学分析装置を備える。 （もっと読む）

本発明は、供給領域と流体調量領域との間に配置されている調量弁と少なくとも２つの駆動エレメントの延びを入力軸の回転に変換するアクチュエータ駆動装置とを備えた流体調量装置に関する。入力軸は機械的に調量弁と連結されていて、この調量弁を調量するために駆動する。
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