【課題】小型化を実現できる流体制御弁を提供する。
【解決手段】流体制御弁は、球状の弁体１１と、流体流路２内にその弁体１１が収容される円錐面状の弁座４を有するハウジング１と、を含む。弁体１１は、球状の芯材１２と、この芯材１２の表面を正５角形と正６角形を組み合わせた複数の領域に区画しながら被覆するＰＺＴ系の圧電材料より成る圧電膜１３と、この圧電膜１３の内外面にそれぞれ積層され、外部の電力供給部に配線を通じて接続された電極膜１４、１５と、芯材１２の表面に対し圧電膜１３及び電極膜１４、１５を区画の境界部分で固定支持する支持部１６と、より構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、バルブ本体をバルブプレートに密着させるための押圧力を適度に調整することのできるロータリバルブを有する蓄冷器式冷凍機を提供することを課題とする。
【解決手段】圧縮機１は作動流体を圧縮する。ロータリバルブＲＶが圧縮機１とシリンダ１０との間に設けられ、作動流体の流路を、作動流体をシリンダ１０に供給するガス供給路と、作動流体をシリンダ１０から排出して圧縮機１に導くガス排出路とのいずれかに切り換える。ロータリバルブＲＶの回転するバルブプレート９の摺動面９ａにバルブ本体８の摺動面８ａを押圧するためのバネ２０が設けられる。バルブ本体８の摺動面８ａの反対側に形成された第１の空間２６と、バルブ本体８の摺動面８ａに繋がる第２の空間２７とを連通するバイパス通路２４が設けられ、バルブ本体８はバネ２０のばね荷重によってのみ押圧される。 （もっと読む）

【課題】 高温環境下に於いても、高精度な安定した流量制御を行えると共に、制御弁自体を分解することなく、圧電素子に加わる圧縮力を調整できるようにする。
【解決手段】 弁室７ａ′及び弁座７ｃを形成したボディ７と、弁室７ａ′内に配設され、弁座７ｃに当離座する金属ダイヤフラム８と、ボディ７側に固定されたアクチュエータボックス１０と、アクチュエータボックス１０内に配設され、電圧の印加により下方へ伸長して金属ダイヤフラム押え１２を介して金属ダイヤフラム８を押圧する圧電素子１３と、金属ダイヤフラム８が弁座７ｃへ当座したときに圧電素子１３の伸長を吸収すると共に、弁座７ｃ等へ所定の押圧力を印加する皿バネ機構１４と、圧電素子１３に常時上向きの圧縮力を加えると共に、圧電素子１３に加わる圧縮力を外部から調整可能な予圧機構２１とから構成する。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度な流量制御を可能とするマイクロバルブを提供する。
【解決手段】弁体形成基板２０は、フレーム部２１の内側に、フレーム部２１と連続し弁座基板１０との間に流入口１１に連通する流入口２次側空間４１を形成する第１のダイヤフラム部２２およびフレーム部２１と連続するとともに弁体部２４が連続一体に設けられ弁座基板１０との間に流出口１２に連通する流出口１次側空間４２を形成する第２のダイヤフラム部２３が配置され、第１のダイヤフラム部２２が流量検出用可動電極２８を兼ね、弁体部２４に駆動用可動電極２５が形成されている。固定電極形成基板３０は、弁体形成基板２０との間に第１のダイヤフラム部２２の変位を可能とする基準圧力空間５２を弁体部変位空間５５とともに形成する形で弁体形成基板２０に固着され、且つ、流量検出用可動電極２８に対向する流量検出用固定電極３２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】例えば、小型燃料電池に好適な、応答性や制御精度の面で一定の性能を満たしつつ、単純なシステムでかつ大幅なダウンサイジングを実現することができる水供給弁を提供すること。
【解決手段】水供給弁１００は、流路１０４に弁体兼弁体の動力部としての電解質ハイドロゲル１０６を配置して構成されている。電解質ハイドロゲル１０６は、電場応答性を示し、電圧（電場）の変化に応じて可逆的に変形（膨潤収縮）するという特徴を有する。電解質ハイドロゲル１０６に電圧を印加することにより、電解質ハイドロゲル１０６が収縮して流路１０２が開き、また、電圧をカットすることにより、電解質ハイドロゲル１０６が膨潤して流路１０４が閉じる。 （もっと読む）

【課題】 落下などの衝撃に対しても強く、確実に水素をシールすることができ、信頼性が高く安定的に燃料供給可能な燃料電池を提供する。
【解決手段】 収納部１９に半導体ウェハを用いて作製された圧力調整用のマイクロバルブ１５を有する燃料電池であって、前記マイクロバルブ１５の開閉方向に弾性シール部材１６を用いて保持されているマイクロバルブ１５を有する燃料電池。前記マイクロバルブが、燃料タンクから燃料極へ供給する燃料ガスの圧力調整を行うバルブである。 （もっと読む）

【課題】 電気的に弁の操作を行うことができる弁装置において、電磁石を用いずに小型化を達成し、さらに弁の駆動機構の配設の自由度が高い構成を提供する。
【解決手段】 第２のワイヤアクチュエータ１０９に通電して収縮させると、係合ピン１０８が矢印１１１の方向の付勢力に抗して軸１１０の回りに回動し、係合ピン１０８がシリンダ１０４内から退避し、ヘッドピン１０６の大径部１０６ｂから外れる。係合ピン１０８の係合が解除されることにより、バネ１０５の付勢力によってヘッドピン１０６がＺ軸方向と逆方向へ移動し、その結果、ヘッドピン１０６の先端１０６ａがダイヤフラム１０２の凸部１０２ａの裏側を押す。これにより、ダイヤフラム１０２が下方へ凸となるように変形し、ダイヤフラム１０２中心部分の凸部１０２ａが流入ポート１０１ａに当接してそれを閉塞する。 （もっと読む）

【課題】電子制御式自動トランスミッションの流体制御回路内の流体の流れを制御するのに適したマイクロバルブ装置を提供する。
【解決手段】マイクロバルブ装置８２５は、流体通路の流体圧力を制御するためのパイロットバルブとして作用する第１のマイクロバルブ８３６と、流体通路内の流体圧力により位置決め可能なパイロット作動型バルブである第２のマイクロバルブ８４０とを備えている。パイロットバルブの作動によりパイロット作動型バルブの位置が制御される。 （もっと読む）

【課題】弁体部が複数本のビームを介してフレーム部に支持されて弁体部のみに可動電極が形成されている従来構成に比べて、弁体部が傾くのを抑制できて動作安定性を向上でき、しかも、応答速度の高速化を図れるとともに、弁体部が弁孔を開放した状態における弁体部と弁孔の周辺部との間の流路での圧力損失を低減できるマイクロバルブを提供する。
【解決手段】弁体形成基板２０は、フレーム部２１の内側でフレーム部２１と連続一体に形成され厚み方向に撓み可能なダイヤフラム部２３を有し、ダイヤフラム部２３の中央部に弁体部２２が連続一体に設けられている。ダイヤフラム部２３には、流入口５０と弁孔１２との間の流体の流路となる複数の流路孔２６が厚み方向に貫設されている。可動電極２４は、ダイヤフラム部２３の全域に形成され、固定電極３４は固定電極形成基板３０においてダイヤフラム部２３に対向する部位に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 通電を継続することなく弁体の開放状態を保持することが可能であると供に小型化及び高信頼性化が可能な熱動弁を提供する。
【解決手段】 所定の主流路と、該主流路を開/閉する弁体と、外部からの通電に基づいて弁体を駆動すると共に熱によって弁体の駆動状態を維持するアクチュエータと、外部から供給される熱エネルギによってアクチュエータを加熱することにより弁体の駆動状態を保持する保持手段とを具備する。 （もっと読む）