【課題】取り付けコストおよび組み立てコストを実質的に低減することができる、液体塗布用の計量バルブを提供する。
【解決手段】計量バルブは、液滴を吐出することができる閉鎖可能な吐出口４を備え、電磁的な輻射を生成する例えばＬＥＤダイオードまたはレーザ・ダイオードの形式の輻射源１０と、ミラー９と、レンズ７とを含んでいるビーム装置を備えている。可視光領域の輻射１である場合、計量バルブを組み立ておよびアライメントする際に、所望のターゲット位置に液滴が正確に当たるように調整するための補助として可視光を利用することができるので、とりわけ簡便な方法で計量バルブの調整を行うことができる。 （もっと読む）

本発明は、圧電駆動装置、特にマイクロバルブ用の圧電駆動装置に関する。この駆動装置は、給電のために逆極性の２つの電極からなる少なくとも１つの電極対（０３）を備えた圧電層（０１）の一つの面に結合されている変形層（０４）を含む。本発明によれば、電極対（０３）の逆極性の両電極が、圧電層（０１）の変形層（０４）とは反対側の面に共通に配置されている。更に、本発明は、少なくとも１つの弁通路（０８，０９）と該弁通路を開放又は閉塞するダイヤフラム（０４）とを備え、ダイヤフラム（０４）が同時にこの種の圧電駆動装置の変形層を形成しているマイクロバルブに関する。 （もっと読む）

【課題】小型でありながら大流量の流量制御弁を提供する。
【解決手段】弁座面４０１を有する弁座部材４と、弁座面４０１に着座する着座面６０１を有する弁体部材６と、を具備し、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流入口が形成され、弁座面４０１又は着座面６０１の一方又は他方に複数の流出口が形成されており、それら流入口及び流出口が、着座状態において重ならないように形成され、入口が形成された部材の内部に、流入路及び流入口に連通する内部流入路４１が形成され、流出口が形成された部材の内部に、流出路及び流出口に連通する内部流出路が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 高温環境下に於いても、高精度な安定した流量制御を行えると共に、金属ダイヤフラム８に加わる圧縮力を調整できるようにする。
【解決手段】 圧電素子１３の伸長によりダイヤフラム押え１２を介して弁座７ｃへ当座又は弁座７ｃから離座する金属ダイヤフラム８を備えた圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁において、圧電素子１３と金属ダイヤフラム８との間に配設される皿バネ機構１４を、下端部にダイヤフラム押え１２が挿着されると共に上端部に上方が開放された収納空間２２ｂを形成したダイヤフラム押えホルダー２２と、ダイヤフラム押えホルダー２２の収納空間２２ｂに配設された複数枚の皿バネ２３と、最上位の皿バネ２３の上面に載置され、圧電素子１３の下方に位置して圧電素子１３の伸長を皿バネ２３へ伝達するボール受け２４と、皿バネ２３の反発力を調整すると共にボール受け２４及び皿バネ２３を抜け止めするようダイヤフラム押えホルダー２２に螺着されたバネ調整用ナット２５とから構成する。 （もっと読む）

栓を備えたバルブ本体と、そのバルブ本体と連結して、回転軸の周囲にその回転可能な栓を回転させる様に作動する駆動部本体を備えた圧電バルブが提供される。その回転軸に沿って配置され、前記栓と静的に連結すると共に、前記駆動部本体と回転可能に連結するシャフトを前記駆動部本体は備える。前記軸の周囲に配置され、前記駆動部本体に回転可能に連結するロータアセンブリもまた前記駆動部本体は備える。前記軸の周囲に配置されて前記駆動部本体に静的に連結しており、前記ロータアセンブリの内表面に摩擦係合する様に構成された第１の圧電アクチュエータを前記駆動部本体はさらに備える。加えて、前記軸の周囲に配置されて前記シャフトに静的に連結しており、前記ロータアセンブリの内表面に摩擦係合する様に構成された第２の圧電アクチュエータを前記駆動部本体はさらに備える。 （もっと読む）

【課題】外部流路との接続位置に設ける弾性シーリングのシール性を高め、流体が滲む危険性を抑えたバルブ装置の提供を図る。
【解決手段】バルブ装置１は、圧電バルブ２とＯリング４Ａ，４Ｂと流路板３とを備える。圧電バルブ２は、流体の流路となる流出口２１Ａおよび流入口２１Ｂが天板２１に形成され、弁体３１がバルブ室３３内部に形成される。弁体３１は、バルブ室３３内面における流出口２１Ａの開口周縁に接触して流路を閉鎖し開口周縁から離間して前記流路を開放する。Ｏリング４Ａはバルブ室３３外面における流出口２１Ａの開口を囲む。Ｏリング４Ｂはバルブ室３３外面における流入口２１Ｂの開口を囲む。流路板３は、Ｏリング４Ａ，４Ｂをバルブ室３３の天板２１に圧接させる。天板２１を垂直視してＯリング４Ｂの中心が、バルブ室３３の側壁対３３Ａの一方の側壁に近接するとともに側壁対３３Ｂの一方の側壁に近接して配置される。 （もっと読む）

バルブ装置であって；
複数の開口部を有するボディ部、
前記ボディ部の内部に配置されるバルブシート、
前記ボディ部の前記複数の開口部のうちの１つの開口部に対応し、流体が流れ得るポート部と、該ポート部と流体連結し、前記バルブシートに対して封止するよう構成され、それによって当該バルブ装置を通るフローを妨げるノズルと、を有するエンドストップ、
を含み、
当該バルブ装置は、前記バルブシートに対する前記ノズルの相対運動により開閉可能であり、
さらに、
前記バルブシートに対する前記ノズルの位置を独立して調節できるように構成される調節手段、
を含むバルブ装置。

（もっと読む）

マイクロバルブ・デバイスは、本体と、本体に対して移動するように支持されたバルブ要素と、バルブ要素を正常な移動範囲で移動させるようにバルブ要素に動作可能に接続されたアクチュエータとを含む。移動制限構造は、バルブ要素およびアクチュエータのうちの少なくとも一方と動作可能に協働して、破壊応力の限界を超えることによって本体、バルブ要素、またはアクチュエータが破壊するのを防止するために、バルブ要素またはアクチュエータが正常な移動範囲の外に移動する距離を効果的に制限する。こうした移動制限構造を有するマイクロバルブを形成する方法も開示する。
（もっと読む）

【課題】シール材の膨張量を外部電気信号等の量で調整し、接触面圧力を調整することによって、流体の漏れ量を高精度に制御できる軸封機構を用いることによりソレノイドレス化可能な駆動装置を提供すること。
【解決手段】ピストン１３０ｂを有するシリンダ部１３０ａに漏れ流路１４０，１４１を介して流体を供給する供給漏れ流路１３７と流体を外部に排出する排水漏れ流路１３８，１３９を有する装置本体１３１を取付け、この装置本体１３１内には、流路切換可能な複数個の軸封体１３２〜１３５を有する軸封機構を設け、この軸封機構は、電気的外部刺激を介して膨縮又は変形する高分子材料製の前記軸封体からなり、この軸封体に電気的外部刺激を与えて当該軸封体を膨縮又は変形させることにより漏れ流体を流す流路を設けたものであり、この軸封機構により前記シリンダ内に流体を供給又は排気させてシリンダ部内のピストンを駆動させるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】異物の侵入などによって弁体部に開閉不良が生じた場合、確実にこれを検出することが可能なマイクロバルブを提供する。
【解決手段】ダイアフラム１２は、開閉検出手段２６を構成する第１の電極（可動電極）を兼ねている。また、第２の基板２０の溝部２２において、ダイアフラム１２と対面する位置に、開閉検出手段２６を構成する第２の電極（固定電極）２８が形成される。 （もっと読む）