【課題】極めて簡単な構造で、従来構成と比較して大幅な小型化、軽量化、及び低コスト化を図ることが可能なバルブ装置を提供する。
【解決手段】作動油が流通する油路２１と、該油路２１を開閉するためのボール弁３１と、複数の平板状の陰極板１１ａと複数のメッシュ状の陽極板１３ａとを交互に積層し、各陰極板１１ａと各陽極板１３ａとの間にＰＶＣゲル１５を挟み込んだ構成の収縮型ＰＶＣゲルアクチュエータ１０とを備え、収縮型ＰＶＣゲルアクチュエータ１０を伸縮変形させることでボール弁３１を駆動して油路２１の開閉を切り替えるように構成したバルブ装置１において、収縮型ＰＶＣゲルアクチュエータ１０が備える各陰極板１１ａ及び各陽極板１３ａが帯状の配線部１１ｂ，１３ｂで連結されていることで、複数の陰極板１１ａと複数の陽極板１３ａのそれぞれが一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】静電駆動バルブを改良する。
【解決手段】駆動弁孔２６をもつ駆動弁２０を挟んでその両側に櫛歯形状の一対の駆動電極１６〜１９を設ける。駆動電極１６〜１９への印加電極により、駆動弁孔２６が出口弁孔２５ａの軸上の位置にくる全開状態、及び駆動弁２０が弁体２５から離れ、かつ駆動弁孔２６が出口弁孔２５ａの軸上の位置から外れた位置にくる部分開状態をとりうるように、駆動弁２０は支持部２１により出口弁孔２５ａの軸方向とそれに垂直な方向とに移動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】梃子の原理を応用した機械的拡大機構を用いた場合よりも更に十分な変位量が得られるピエゾ駆動アクチュエータを得る。
【解決手段】大経の開口部２Ａと小経の開口部２Ｂとを有すると共に、開口部２Ａ、２Ｂが連通する導管２Ｃを有するシリンダ２と、シリンダ２の大経の開口部２Ａからシリンダ２の導管２Ｃに出入りする入力ピストン４と、シンリダ２の大経の開口部２Ａ側で入力ピストン４を支持する円板バネ３と、シリンダ２の小径の開口部２Ｂからシリンダ２の導管２Ｃに出入りする出力ピストン５と、シリンダ２の小経の開口部２Ｂ側で出力ピストン５を支持する円板バネ６と、複数のピエゾ素子を積層して構成したピエゾアクチュエータ７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】低い電圧で駆動するとともに、小型・軽量化が可能な流量調整デバイスを提供すること。
【解決手段】流量調整デバイス１０は、流体が流れる管１００内に設置され、流体の流量を調整する流量調整デバイス１０であって、第１の電極層１と、第１の電極層１と対向するように設けられた第２の電極層２と、第１の電極１と第２の電極２との間に設けられた、変形層３および電解質層４とを有し、酸化還元反応により変形層３の体積が膨張または収縮することにより、流体の流量を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弁体の動作速度をさらに高速にでき、かつ大流量を制御できる電動バルブを提供すること。
【解決手段】流路１３を流れる流体の流量を制御する目的で、流路１３に開度を可変可能な弁構造３５を設け、この弁構造３５の弁体３７と弁体３７のアクチュエータであるピエゾ素子４２との間に、ピエゾ素子４２の伸縮を拡大して弁体３７に伝達する変位拡大機構（ストローク拡大機構）５０を設けた。 （もっと読む）

【課題】耐用寿命を短縮しかねない機械的磨耗を受けにくい、ソレノイド駆動空気圧弁によって得られる機能が制限されにくい、さらに、ソレノイド駆動空気圧弁が、電力の損失の場合に通電位置を維持することができる弁アセンブリを提供する。
【解決手段】弁チップは、第１および第２の面および第１および第２の面との間にある開口１１９を有する基板１０１と、開口の少なくとも１つに関連付けられた、基板の面の一方にある複数の可撓性弁フラップ１１７とを含みうる。弁チップは、開口を有するフレームを形成し、フレームの開口に弁チップを固定することによってパッケージングされていてもよい。特に、弁チップは、基板の第１および第２の面の中央部分が、フレームにある開口を通って露出され、フレームと基板の縁部との間に流体シールが設けられるように、開口に固定されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】気体噴出時間が長くなる場合でも、気体を安定して供給することができる圧電式バルブを提供する。
【解決手段】外部から供給される圧縮気体を受け入れる気体圧力室及び該気体圧力室から前記圧縮気体を排出する気体排出路が形成されるバルブ本体と、前記気体圧力室に配置され前記気体排出路を開閉する弁体と、前記弁体の動作に必要な駆動力を変位として発生する圧電素子と、前記圧電素子の変位を拡大し前記弁体に作用させる少なくとも一つの変位拡大機構と、前記圧電素子に電圧を印加して前記弁体を開弁動作させ前記気体排出路を開放する駆動手段と、を備えてなる圧電式バルブにおいて、前記駆動手段は、開弁時における前記気体排出路からの気体噴出量の変動を抑止するよう前記圧電素子に対し多段階に電圧を印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高分子駆動器を含む微小バルブ構造体及びラボオンチップモジュールを提供する。
【解決手段】微小バルブ構造体は基板１０上に配置される柔軟構造物２０及び柔軟構造物２０内に挿入される高分子駆動器４０を含むことができる。この時、柔軟構造物２０は微小流路３５を定義するバルブ部２５を有し、高分子駆動器４０は柔軟構造物２０によって微小流路３５から分離される。さらに、高分子駆動器４０はバルブ部２５の変位を制御することによって、微小流路３５の幅を変化させるように構成される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で作製に手間がかからないマイクロポンプ、マイクロバルブおよび送液制御装置を提供する。
【解決手段】貫通孔１１を少なくとも１つ形成した形状記憶合金シート１２と、チューブ状の弾性部材１３と、形状記憶合金シート１２に電流を流すための電極１４，１５と、電極１４，１５に電圧を印加して電流を制御する制御部１６と、を備え、弾性部材１３は、形状記憶合金シート１２の貫通孔１１に挿入されて、固定されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を用いて、より高速で、高応答な流体の制御を行う装置を提供する。
【解決手段】流体が流れる流路１１の途中に形成された孔１２を上流側から閉塞する栓１３と、電圧の印加により伸長する圧電素子１４と、圧電素子１４の一端部を固定する固定材１５と、圧電素子１４の他端部と栓１３とを繋ぐ張力材１６とを備え、圧電素子１４に電圧を印加することで圧電素子１４を伸長させ、圧電素子１４によって張力材１６を引っ張ることで栓１３を開栓する。 （もっと読む）