マイクロバルブの流量調節方法
【課題】 本発明は、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体の流れを制御することができるマイクロバルブの流量調節方法を提供する。
【解決手段】流体注入排出用の第１の開口部と、下壁に形成されている流体注入排出用の第２の開口部を有するバルブ室内に、板状の弁体が、空隙を介して常に流体注入排出用の第２の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。
【解決手段】流体注入排出用の第１の開口部と、下壁に形成されている流体注入排出用の第２の開口部を有するバルブ室内に、板状の弁体が、空隙を介して常に流体注入排出用の第２の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ全分析システムにおいて、微細流路内の流体の流れの停止、連通等制御を行い、流体を輸送するマイクロバルブの流量調節方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、医療診断を患者の近傍で行うベッドサイド診断、大気や水や土壌中の環境汚染材料のモニタリング、食品の安全性検査等現場において短時間に安価に診断したり分析する技術のニーズは非常に高くなってきている。
【０００３】
例えば、従来、高価且つ大型の装置を必要とした分析を、持ち運び可能な小型の分析装置が代替できれば、大病院にしか設置できなかった分析装置を開業医でも設置、利用することが可能になり、診断結果を患者に簡便に早期にフィードバックすることが可能になる。
【０００４】
又、高齢者の健康指標を高齢者の家族が測定し、その健康指標数値を在宅管理したり、病院に定期的に送信して病院で管理することにより、在宅医療環境がより優れたものとなる。
【０００５】
又、環境ホルモン、ダイオキシン等の環境汚染材料を、高価且つ大型装置を使用することなく、簡易測定することができれば、簡単且つ安価に環境診断することができる。更に、持ち運び可能な小型の分析装置を用いて現場で環境汚染材料を分析することができれば、よりきめ細かい安全環境を供出することができる。
【０００６】
このような測定を簡易に行うために、基板内又は基板上に微細流路、輸液ディバイス、反応槽、電気泳動カラム、膜分離機構、流体クロマトグラフカラム、キャピラリーガスクロマトグラフィー（ＣＧＣ）、誘導型プラズマ（ＩＣＰ）、質量分析計（ＭＳ）、電気化学的測定装置等が内臓されたマイクロ全分析システムの研究が盛んになされており、微細流路の開閉や流量調整のためのマイクロバルブの研究も盛んになされている。
【０００７】
例えば、表面に溝を有する部材（Ａ）の溝が形成された面に、０．５〜５００μｍの厚みを有する部材（Ｂ）が接着され、部材（Ａ）の溝と部材（Ｂ）とで幅１〜１０００μｍ、高さ１〜１０００μｍの毛細管状の流路が形成され、該流路の途上に、幅が毛細管状の流路幅の０．５〜１００倍で、該空隙部の最大高さ／最大幅の比が１以下である空隙部が形成されたマイクロ流体デバイスであって、（ｉ）部材（Ａ）の少なくとも空隙部周辺部が引張弾性率０．１ＭＰａ以上、７００ＭＰａ未満の範囲にある素材で形成され、（ｉｉ）部材（Ｂ）の少なくとも空隙部周辺部が、引張弾性率０．７〜１０ＧＰａの範囲にある素材で形成され、かつ厚みが０．５〜５００μｍである、マイクロ流体デバイスの該空隙部を、部材（Ｂ）側から選択的に圧迫することにより、マイクロ流体デバイス内の空隙部の断面積を可逆的に減少させて、空隙部を通過する流体流量を調節するマイクロ流体デバイスの流量調節方法（例えば、特許文献１参照。）が提案されている。
【特許文献１】特開２００２−２１９６９７号公報
【０００８】
上記マイクロ流体デバイスの流量調節方法においては、マイクロ流体デバイスの外部からマイクロ流体デバイス内の空隙部にペンチのような治具で機械的圧力を付加し、空隙部の断面積を可逆的に減少させて、空隙部を通過する流体流量を調節するのであり、微量の流体流量を調節することは不可能であり、実用に供することは不可能であった。又、空隙部が設計通りに変形しない場合、例えば量産時の材料強度のバラつきや空隙部の形成不良
などの場合、弁が閉じなくなる問題点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、上記欠点に鑑み、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体の流れを制御することができるマイクロバルブの流量調節方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法は、流体注入排出用の第１の開口部と、下壁に形成されている流体注入排出用の第２の開口部を有するバルブ室内に、板状の弁体が、空隙を介して常に流体注入排出用の第２の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする。
【００１１】
請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法を図面を参照して説明する。図１は請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す断面図であり、図２は平面図である。
【００１２】
図中１はマイクロ全分析システムであり、マイクロ全分析システム１内に平面視長方形のバルブ室２が形成されている。バルブ室２の下壁２１の略中心付近に流体注入排水用の第２の開口部４が形成され、マイクロ全分析システム１の外部あるいはマイクロ全分析システムのその他の部分から連通されている。
【００１３】
バルブ室２内には、一端（図１において右側の端部）がバルブ室２の側端部に固定され、他端部（図１において左側の端部）が遊端となされている長方形の板状の弁体３が、空隙を介して流体注入用の開口部４を覆うように収納されている。
【００１４】
流体注入排水用の第２の開口部４及び弁体３の上方のマイクロ全分析システム１には、ピエゾ素子６が設置されており、ピエゾ素子６でバルブ室２の上壁２２を下壁２１方向に押圧するすることにより、弁体３を流体注入排水用の第２の開口部４に押圧し、流体注入排水用の第２の開口部４のみを閉鎖することができるようになされている。
【００１５】
尚、図１においては、マイクロ全分析システム１のピエゾ素子６を設置するべき位置にピエゾ素子設置用の穴が穿設されており、該穴にピエゾ素子６が嵌合されて設置されている。
【００１６】
又、５はバルブ室２の下壁２１の弁体３が存在しない位置に設けられた流体注入排出用の第１の開口部５であり、マイクロ全分析システム１の外部あるいはマイクロ全分析システムのその他の部分に連通されている。
【００１７】
従って、流体は流体注入排出用の第１の開口部５からバルブ室２に注入すると、弁体３の下を通って流体注入排出用の第２の開口部４から排出され、流体注入排出用の第２の開口部４から弁体３の下を通ってバルブ室２に注入すると、流体注入排出用の第１の開口部５から排出される。
【００１８】
流体の流れを止めるには、ピエゾ素子６を作動させ、上壁２２を押圧することにより、弁体３を流体注入排水用の第２の開口部４に押圧し、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖することにより行う。ピエゾ素子６を作動させることにより、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖して流体の注入を止めるのであるから必要なときに確実に流体の注入を
止めることができる。
【００１９】
上記バルブ室２及び弁体３の形状は、特に限定されるものではなく、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、六角形、長円形等が挙げられる。又、流体注入排出用の開口部４及び５の形状も、特に限定されるものではなく、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、六角形、長円形等が挙げられる。しかし、その直径は微細なので、レーザー加工、マシニング等の微細加工や各種精密成型技術で形成するのが好ましく、従って断面形状は円形が好ましい。
【００２０】
又、板状の弁体は、空隙を介して常に流体注入排出用の第２の開口部を覆うように収納されていればよく、板状の弁体の一端部がバルブ室の側壁に固定され、他端部が遊端となされているのが好ましが、弁体がピエゾ素子による押圧で変形し流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖することができる場合は、弁体の側壁の大部分又は全部がバルブ室の側壁に固定されていてもよい。
【００２１】
尚、流体注入排出用の第１の開口部５はバルブ室２の上壁２２又は側壁に設けられてもよい。又、流体注入排出用の第２の開口部４及び流体注入排出用の第１の開口部５は、マイクロ全分析システム１内の微細流路に接続されてよいことは言うまでもない。
【００２２】
マイクロ全分析システムは、一般に、板状基板やスペーサーを積層し、板状基板の間に微細流路、マイクロバルブ、反応槽、測定槽等を形成することにより製造されており、本発明で使用されるマイクロバルブも板状基板やスペーサーを積層することにより製造されるのが好ましい。
【００２３】
即ち、請求項３記載のマイクロバルブの流量調節方法は、第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー並びに流体注入排出用の第１の開口部及び流体流入排出用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、貫通孔ａ、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されているマイクロバルブの第１の板状基板に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法である。
【００２４】
請求項３記載のマイクロバルブの流量調節方法を図面を参照して説明する。図３は請求項３記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【００２５】
図中７は、バルブ室用の貫通孔ａ２３のふたをする第１の板状基板であり、ピエゾ素子設置用の穴６１が穿設されている。
【００２６】
８は、第１の板状基板７より薄く、１端部が遊端である板状の弁体３を残して、略長方形のバルブ室用の貫通孔ａ２３が打抜かれている第１のスペーサーである。
【００２７】
９は、略長方形のバルブ室用の貫通孔ｂ２４が打抜かれている第２のスペーサーである。バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４は同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされるように打抜かれている。
【００２８】
１０は略円形の流体注入排水用の第２の開口部４及び流体注入排出用の第１の開口部５が打抜かれている第２の板状基板であり、第２の板状基板と第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排水用の第２の開口部４は弁体３の下に空隙を介して位置し、流体注入排出用の第１の開口部５は弁体３の存在しない位置にバルブ室用の貫通孔ｂ２４に連通するように打抜かれている。
【００２９】
第１の板状基板７、第１のスペーサー８、第２のスペーサー９及び第２の板状基板１０をこの順に積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされ、第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれてバルブ室２が形成されると共に、バルブ室２内に１端部が遊端である板状の弁体３が固定される。
【００３０】
又、ピエゾ素子設置用の穴６１、弁体３及び流体注入排水用の第２の開口部４が略一直線になるように積層される。従って、第２の板状基板１０の流体注入排水用の第２の開口部４からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排出用の第１の開口部５にむけて流体が流れる又は第２の板状基板１０の流体注入排水用の第１の開口部５からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排出用の第２の開口部４にむけて流体が流れるマイクロバルブが形成される。
【００３１】
流体の流れを止めるには、ピエゾ素子６をピエゾ素子設置用の穴６１に設置し、作動させ、第１の板状基板７を押圧することにより、弁体３を流体注入排水用の第２の開口部４に押圧し、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖する。ピエゾ素子４を作動させることにより、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖して流体の注入を止めるのであるから必要なときに確実に流体の流れを止めることができる。
【００３２】
尚、弁体３が第１の板状基板７側に自由の変形できるように、第１の板状基板７と第１のスペーサー８の間に第２のスペーサー９と同一の第３のスペーサーを介在させてもよい。
【００３３】
請求項４記載のマイクロバルブの流量調節方法は、第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー及び流体注入排水用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排水用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第１のスペーサー又は第２のスペーサーの少なくとも１枚のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔ａ及び／又はｂから側壁に連通する流体注入排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第１の板状基板に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法である。
【００３４】
請求項４記載のマイクロバルブの流量調節方法を図面を参照して説明する。図４は請求項４記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【００３５】
図中７は、バルブ室用の貫通孔ａ２３及び流体排出用の貫通孔５１のふたをする第１の板状基板であり、ピエゾ素子設置用の穴６１が穿設されている。
【００３６】
８は、第１の板状基板より薄く、１端部が遊端である板状の弁体３を残して、略長方形のバルブ室用の貫通孔ａ２３及びバルブ室用の貫通孔ａ２３の端部から外部に連通する流体注入排出用の貫通孔５１が打抜かれている第１のスペーサーである。
【００３７】
９は、第１の板状基板７より薄く、略長方形のバルブ室用の貫通孔ｂ２４及びバルブ室用の貫通孔ｂ２４の端部から外部に連通する流体注入排出用の貫通孔５２が打抜かれている第２のスペーサーである。
【００３８】
バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４は同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされるように打抜かれている。
【００３９】
又、流体注入排出用の貫通孔５１と流体注入排出用の貫通孔５２も同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排出用の貫通孔５１と流体注入排出用の貫通孔５２が重ね合わされ、流体注入排出用の第１の開口部５が形成されるように打抜かれている。
【００４０】
更に、第１の板状基板７と第２のスペーサー９を積層すると、ピエゾ素子設置用の穴６１と弁体３が略一直線になるように打抜かれている。
【００４１】
１０は略円形の流体注入排水用の開口部４が打抜かれている第２の板状基板であり、第２の板状基板１０と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排水用の開口部４は弁体３の下に位置するように打抜かれている。
【００４２】
第１の板状基板７、第１のスペーサー８、第２のスペーサー９及び第２の板状基板１０をこの順に積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされ、第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれてバルブ室２が形成されると共に、バルブ室２内に１端部が遊端である板状の弁体３が固定される。
【００４３】
又、流体流入排出用の貫通孔５１と流体流入排出用の貫通孔５２が重ね合わされ、第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれて、流体流入排出用の第１の開口部５が形成される。
【００４４】
又、ピエゾ素子設置用の穴６１、弁体３及び流体注入排水用の第２の開口部４が略一直線になるように積層される。従って、第２の板状基板１０の流体注入排水用の第２の開口部４からバルブ室２を通過して流体注入排出用の第１の開口部５にむけて流体が流れる又は流体注入排出用の第１の開口部５からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排水用の第２の開口部４にむけて流体が流れるマイクロバルブが形成される。
【００４５】
流体の流れを止めるには、ピエゾ素子６をピエゾ素子設置用の穴６１に設置し、作動させ、第１の板状基板７を押圧することにより、弁体３を流体注入排水用の第２の開口部４に押圧し、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖すればよい。ピエゾ素子４を作動させることにより、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖して流体の流れを止めるのであるから必要なときに確実に流体の流れを止めることができる。
【００４６】
尚、弁体３が第１の板状基板７側に自由の変形できるように、第１の板状基板７と第１のスペーサー８の間に第２のスペーサー９と同一の第３のスペーサーを介在させてもよい。
【００４７】
請求項５記載のマイクロバルブの流量調節方法は、第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に１端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー並びに該弁体と同数の流体注入排出用の第２の開口部及び流体注入排出用の第１の開口部が打抜かれて
いる第２の板状基板が、各弁体、貫通孔ｂ及び各流体注入排出用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されているマイクロバルブの第１の板状基板に、各弁体及び各流体注入排出用の第２の開口部とがそれぞれ略一直線になるように複数のピエゾ素子を設置し、各ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより各弁体を第２の板状基板方向に押圧し、各流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法である。
【００４８】
請求項５記載のマイクロバルブの流量調節方法を図面を参照して説明する。図５は請求項５記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【００４９】
図中７は、バルブ室用貫通孔ａ２３のふたをする第１の板状基板であり、２個のピエゾ素子設置用の穴６１、６２が穿設されている。
【００５０】
８は、第１の板状基板７より薄く、１端部が遊端である板状の弁体３１及び３２を残して、略長方形のバルブ室用の貫通孔ａ２３が打抜かれている第１のスペーサーである。
【００５１】
第１の板状基板７と第１のスペーサー８を積層すると、ピエゾ素子設置用の穴６１と弁体３１が略一直線になり、ピエゾ素子設置用の穴６２と弁体３２が略一直線になるように打抜かれている。
【００５２】
９は、第１の板状基板７より薄く、略長方形のバルブ室用の貫通孔ｂ２４が打抜かれている第２のスペーサーであり、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４は同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされるように打抜かれている。
【００５３】
１０は、略円形の流体注入排水用の第２の開口部４１、４２及び流体注入排出用の第１の開口部５が打抜かれている第２の板状基板であり、第２の板状基板１０と第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排水用の第２の開口部４１は弁体３１の下に位置し、流体注入排水用の第２の開口部４２は弁体３２の下に位置し、流体注入排出用の第１の開口部５は弁体の存在しない位置でバルブ室用の貫通孔ｂ２４に連通するように打抜かれている。
【００５４】
第１の板状基板７、第１のスペーサー８、第２のスペーサー９及び第２の板状基板１０をこの順に積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれてバルブ室２が形成されると共に、バルブ室２内に１端部が遊端である板状の弁体３１及び３２が固定される。
【００５５】
又、ピエゾ素子設置用の穴６１、弁体３１及び流体注入排水用の第２の開口部４１が略一直線になり、ピエゾ素子設置用の穴６２、弁体３２及び流体注入排水用の第２の開口部４２が略一直線になるように積層され、第２の板状基板１０の流体注入排水用の第２の開口部４１からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排出用の第１の開口部５にむけて流体が流れると共に第２の板状基板１０の流体注入排出用の第２の開口部４２からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排出用の第１の開口部５にむけて流体が流れる又は第２の板状基板１０の流体注入排出用の第１の開口部５からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排水用の第２の開口部４１及び流体注入排出用の第２の開口部４２にむけて流体が流れるマイクロバルブが形成される。
【００５６】
従って、流体注入排水用の第２の開口部４１と流体注入排水用の第２の開口部４２を異なる流体源に接続することにより、異なる流体を混合すると共に混合比を変えて供給する
ことができる。又、流体注入排出用の第１の開口部５から供給された流体を流体注入排水用の第２の開口部４１と流体注入排水用の第２の開口部４２に適当に分けて供給することもできる。
【００５７】
又、流体の流れを止めるには、ピエゾ素子をピエゾ素子設置用の穴６１又は／及び６２に設置し、作動させ、第１の板状基板７を押圧することにより、弁体３１又は／及び３２を流体注入排水用の第２の開口部４１又は／及び４２に押圧し、流体注入用の開口部４１又は／及び４２を閉鎖する。
【００５８】
ピエゾ素子設置用の穴６１又は／及び６２に設置されたピエゾ素子を作動させることにより、流体注入排水用の第２の開口部４１又は／及び４２を閉鎖して流体の流れを止めるのであるから必要なときに確実に流体の流れを止めることができる。つまりピエゾ素子の動作により、上記のように流体の流れ方向を自在に制御可能である。これにより３方弁と同等の機能をごく小さい流体素子上で実現した。
【００５９】
尚、弁体３１、３２が第１の板状基板７側に自由の変形できるように、第１の板状基板７と第１のスペーサー８の間に第２のスペーサー９と同一の第３のスペーサーを介在させてもよい。
【００６０】
請求項６記載のマイクロバルブの流量調節方法は、第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に１端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー及び該弁体と同数の流体注入排水用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、各弁体、貫通孔ｂ及び各流体注入排水用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第１のスペーサー又は第２のスペーサーの少なくとも１枚のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔ａ及び／又はｂから側壁に連通する流体注入排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第１の板状基板に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法である。
【００６１】
請求項６記載のマイクロバルブの流量調節方法を図面を参照して説明する。図６は請求項６記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【００６２】
図中７は、バルブ室用の貫通孔ａ２３及び流体排出用の貫通孔５１のふたをする第１の板状基板であり、３個のピエゾ素子設置用の穴６１、６２、６３が穿設されている。
【００６３】
８は、第１の板状基板７より薄く、１端部が遊端である板状の弁体３１、３２、３３を残して、略長方形のバルブ室用の貫通孔ａ２３及びバルブ室用の貫通孔ａ２３の端部から外部に連通する流体注入排出用の貫通孔５１が打抜かれている第１のスペーサーである。
【００６４】
第１の板状基板７と第１のスペーサー８を積層すると、ピエゾ素子設置用の穴６１と弁体３１、ピエゾ素子設置用の穴６２と弁体３２及びピエゾ素子設置用の穴６３と弁体３３がそれぞれ一直線になるように打抜かれている。
【００６５】
９は、第１の板状基板７より薄く、略長方形のバルブ室用の貫通孔ｂ２４及びバルブ室用の貫通孔ｂ２４の端部から外部に連通する流体注入排出用の貫通孔５２が打抜かれている第２のスペーサーである。
【００６６】
バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４は同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされるように打抜かれている。
【００６７】
又、流体注入排出用の貫通孔５１と流体注入排出用の貫通孔５２も同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排出用の貫通孔５１と流体注入排出用の貫通孔５２が重ね合わされるように打抜かれている。
【００６８】
１０は、略円形の流体注入排出用の第２の開口部４１、４２、４３が打抜かれている第２の板状基板であり、第２の板状基板１０と第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排出用の第２の開口部４１と弁体３１、流体注入排出用の第２の開口部４２と弁体３２及び流体注入排出用の第２の開口部４３と弁体３３がそれぞれ一直線になるように打抜かれている。
【００６９】
第１の板状基板７、第１のスペーサー８、第２のスペーサー９及び第２の板状基板１０をこの順に積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされ、第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれてバルブ室２が形成されると共に、バルブ室２内に１端部が遊端である板状の弁体３１、３２、３３が固定される。
【００７０】
更に、流体注入排出用の貫通孔５１と流体注入排出用の貫通孔５２と流体注入排出用の貫通孔５３が重ね合わされ、第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれて、流体注入排出用の第１の開口部５が形成される。
【００７１】
又、ピエゾ素子設置用の穴６１と弁体３１と流体注入排出用の第２の開口部４１、ピエゾ素子設置用の穴６２と弁体３２と流体注入排出用の第２の開口部４３及びピエゾ素子設置用の穴６３と弁体３３と流体注入排出用の第２の開口部４３がそれぞれ略一直線になるように積層される。
【００７２】
その結果、第２の板状基板１０の流体注入排出用の第２の開口部４１、４２、４３からバルブ室２を通過して流体注入排出用の第１の開口部５にむけて流体が流れる又は流体注入排出用の第１の開口部５からバルブ室２を通過して流体注入排出用の第２の開口部４１、４２、４３にむけて流体が流れるマイクロバルブが形成される。
【００７３】
従って、流体注入排水用の第２の開口部４１と流体注入排水用の第２の開口部４２と流体注入排水用の第２の開口部４３を異なる流体源に接続することにより、異なる流体を混合すると共に混合比を変えて供給することができる。又、流体注入排出用の第１の開口部５から供給された流体を流体注入排水用の第２の開口部４１と流体注入排水用の第２の開口部４２と流体注入排水用の第２の開口部４３に適当に分けて供給することもできる。
【００７４】
流体の流れを止めるには、ピエゾ素子設置用の穴６１、６２又は／及び６３にピエゾ素子を設置し、作動させ、第１の板状基板７を押圧することにより、弁体３１、３２又は／及び３３を流体注入排出用の第２の開口部４１、４２又は／及び４３に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部４１、４２又は／及び４３を閉鎖する。
【００７５】
ピエゾ素子を作動させることにより、流体注入排出用の第２の開口部４１、４２又は／及び４３を閉鎖して流体の流れを止めるのであるから必要なときに確実に流体の流れを止めることができる。つまりピエゾ素子の動作により、上記のように流体の流れ方向を自在に制御可能である。これにより４方弁と同等の機能をごく小さい流体素子上で実現した。
【００７６】
尚、弁体３１、３２、３３が第１の板状基板７側に自由の変形できるように、第１の板状基板７と第１のスペーサー８の間に第２のスペーサー９と同一の第３のスペーサーを介在させてもよい。
【００７７】
又、上記弁体３１、３２、３３は、第２のスペーサー９を打抜くことにより形成されているが、別途弁体を作成し、その一端をバルブ室２内に固定してもよい。
【００７８】
上記実施例においては、第１の板状基板にピエゾ素子設置用の穴を穿設して、ピエゾ素子の設置位置を特定し、確実に弁体を液体注入排出用の第２の開口部に押圧しているが、ピエゾ素子の圧力を確実に弁体に伝達できるように圧力伝達部材を使用してもよい。
【００７９】
圧力伝達部材の形状は、特に問わない。しかし圧力伝達部材が、第１の基板と接触する部分の表面積は、流体注入用の開口部の面積と同等程度以上であることが好ましい。また、ピエゾ素子と接触する部分の表面積は、ピエゾ素子の駆動部の表面積より大きいことが好ましい。このような形状の例としては、略釘型や略三角錐型（断面形状としては、Ｔ字型のものや台形）などが挙げられる。圧力伝達素子として、例えば略三角錐状のような一端部の面積が最も広く、他端部の面積が狭くなっている筒状の部材を用い、面積が広い側にピエゾ素子の駆動部を接触させ、面積が狭い側に第１の基板を設置した場合、ピエゾ素子の圧力を拡大して弁体に伝達できるのでこのような形状は好ましい。この際、圧力伝達素子の位置決めが確実にできるように、第３の基板に嵌合されているのが好ましい。
【００８０】
そして、第３の基板を第１の基板に積層し、ピエゾ素子で圧力伝達部材の面積が最も広い面を押圧することにより、圧力伝達部材の面積が最も狭い面で第１の板状基板を押圧するのが好ましい。
【００８１】
図７は、圧力伝達部材が嵌合されている第３の基板の一例を示す断面図である。図中１１は第３の板状基板であり、圧力伝達部材１２が嵌合されている。尚、圧力伝達部材１２は第３の板状基板に穿設された貫通孔に摺動自在に嵌合されていてもよいし、動かないように固定して嵌合されていてもよい。
【００８２】
ピエゾ素子で弁体を押圧して流体注入排出用の第２の開口部４を閉鎖して流体の流れを止めるには、上記第３の基板１１を圧力伝達部材１２の他端部１４が弁体の上方に位置するように、第１の基板に積層し、ピエゾ素子を作動させて圧力伝達部材１２の一端部１３を押圧し、圧力伝達部材１２を下方に摺動させるか第３の基板を下方に変形して、第１の基板を押圧することにより、弁体を押圧して流体注入排出用の第２の開口部４を閉鎖して流体の流れを止めればよい。
【００８３】
上記板状基板、スペーサー及び弁体の素材は、特に限定されるものではなく、例えば、従来から使用されている、ガラス、石英、シリコン等の無機材料、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等が挙げられる。
【００８４】
上記無機材料は精度、加工性等が優れており、例えば、半導体微細加工技術において広く用いられている光リソグラフィー技術を利用すれば、ガラスやシリコン基板上にミクロンオーダーの溝や貫通孔を自在に形成することができる。
【００８５】
上記熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ乳酸系樹脂、ポリアクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂等が挙げられ、耐酸性、耐アルカリ性を有する熱可塑性樹脂であるポリオレフィン系樹脂やポリアクリル系樹脂が好ましい。
【００８６】
又、熱硬化性樹脂は、前駆体が液状のため、転写金型の形状をより忠実に転写するという利点があり、低い線膨張率、低い成形収縮率を示すので有利に用いることができる。このような熱硬化樹脂としては、コストや易取扱い性の点から、エポキシ樹脂を有利に用いることができる。
【００８７】
上記板状基板の大きさは特に限定されるものではないが、大きくなるとマイクロ全分析システムとしてのハンドリング性が低下するので４００ｃｍ2 以下が好ましく、厚さは０．０１〜１０ｍｍが好ましい。又、第１の基板及び第２の基板を厚くして強度を持たせ、スペーサーを薄いフィルムで形成してもよく、スペーサーの厚さは１〜１００μｍが好ましい。
【００８８】
上記流体注入排出用の第２の開口部４、流体注入排出用の第１の開口部５等の断面積も特に限定されるものではないが、狭くなるとつまり易くなり製造が困難になり、広くなると測定試料が多量に必要になるので０．０１μｍ2 〜３ｍｍ2 が好ましい。
【００８９】
又、バルブ室の大きさも特に限定されるものではないが、小さくなるとバルブ性能が低下し、大きくなると測定試料が多量に必要になるので１μｍ3 〜３ｍｍ3 が好ましい。
【発明の効果】
【００９０】
本発明のマイクロバルブの流量調節方法構成は上述の通りであり、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体の流れを制御することができる。
【００９１】
又、ピエゾ素子で弁体を液体注入排出用開口部に押圧するのであるから、少しのエネルギー強固に押圧することができ、確実に止水することができる。又、圧力伝達部材を介在してピエゾ素子で弁体を液体注入排出用開口部に押圧することにより、より少しのエネルギーでより強固に押圧することができ、より確実に止水することができる。
【００９２】
更に、ピエゾ素子及び弁体を複数設置することにより、簡便な制御で異なる流体を混合すると共に混合比を変えて供給することができるし、供給された流体を適当に分けて供給することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【図２】請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す平面図である。
【図３】請求項３記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【図４】請求項４記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【図５】請求項５記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【図６】請求項６記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【図７】圧力伝達部材が嵌合されている第３の基板の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００９４】
１ マイクロ全分析システム
２ バルブ室
２１ 下壁
２２ 上壁
２３ バルブ室用の貫通孔ａ
２４ バルブ室用の貫通孔ｂ
３、３１、３２、３３ 弁体
４、４１、４２、４３ 流体注入排出用の第２の開口部
５ 流体注入排出用の第１の開口部
５１、５２、５３ 流体注入排出用の貫通孔
６ ピエゾ素子
６１、６２、６３ ピエゾ素子設置用穴
７ 第１の板状基板
８ 第１のスペーサー
９ 第２のスペーサー
１０ 第２の板状基板
１１ 第３の板状基板
１２ 圧力伝達部材
１３ 圧力伝達部材の一端部
１４ 圧力伝達部材の他端部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ全分析システムにおいて、微細流路内の流体の流れの停止、連通等制御を行い、流体を輸送するマイクロバルブの流量調節方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、医療診断を患者の近傍で行うベッドサイド診断、大気や水や土壌中の環境汚染材料のモニタリング、食品の安全性検査等現場において短時間に安価に診断したり分析する技術のニーズは非常に高くなってきている。
【０００３】
例えば、従来、高価且つ大型の装置を必要とした分析を、持ち運び可能な小型の分析装置が代替できれば、大病院にしか設置できなかった分析装置を開業医でも設置、利用することが可能になり、診断結果を患者に簡便に早期にフィードバックすることが可能になる。
【０００４】
又、高齢者の健康指標を高齢者の家族が測定し、その健康指標数値を在宅管理したり、病院に定期的に送信して病院で管理することにより、在宅医療環境がより優れたものとなる。
【０００５】
又、環境ホルモン、ダイオキシン等の環境汚染材料を、高価且つ大型装置を使用することなく、簡易測定することができれば、簡単且つ安価に環境診断することができる。更に、持ち運び可能な小型の分析装置を用いて現場で環境汚染材料を分析することができれば、よりきめ細かい安全環境を供出することができる。
【０００６】
このような測定を簡易に行うために、基板内又は基板上に微細流路、輸液ディバイス、反応槽、電気泳動カラム、膜分離機構、流体クロマトグラフカラム、キャピラリーガスクロマトグラフィー（ＣＧＣ）、誘導型プラズマ（ＩＣＰ）、質量分析計（ＭＳ）、電気化学的測定装置等が内臓されたマイクロ全分析システムの研究が盛んになされており、微細流路の開閉や流量調整のためのマイクロバルブの研究も盛んになされている。
【０００７】
例えば、表面に溝を有する部材（Ａ）の溝が形成された面に、０．５〜５００μｍの厚みを有する部材（Ｂ）が接着され、部材（Ａ）の溝と部材（Ｂ）とで幅１〜１０００μｍ、高さ１〜１０００μｍの毛細管状の流路が形成され、該流路の途上に、幅が毛細管状の流路幅の０．５〜１００倍で、該空隙部の最大高さ／最大幅の比が１以下である空隙部が形成されたマイクロ流体デバイスであって、（ｉ）部材（Ａ）の少なくとも空隙部周辺部が引張弾性率０．１ＭＰａ以上、７００ＭＰａ未満の範囲にある素材で形成され、（ｉｉ）部材（Ｂ）の少なくとも空隙部周辺部が、引張弾性率０．７〜１０ＧＰａの範囲にある素材で形成され、かつ厚みが０．５〜５００μｍである、マイクロ流体デバイスの該空隙部を、部材（Ｂ）側から選択的に圧迫することにより、マイクロ流体デバイス内の空隙部の断面積を可逆的に減少させて、空隙部を通過する流体流量を調節するマイクロ流体デバイスの流量調節方法（例えば、特許文献１参照。）が提案されている。
【特許文献１】特開２００２−２１９６９７号公報
【０００８】
上記マイクロ流体デバイスの流量調節方法においては、マイクロ流体デバイスの外部からマイクロ流体デバイス内の空隙部にペンチのような治具で機械的圧力を付加し、空隙部の断面積を可逆的に減少させて、空隙部を通過する流体流量を調節するのであり、微量の流体流量を調節することは不可能であり、実用に供することは不可能であった。又、空隙部が設計通りに変形しない場合、例えば量産時の材料強度のバラつきや空隙部の形成不良
などの場合、弁が閉じなくなる問題点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、上記欠点に鑑み、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体の流れを制御することができるマイクロバルブの流量調節方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法は、流体注入排出用の第１の開口部と、下壁に形成されている流体注入排出用の第２の開口部を有するバルブ室内に、板状の弁体が、空隙を介して常に流体注入排出用の第２の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする。
【００１１】
請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法を図面を参照して説明する。図１は請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す断面図であり、図２は平面図である。
【００１２】
図中１はマイクロ全分析システムであり、マイクロ全分析システム１内に平面視長方形のバルブ室２が形成されている。バルブ室２の下壁２１の略中心付近に流体注入排水用の第２の開口部４が形成され、マイクロ全分析システム１の外部あるいはマイクロ全分析システムのその他の部分から連通されている。
【００１３】
バルブ室２内には、一端（図１において右側の端部）がバルブ室２の側端部に固定され、他端部（図１において左側の端部）が遊端となされている長方形の板状の弁体３が、空隙を介して流体注入用の開口部４を覆うように収納されている。
【００１４】
流体注入排水用の第２の開口部４及び弁体３の上方のマイクロ全分析システム１には、ピエゾ素子６が設置されており、ピエゾ素子６でバルブ室２の上壁２２を下壁２１方向に押圧するすることにより、弁体３を流体注入排水用の第２の開口部４に押圧し、流体注入排水用の第２の開口部４のみを閉鎖することができるようになされている。
【００１５】
尚、図１においては、マイクロ全分析システム１のピエゾ素子６を設置するべき位置にピエゾ素子設置用の穴が穿設されており、該穴にピエゾ素子６が嵌合されて設置されている。
【００１６】
又、５はバルブ室２の下壁２１の弁体３が存在しない位置に設けられた流体注入排出用の第１の開口部５であり、マイクロ全分析システム１の外部あるいはマイクロ全分析システムのその他の部分に連通されている。
【００１７】
従って、流体は流体注入排出用の第１の開口部５からバルブ室２に注入すると、弁体３の下を通って流体注入排出用の第２の開口部４から排出され、流体注入排出用の第２の開口部４から弁体３の下を通ってバルブ室２に注入すると、流体注入排出用の第１の開口部５から排出される。
【００１８】
流体の流れを止めるには、ピエゾ素子６を作動させ、上壁２２を押圧することにより、弁体３を流体注入排水用の第２の開口部４に押圧し、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖することにより行う。ピエゾ素子６を作動させることにより、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖して流体の注入を止めるのであるから必要なときに確実に流体の注入を
止めることができる。
【００１９】
上記バルブ室２及び弁体３の形状は、特に限定されるものではなく、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、六角形、長円形等が挙げられる。又、流体注入排出用の開口部４及び５の形状も、特に限定されるものではなく、例えば、円形、楕円形、三角形、正方形、長方形、六角形、長円形等が挙げられる。しかし、その直径は微細なので、レーザー加工、マシニング等の微細加工や各種精密成型技術で形成するのが好ましく、従って断面形状は円形が好ましい。
【００２０】
又、板状の弁体は、空隙を介して常に流体注入排出用の第２の開口部を覆うように収納されていればよく、板状の弁体の一端部がバルブ室の側壁に固定され、他端部が遊端となされているのが好ましが、弁体がピエゾ素子による押圧で変形し流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖することができる場合は、弁体の側壁の大部分又は全部がバルブ室の側壁に固定されていてもよい。
【００２１】
尚、流体注入排出用の第１の開口部５はバルブ室２の上壁２２又は側壁に設けられてもよい。又、流体注入排出用の第２の開口部４及び流体注入排出用の第１の開口部５は、マイクロ全分析システム１内の微細流路に接続されてよいことは言うまでもない。
【００２２】
マイクロ全分析システムは、一般に、板状基板やスペーサーを積層し、板状基板の間に微細流路、マイクロバルブ、反応槽、測定槽等を形成することにより製造されており、本発明で使用されるマイクロバルブも板状基板やスペーサーを積層することにより製造されるのが好ましい。
【００２３】
即ち、請求項３記載のマイクロバルブの流量調節方法は、第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー並びに流体注入排出用の第１の開口部及び流体流入排出用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、貫通孔ａ、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されているマイクロバルブの第１の板状基板に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法である。
【００２４】
請求項３記載のマイクロバルブの流量調節方法を図面を参照して説明する。図３は請求項３記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【００２５】
図中７は、バルブ室用の貫通孔ａ２３のふたをする第１の板状基板であり、ピエゾ素子設置用の穴６１が穿設されている。
【００２６】
８は、第１の板状基板７より薄く、１端部が遊端である板状の弁体３を残して、略長方形のバルブ室用の貫通孔ａ２３が打抜かれている第１のスペーサーである。
【００２７】
９は、略長方形のバルブ室用の貫通孔ｂ２４が打抜かれている第２のスペーサーである。バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４は同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされるように打抜かれている。
【００２８】
１０は略円形の流体注入排水用の第２の開口部４及び流体注入排出用の第１の開口部５が打抜かれている第２の板状基板であり、第２の板状基板と第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排水用の第２の開口部４は弁体３の下に空隙を介して位置し、流体注入排出用の第１の開口部５は弁体３の存在しない位置にバルブ室用の貫通孔ｂ２４に連通するように打抜かれている。
【００２９】
第１の板状基板７、第１のスペーサー８、第２のスペーサー９及び第２の板状基板１０をこの順に積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされ、第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれてバルブ室２が形成されると共に、バルブ室２内に１端部が遊端である板状の弁体３が固定される。
【００３０】
又、ピエゾ素子設置用の穴６１、弁体３及び流体注入排水用の第２の開口部４が略一直線になるように積層される。従って、第２の板状基板１０の流体注入排水用の第２の開口部４からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排出用の第１の開口部５にむけて流体が流れる又は第２の板状基板１０の流体注入排水用の第１の開口部５からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排出用の第２の開口部４にむけて流体が流れるマイクロバルブが形成される。
【００３１】
流体の流れを止めるには、ピエゾ素子６をピエゾ素子設置用の穴６１に設置し、作動させ、第１の板状基板７を押圧することにより、弁体３を流体注入排水用の第２の開口部４に押圧し、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖する。ピエゾ素子４を作動させることにより、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖して流体の注入を止めるのであるから必要なときに確実に流体の流れを止めることができる。
【００３２】
尚、弁体３が第１の板状基板７側に自由の変形できるように、第１の板状基板７と第１のスペーサー８の間に第２のスペーサー９と同一の第３のスペーサーを介在させてもよい。
【００３３】
請求項４記載のマイクロバルブの流量調節方法は、第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー及び流体注入排水用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排水用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第１のスペーサー又は第２のスペーサーの少なくとも１枚のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔ａ及び／又はｂから側壁に連通する流体注入排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第１の板状基板に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法である。
【００３４】
請求項４記載のマイクロバルブの流量調節方法を図面を参照して説明する。図４は請求項４記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【００３５】
図中７は、バルブ室用の貫通孔ａ２３及び流体排出用の貫通孔５１のふたをする第１の板状基板であり、ピエゾ素子設置用の穴６１が穿設されている。
【００３６】
８は、第１の板状基板より薄く、１端部が遊端である板状の弁体３を残して、略長方形のバルブ室用の貫通孔ａ２３及びバルブ室用の貫通孔ａ２３の端部から外部に連通する流体注入排出用の貫通孔５１が打抜かれている第１のスペーサーである。
【００３７】
９は、第１の板状基板７より薄く、略長方形のバルブ室用の貫通孔ｂ２４及びバルブ室用の貫通孔ｂ２４の端部から外部に連通する流体注入排出用の貫通孔５２が打抜かれている第２のスペーサーである。
【００３８】
バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４は同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされるように打抜かれている。
【００３９】
又、流体注入排出用の貫通孔５１と流体注入排出用の貫通孔５２も同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排出用の貫通孔５１と流体注入排出用の貫通孔５２が重ね合わされ、流体注入排出用の第１の開口部５が形成されるように打抜かれている。
【００４０】
更に、第１の板状基板７と第２のスペーサー９を積層すると、ピエゾ素子設置用の穴６１と弁体３が略一直線になるように打抜かれている。
【００４１】
１０は略円形の流体注入排水用の開口部４が打抜かれている第２の板状基板であり、第２の板状基板１０と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排水用の開口部４は弁体３の下に位置するように打抜かれている。
【００４２】
第１の板状基板７、第１のスペーサー８、第２のスペーサー９及び第２の板状基板１０をこの順に積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされ、第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれてバルブ室２が形成されると共に、バルブ室２内に１端部が遊端である板状の弁体３が固定される。
【００４３】
又、流体流入排出用の貫通孔５１と流体流入排出用の貫通孔５２が重ね合わされ、第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれて、流体流入排出用の第１の開口部５が形成される。
【００４４】
又、ピエゾ素子設置用の穴６１、弁体３及び流体注入排水用の第２の開口部４が略一直線になるように積層される。従って、第２の板状基板１０の流体注入排水用の第２の開口部４からバルブ室２を通過して流体注入排出用の第１の開口部５にむけて流体が流れる又は流体注入排出用の第１の開口部５からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排水用の第２の開口部４にむけて流体が流れるマイクロバルブが形成される。
【００４５】
流体の流れを止めるには、ピエゾ素子６をピエゾ素子設置用の穴６１に設置し、作動させ、第１の板状基板７を押圧することにより、弁体３を流体注入排水用の第２の開口部４に押圧し、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖すればよい。ピエゾ素子４を作動させることにより、流体注入排水用の第２の開口部４を閉鎖して流体の流れを止めるのであるから必要なときに確実に流体の流れを止めることができる。
【００４６】
尚、弁体３が第１の板状基板７側に自由の変形できるように、第１の板状基板７と第１のスペーサー８の間に第２のスペーサー９と同一の第３のスペーサーを介在させてもよい。
【００４７】
請求項５記載のマイクロバルブの流量調節方法は、第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に１端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー並びに該弁体と同数の流体注入排出用の第２の開口部及び流体注入排出用の第１の開口部が打抜かれて
いる第２の板状基板が、各弁体、貫通孔ｂ及び各流体注入排出用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されているマイクロバルブの第１の板状基板に、各弁体及び各流体注入排出用の第２の開口部とがそれぞれ略一直線になるように複数のピエゾ素子を設置し、各ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより各弁体を第２の板状基板方向に押圧し、各流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法である。
【００４８】
請求項５記載のマイクロバルブの流量調節方法を図面を参照して説明する。図５は請求項５記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【００４９】
図中７は、バルブ室用貫通孔ａ２３のふたをする第１の板状基板であり、２個のピエゾ素子設置用の穴６１、６２が穿設されている。
【００５０】
８は、第１の板状基板７より薄く、１端部が遊端である板状の弁体３１及び３２を残して、略長方形のバルブ室用の貫通孔ａ２３が打抜かれている第１のスペーサーである。
【００５１】
第１の板状基板７と第１のスペーサー８を積層すると、ピエゾ素子設置用の穴６１と弁体３１が略一直線になり、ピエゾ素子設置用の穴６２と弁体３２が略一直線になるように打抜かれている。
【００５２】
９は、第１の板状基板７より薄く、略長方形のバルブ室用の貫通孔ｂ２４が打抜かれている第２のスペーサーであり、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４は同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされるように打抜かれている。
【００５３】
１０は、略円形の流体注入排水用の第２の開口部４１、４２及び流体注入排出用の第１の開口部５が打抜かれている第２の板状基板であり、第２の板状基板１０と第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排水用の第２の開口部４１は弁体３１の下に位置し、流体注入排水用の第２の開口部４２は弁体３２の下に位置し、流体注入排出用の第１の開口部５は弁体の存在しない位置でバルブ室用の貫通孔ｂ２４に連通するように打抜かれている。
【００５４】
第１の板状基板７、第１のスペーサー８、第２のスペーサー９及び第２の板状基板１０をこの順に積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれてバルブ室２が形成されると共に、バルブ室２内に１端部が遊端である板状の弁体３１及び３２が固定される。
【００５５】
又、ピエゾ素子設置用の穴６１、弁体３１及び流体注入排水用の第２の開口部４１が略一直線になり、ピエゾ素子設置用の穴６２、弁体３２及び流体注入排水用の第２の開口部４２が略一直線になるように積層され、第２の板状基板１０の流体注入排水用の第２の開口部４１からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排出用の第１の開口部５にむけて流体が流れると共に第２の板状基板１０の流体注入排出用の第２の開口部４２からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排出用の第１の開口部５にむけて流体が流れる又は第２の板状基板１０の流体注入排出用の第１の開口部５からバルブ室２を通過して第２の板状基板１０の流体注入排水用の第２の開口部４１及び流体注入排出用の第２の開口部４２にむけて流体が流れるマイクロバルブが形成される。
【００５６】
従って、流体注入排水用の第２の開口部４１と流体注入排水用の第２の開口部４２を異なる流体源に接続することにより、異なる流体を混合すると共に混合比を変えて供給する
ことができる。又、流体注入排出用の第１の開口部５から供給された流体を流体注入排水用の第２の開口部４１と流体注入排水用の第２の開口部４２に適当に分けて供給することもできる。
【００５７】
又、流体の流れを止めるには、ピエゾ素子をピエゾ素子設置用の穴６１又は／及び６２に設置し、作動させ、第１の板状基板７を押圧することにより、弁体３１又は／及び３２を流体注入排水用の第２の開口部４１又は／及び４２に押圧し、流体注入用の開口部４１又は／及び４２を閉鎖する。
【００５８】
ピエゾ素子設置用の穴６１又は／及び６２に設置されたピエゾ素子を作動させることにより、流体注入排水用の第２の開口部４１又は／及び４２を閉鎖して流体の流れを止めるのであるから必要なときに確実に流体の流れを止めることができる。つまりピエゾ素子の動作により、上記のように流体の流れ方向を自在に制御可能である。これにより３方弁と同等の機能をごく小さい流体素子上で実現した。
【００５９】
尚、弁体３１、３２が第１の板状基板７側に自由の変形できるように、第１の板状基板７と第１のスペーサー８の間に第２のスペーサー９と同一の第３のスペーサーを介在させてもよい。
【００６０】
請求項６記載のマイクロバルブの流量調節方法は、第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に１端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー及び該弁体と同数の流体注入排水用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、各弁体、貫通孔ｂ及び各流体注入排水用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第１のスペーサー又は第２のスペーサーの少なくとも１枚のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔ａ及び／又はｂから側壁に連通する流体注入排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第１の板状基板に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法である。
【００６１】
請求項６記載のマイクロバルブの流量調節方法を図面を参照して説明する。図６は請求項６記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【００６２】
図中７は、バルブ室用の貫通孔ａ２３及び流体排出用の貫通孔５１のふたをする第１の板状基板であり、３個のピエゾ素子設置用の穴６１、６２、６３が穿設されている。
【００６３】
８は、第１の板状基板７より薄く、１端部が遊端である板状の弁体３１、３２、３３を残して、略長方形のバルブ室用の貫通孔ａ２３及びバルブ室用の貫通孔ａ２３の端部から外部に連通する流体注入排出用の貫通孔５１が打抜かれている第１のスペーサーである。
【００６４】
第１の板状基板７と第１のスペーサー８を積層すると、ピエゾ素子設置用の穴６１と弁体３１、ピエゾ素子設置用の穴６２と弁体３２及びピエゾ素子設置用の穴６３と弁体３３がそれぞれ一直線になるように打抜かれている。
【００６５】
９は、第１の板状基板７より薄く、略長方形のバルブ室用の貫通孔ｂ２４及びバルブ室用の貫通孔ｂ２４の端部から外部に連通する流体注入排出用の貫通孔５２が打抜かれている第２のスペーサーである。
【００６６】
バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４は同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされるように打抜かれている。
【００６７】
又、流体注入排出用の貫通孔５１と流体注入排出用の貫通孔５２も同一の大きさであり、第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排出用の貫通孔５１と流体注入排出用の貫通孔５２が重ね合わされるように打抜かれている。
【００６８】
１０は、略円形の流体注入排出用の第２の開口部４１、４２、４３が打抜かれている第２の板状基板であり、第２の板状基板１０と第１のスペーサー８と第２のスペーサー９を積層すると、流体注入排出用の第２の開口部４１と弁体３１、流体注入排出用の第２の開口部４２と弁体３２及び流体注入排出用の第２の開口部４３と弁体３３がそれぞれ一直線になるように打抜かれている。
【００６９】
第１の板状基板７、第１のスペーサー８、第２のスペーサー９及び第２の板状基板１０をこの順に積層すると、バルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ａ２３とバルブ室用の貫通孔ｂ２４が重ね合わされ、第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれてバルブ室２が形成されると共に、バルブ室２内に１端部が遊端である板状の弁体３１、３２、３３が固定される。
【００７０】
更に、流体注入排出用の貫通孔５１と流体注入排出用の貫通孔５２と流体注入排出用の貫通孔５３が重ね合わされ、第１の板状基板７と第２の板状基板１０で囲まれて、流体注入排出用の第１の開口部５が形成される。
【００７１】
又、ピエゾ素子設置用の穴６１と弁体３１と流体注入排出用の第２の開口部４１、ピエゾ素子設置用の穴６２と弁体３２と流体注入排出用の第２の開口部４３及びピエゾ素子設置用の穴６３と弁体３３と流体注入排出用の第２の開口部４３がそれぞれ略一直線になるように積層される。
【００７２】
その結果、第２の板状基板１０の流体注入排出用の第２の開口部４１、４２、４３からバルブ室２を通過して流体注入排出用の第１の開口部５にむけて流体が流れる又は流体注入排出用の第１の開口部５からバルブ室２を通過して流体注入排出用の第２の開口部４１、４２、４３にむけて流体が流れるマイクロバルブが形成される。
【００７３】
従って、流体注入排水用の第２の開口部４１と流体注入排水用の第２の開口部４２と流体注入排水用の第２の開口部４３を異なる流体源に接続することにより、異なる流体を混合すると共に混合比を変えて供給することができる。又、流体注入排出用の第１の開口部５から供給された流体を流体注入排水用の第２の開口部４１と流体注入排水用の第２の開口部４２と流体注入排水用の第２の開口部４３に適当に分けて供給することもできる。
【００７４】
流体の流れを止めるには、ピエゾ素子設置用の穴６１、６２又は／及び６３にピエゾ素子を設置し、作動させ、第１の板状基板７を押圧することにより、弁体３１、３２又は／及び３３を流体注入排出用の第２の開口部４１、４２又は／及び４３に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部４１、４２又は／及び４３を閉鎖する。
【００７５】
ピエゾ素子を作動させることにより、流体注入排出用の第２の開口部４１、４２又は／及び４３を閉鎖して流体の流れを止めるのであるから必要なときに確実に流体の流れを止めることができる。つまりピエゾ素子の動作により、上記のように流体の流れ方向を自在に制御可能である。これにより４方弁と同等の機能をごく小さい流体素子上で実現した。
【００７６】
尚、弁体３１、３２、３３が第１の板状基板７側に自由の変形できるように、第１の板状基板７と第１のスペーサー８の間に第２のスペーサー９と同一の第３のスペーサーを介在させてもよい。
【００７７】
又、上記弁体３１、３２、３３は、第２のスペーサー９を打抜くことにより形成されているが、別途弁体を作成し、その一端をバルブ室２内に固定してもよい。
【００７８】
上記実施例においては、第１の板状基板にピエゾ素子設置用の穴を穿設して、ピエゾ素子の設置位置を特定し、確実に弁体を液体注入排出用の第２の開口部に押圧しているが、ピエゾ素子の圧力を確実に弁体に伝達できるように圧力伝達部材を使用してもよい。
【００７９】
圧力伝達部材の形状は、特に問わない。しかし圧力伝達部材が、第１の基板と接触する部分の表面積は、流体注入用の開口部の面積と同等程度以上であることが好ましい。また、ピエゾ素子と接触する部分の表面積は、ピエゾ素子の駆動部の表面積より大きいことが好ましい。このような形状の例としては、略釘型や略三角錐型（断面形状としては、Ｔ字型のものや台形）などが挙げられる。圧力伝達素子として、例えば略三角錐状のような一端部の面積が最も広く、他端部の面積が狭くなっている筒状の部材を用い、面積が広い側にピエゾ素子の駆動部を接触させ、面積が狭い側に第１の基板を設置した場合、ピエゾ素子の圧力を拡大して弁体に伝達できるのでこのような形状は好ましい。この際、圧力伝達素子の位置決めが確実にできるように、第３の基板に嵌合されているのが好ましい。
【００８０】
そして、第３の基板を第１の基板に積層し、ピエゾ素子で圧力伝達部材の面積が最も広い面を押圧することにより、圧力伝達部材の面積が最も狭い面で第１の板状基板を押圧するのが好ましい。
【００８１】
図７は、圧力伝達部材が嵌合されている第３の基板の一例を示す断面図である。図中１１は第３の板状基板であり、圧力伝達部材１２が嵌合されている。尚、圧力伝達部材１２は第３の板状基板に穿設された貫通孔に摺動自在に嵌合されていてもよいし、動かないように固定して嵌合されていてもよい。
【００８２】
ピエゾ素子で弁体を押圧して流体注入排出用の第２の開口部４を閉鎖して流体の流れを止めるには、上記第３の基板１１を圧力伝達部材１２の他端部１４が弁体の上方に位置するように、第１の基板に積層し、ピエゾ素子を作動させて圧力伝達部材１２の一端部１３を押圧し、圧力伝達部材１２を下方に摺動させるか第３の基板を下方に変形して、第１の基板を押圧することにより、弁体を押圧して流体注入排出用の第２の開口部４を閉鎖して流体の流れを止めればよい。
【００８３】
上記板状基板、スペーサー及び弁体の素材は、特に限定されるものではなく、例えば、従来から使用されている、ガラス、石英、シリコン等の無機材料、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等が挙げられる。
【００８４】
上記無機材料は精度、加工性等が優れており、例えば、半導体微細加工技術において広く用いられている光リソグラフィー技術を利用すれば、ガラスやシリコン基板上にミクロンオーダーの溝や貫通孔を自在に形成することができる。
【００８５】
上記熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ乳酸系樹脂、ポリアクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂等が挙げられ、耐酸性、耐アルカリ性を有する熱可塑性樹脂であるポリオレフィン系樹脂やポリアクリル系樹脂が好ましい。
【００８６】
又、熱硬化性樹脂は、前駆体が液状のため、転写金型の形状をより忠実に転写するという利点があり、低い線膨張率、低い成形収縮率を示すので有利に用いることができる。このような熱硬化樹脂としては、コストや易取扱い性の点から、エポキシ樹脂を有利に用いることができる。
【００８７】
上記板状基板の大きさは特に限定されるものではないが、大きくなるとマイクロ全分析システムとしてのハンドリング性が低下するので４００ｃｍ2 以下が好ましく、厚さは０．０１〜１０ｍｍが好ましい。又、第１の基板及び第２の基板を厚くして強度を持たせ、スペーサーを薄いフィルムで形成してもよく、スペーサーの厚さは１〜１００μｍが好ましい。
【００８８】
上記流体注入排出用の第２の開口部４、流体注入排出用の第１の開口部５等の断面積も特に限定されるものではないが、狭くなるとつまり易くなり製造が困難になり、広くなると測定試料が多量に必要になるので０．０１μｍ2 〜３ｍｍ2 が好ましい。
【００８９】
又、バルブ室の大きさも特に限定されるものではないが、小さくなるとバルブ性能が低下し、大きくなると測定試料が多量に必要になるので１μｍ3 〜３ｍｍ3 が好ましい。
【発明の効果】
【００９０】
本発明のマイクロバルブの流量調節方法構成は上述の通りであり、マイクロ全分析システムに容易に組み込むことができる簡単な構造で、微細流路内の流体の流れを制御することができる。
【００９１】
又、ピエゾ素子で弁体を液体注入排出用開口部に押圧するのであるから、少しのエネルギー強固に押圧することができ、確実に止水することができる。又、圧力伝達部材を介在してピエゾ素子で弁体を液体注入排出用開口部に押圧することにより、より少しのエネルギーでより強固に押圧することができ、より確実に止水することができる。
【００９２】
更に、ピエゾ素子及び弁体を複数設置することにより、簡便な制御で異なる流体を混合すると共に混合比を変えて供給することができるし、供給された流体を適当に分けて供給することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【図２】請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す平面図である。
【図３】請求項３記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【図４】請求項４記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【図５】請求項５記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【図６】請求項６記載のマイクロバルブの流量調節方法で使用されるマイクロバルブの一例を示す分解図である。
【図７】圧力伝達部材が嵌合されている第３の基板の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００９４】
１ マイクロ全分析システム
２ バルブ室
２１ 下壁
２２ 上壁
２３ バルブ室用の貫通孔ａ
２４ バルブ室用の貫通孔ｂ
３、３１、３２、３３ 弁体
４、４１、４２、４３ 流体注入排出用の第２の開口部
５ 流体注入排出用の第１の開口部
５１、５２、５３ 流体注入排出用の貫通孔
６ ピエゾ素子
６１、６２、６３ ピエゾ素子設置用穴
７ 第１の板状基板
８ 第１のスペーサー
９ 第２のスペーサー
１０ 第２の板状基板
１１ 第３の板状基板
１２ 圧力伝達部材
１３ 圧力伝達部材の一端部
１４ 圧力伝達部材の他端部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体注入排出用の第１の開口部と、下壁に形成されている流体注入排出用の第２の開口部を有するバルブ室内に、板状の弁体が、空隙を介して常に流体注入排出用の第２の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項２】
板状の弁体の一端部がバルブ室の側壁に固定され、他端部が遊端となされていることを特徴とする請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項３】
第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー並びに流体注入排出用の第１の開口部及び流体流入排出用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、貫通孔ａ、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されているマイクロバルブの第１の板状基板に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項４】
第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー及び流体注入排水用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排水用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第１のスペーサー又は第２のスペーサーの少なくとも１枚のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔ａ及び／又はｂから側壁に連通する流体注入排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第１の板状基板に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項５】
第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に１端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー並びに該弁体と同数の流体注入排出用の第２の開口部及び流体注入排出用の第１の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、各弁体、貫通孔ｂ及び各流体注入排出用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されているマイクロバルブの第１の板状基板に、各弁体及び各流体注入排出用の第２の開口部とがそれぞれ略一直線になるように複数のピエゾ素子を設置し、各ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより各弁体を第２の板状基板方向に押圧し、各流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項６】
第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に１端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー及び該弁体と同数の流体注入排水用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、各弁体、貫通孔ｂ及び各流体注入排水用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第１のスペーサー又は第２のスペーサーの少なくとも１枚のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔ａ及び／又はｂから側壁に連通する流体注入排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第１の板状基板
に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項７】
第１のスペーサーは、板状の弁体を残してバルブ室用の貫通孔ａが打抜かれていることを特徴とする請求項２〜６のいずれか１項記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項８】
圧力伝達部材が嵌合されている第３の基板を第１の基板に積層し、ピエゾ素子で圧力伝達部材を押圧することにより、圧力伝達部材で第１の板状基板を押圧することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項１】
流体注入排出用の第１の開口部と、下壁に形成されている流体注入排出用の第２の開口部を有するバルブ室内に、板状の弁体が、空隙を介して常に流体注入排出用の第２の開口部を覆うように収納されているマイクロバルブの上壁をピエゾ素子で押圧することにより弁体を下壁方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とするマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項２】
板状の弁体の一端部がバルブ室の側壁に固定され、他端部が遊端となされていることを特徴とする請求項１記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項３】
第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー並びに流体注入排出用の第１の開口部及び流体流入排出用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、貫通孔ａ、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されているマイクロバルブの第１の板状基板に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項４】
第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に少なくとも１端部が遊端である板状の弁体が固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー及び流体注入排水用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排水用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第１のスペーサー又は第２のスペーサーの少なくとも１枚のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔ａ及び／又はｂから側壁に連通する流体注入排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第１の板状基板に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項５】
第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に１端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー並びに該弁体と同数の流体注入排出用の第２の開口部及び流体注入排出用の第１の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、各弁体、貫通孔ｂ及び各流体注入排出用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されているマイクロバルブの第１の板状基板に、各弁体及び各流体注入排出用の第２の開口部とがそれぞれ略一直線になるように複数のピエゾ素子を設置し、各ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより各弁体を第２の板状基板方向に押圧し、各流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項６】
第１の板状基板、バルブ室用の貫通孔ａが打抜かれ、該貫通孔ａ内に１端部が遊端である板状の弁体が複数固定されている第１のスペーサー、バルブ室用の貫通孔ｂが打抜かれている第２のスペーサー及び該弁体と同数の流体注入排水用の第２の開口部が打抜かれている第２の板状基板が、各弁体、貫通孔ｂ及び各流体注入排水用の第２の開口部が略一直線になるように、この順に積層されており、第１のスペーサー又は第２のスペーサーの少なくとも１枚のスペーサーに、該スペーサーのバルブ室用の貫通孔ａ及び／又はｂから側壁に連通する流体注入排出用の貫通孔が打抜かれているマイクロバルブの第１の板状基板
に、弁体、貫通孔ｂ及び流体注入排出用の第２の開口部と略一直線になるようにピエゾ素子を設置し、ピエゾ素子で第１の板状基板を押圧することにより弁体を第２の板状基板方向に押圧し、流体注入排出用の第２の開口部を閉鎖することを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項７】
第１のスペーサーは、板状の弁体を残してバルブ室用の貫通孔ａが打抜かれていることを特徴とする請求項２〜６のいずれか１項記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【請求項８】
圧力伝達部材が嵌合されている第３の基板を第１の基板に積層し、ピエゾ素子で圧力伝達部材を押圧することにより、圧力伝達部材で第１の板状基板を押圧することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項記載のマイクロバルブの流量調節方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２００６−２１４４９３（Ｐ２００６−２１４４９３Ａ）
【公開日】平成１８年８月１７日（２００６．８．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２７０７２（Ｐ２００５−２７０７２）
【出願日】平成１７年２月２日（２００５．２．２）
【出願人】（０００００２１７４）積水化学工業株式会社 (5,781)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年８月１７日（２００６．８．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年２月２日（２００５．２．２）
【出願人】（０００００２１７４）積水化学工業株式会社 (5,781)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]