【課題】処理装置内部の特殊な雰囲気を崩すことなく、被処理物の補充を行うことができる被処理物投入装置を提供する。
【解決手段】被処理物Ｓを収容可能な被処理物収容部１１と、前記被処理物収容部１１と処理装置Ｆ１との間を気密に遮断できる閉鎖部３と、前記被処理物Ｓを前記被処理物収容部１１から前記処理装置Ｆ１に搬送する搬送通路部１２２を有し、前記搬送通路部１２２の少なくとも先端１２２ａが、前記閉鎖部３の開放状態で前記閉鎖部３よりも処理装置Ｆ１側に位置する状態と、前記閉鎖部３よりも被処理物収容部１１側に位置する状態とに切り替え可能とされた搬送部１２とを備え、前記搬送部１２は、前記先端１２２ａが処理装置Ｆ１側に位置する場合に被処理物Ｓを前記処理装置Ｆ１に投入でき、前記閉鎖部３は、前記先端１２２ａが被処理物収容部１１側に位置する場合に閉鎖可能である。 （もっと読む）

【課題】処理室内の圧力が上昇しても、大気圧より高い所定圧力までは確実に処理室内が気密保持される一方で、この所定圧力を超えて圧力上昇した場合に真空処理装置自体の破損を防止することができるようにした真空処理装置を提供する。
【解決手段】チャンバ本体１と、その開口部１ｂに対してＯリング４を介在させて圧接する開閉扉３と、開閉扉の閉位置で処理室１ａ内を真空引きする真空ポンプ３とを備える。処理室を真空引きした状態で、開閉扉に対し、開閉扉のチャンバ本体への圧接方向に引張力を加える引張手段６を更に備える。処理室内の圧力が上昇したとき、大気圧より高い所定圧力までは、前記引張手段が弾性変形して開閉扉を閉位置に保持し、前記所定圧力を超えると、前記引張手段が塑性変形して開閉扉がチャンバ本体から離間する運動エネルギーを吸収するように構成する。 （もっと読む）

【課題】ルツボを築炉する際に、手間および時間を軽減することが可能な真空溶解装置と、その真空溶解装置で用いられるルツボユニットを提供すること。
【解決手段】真空吸引されるチャンバ２０内でコイル１２０に高周波電流を導通させて、鉄換算で５０ｋｇ以上の原料を誘導加熱して溶解するルツボユニットを有する真空溶解装置１０であって、コイル１２０の空芯部１２５に配置されると共に材質がセラミックスである外ルツボ１４０と、外ルツボ１４０の内筒部１４４に配置されると共に、材質をセラミックスとする内ルツボ１５０と、を具備し、内ルツボ１５０は、外ルツボ１４０よりも熱膨張係数が大きなセラミックスを材質として形成されていると共に、外ルツボ１４０の内筒面１４４ａと内ルツボ１５０の外周面１５３ａとの間の隙間寸法Ｓは、原料の溶解の際の熱膨張において外ルツボ１４０側から内ルツボ１５０側へ圧力を及ぼす状態に設定されている。 （もっと読む）

【課題】金属溶湯中に含まれる水素または酸化物等の非金属介在物を効率的に除去できる金属溶湯の脱ガスまたは非金属介在物除去を提供する。
【解決手段】金属溶湯を収容する容体（１０）と、金属溶湯中に含まれる水素または非金属介在物を除去する作用ガスを金属溶湯中で噴出させる噴孔（４２）を有する導気管（４０）と、導気管に該作用ガスを供給するガス供給源と、導気管の噴孔から噴出した作用ガスを金属溶湯中で微細分散させる撹拌手段（５０）と、を備える金属溶湯の脱ガスまたは非金属介在物除去装置であって、金属溶湯の湯面上にできる湯上空間から容体外へ流出する出向気流を許容すると共に容体の外界にある外気が湯上空間へ流入する入向気流を規制する外気規制手段を有する。 （もっと読む）

【課題】処理装置の内部の特殊な雰囲気を崩すことなく、被処理物の被処理物投入装置への補充を行うことができる被処理物投入装置を提供する。
【解決手段】被処理物を気密状態で処理する処理装置Ｆ１に対し、被処理物を外部から気密状態で投入するための被処理物投入装置において、被処理物を一時的に収容可能で、被処理物を収容する際に用いる開閉可能な収容口１１１ｃを有する被処理物収容部１１と、前記処理装置Ｆ１の内部に投入される被処理物が気密状態で通過可能な被処理物通路１２、及び、前記被処理物収容部１１から前記被処理物通路１２へと被処理物を気密状態で取り出し可能な被処理物取出機構１３を有する搬送部１ｂとを備え、前記搬送部１ｂには、前記搬送部１ｂの処理装置側と被処理物収容部側とを気密に遮断可能な閉鎖部１４と、前記搬送部１ｂのうちで前記閉鎖部１４よりも被処理物収容部側の位置にて、前記搬送部１ｂを分離及び接合可能なジョイント部１５とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ系またはＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｒｕ系の金属、およびＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、Ｃｒ₂Ｏ₃、ＣｏＯ、Ｔａ₂Ｏ₅のうちのいずれか１つまたは複数の金属酸化物からなるターゲットから、工程数を少なくかつ不純物の混入を少なく金属を回収する。
【解決手段】ターゲット１を、貫通孔１２Ｂが底面にある上段ルツボ１２および該貫通孔１２Ｂの下に設けられた下段ルツボ１４を備えてなる２段ルツボ１０の該上段ルツボ１２内で、ターゲット１にＴｉＯ₂およびＴａ₂Ｏ₅のどちらも含まれない場合は１４００〜１７９０℃で加熱し、ターゲット１にＴｉＯ₂が含まれ、Ｔａ₂Ｏ₅が含まれない場合は１４００〜１６３０℃で加熱し、ターゲット１にＴａ₂Ｏ₅が含まれる場合は１４００〜１４６０℃で加熱して、溶融した前記金属を下段ルツボ１４内に流れ込ませて前記金属酸化物から分離する。 （もっと読む）

【課題】溶解炉内でアークを発生させて溶解用電極を溶解し、凝固させて高融点金属の金属鋳塊を得るに際し、溶解中の溶解炉内を目視観察できない場合でも、炉内の溶解状態を的確、かつ確実に把握し、必要に応じて溶解炉の動作を制御することができるようにした、消耗電極式真空アーク溶解方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】溶解炉１内でアークＢを発生させて溶解用電極Ａを溶解し、凝固させて高融点金属の金属鋳塊Ｄを得る消耗電極式真空アーク溶解装置において、溶解炉１内部の熱画像を取得する赤外線カメラ１１と、赤外線カメラ１１で取得した熱画像を取り込み、前記熱画像から炉内温度情報を得る画像処理装置１２と、赤外線カメラ１１で取得した熱画像又は前記画像処理装置１２で得た炉内温度情報に基づいて炉内の溶解状態を判断し、該溶解状態に基づいて前記溶解炉１の動作を制御する制御装置１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム蒸着やシリコン精製用黒鉛製るつぼの長寿命化を図るための表面改質方法、及び黒鉛製るつぼを安価に提供することである。
【解決手段】炭素源とシリコン粉末を溶剤に分散させた炭素源−シリコン粉末分散液を黒鉛製るつぼの少なくとも金属融液と接する表面に塗布して炭素源−シリコン粉末混合層を形成し、前記炭素源−シリコン粉末混合層を真空中又は不活性ガス雰囲気中で焼成して前記炭素源を炭素化し、更に真空中又は窒素源を含む雰囲気中で１３００℃以上の高温度で反応焼結処理して炭化シリコン被膜又は炭化シリコンと窒化シリコンの混合被膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】高真空雰囲気中において、放出ガスによって圧力を低下させること無く、また、周辺環境を汚染させること無く使用することが可能な可撓性を有する水冷ケーブル及び水冷ケーブルを備えた真空加熱装置を提供する。
【解決手段】水冷ケーブル２０は、冷却水を流通する冷却水通路２０ｃを有して、真空雰囲気中で冷却水及び電源を供給するためのもので、電源を供給するための導線２０ａと、導線２０ａとの間に冷却水通路２０ｃを有して外装され、耐熱温度が１００℃以上で、少なくとも外皮の放出ガス量が１０^−４Ｐａ・ｍ^３／ｓ・ｍ^２以下の可撓性を有する絶縁材料で形成された略管状の被覆管２０ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】優れた熱電変換性能を有するマグネシウム−ケイ素複合材料を提供する。
【解決手段】実質的にドーパントを含まない場合、マグネシウム−ケイ素複合材料は、Ｍｇの含有量が原子量比で６６．１７〜６６．７７ａｔ％であり、Ｓｉの含有量が原子量比で３３．２３〜３３．８３ａｔ％である組成原料を、開口部とこの開口部を覆う蓋部とを有し、上記開口部の辺縁における上記蓋部への接触面と、上記蓋部における上記開口部への接触面とが共に研磨処理された耐熱容器中で加熱溶融する工程を有する製造方法により製造される。一方、ドーパントを含む場合、マグネシウム−ケイ素複合材料は、Ｍｇの含有量とＳｉの含有量との比が原子量比で６６．１７：３３．８３〜６６．７７：３３．２３であり、ドーパントの含有量が原子量比で０．１０〜２．０ａｔ％である組成原料により製造される。 （もっと読む）