【課題】データ高速処理装置を不要として小型化できる光センサ計測装置を提供する。
【解決手段】複数のＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎからそれぞれ得られる反射光スペクトルが閾値以上となるデータに基づいて各反射光スペクトルの中心を求める演算回路４１と、複数のＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎの各々からの反射光スペクトルの中心を求めるための最適な閾値をそれぞれ保存する閾値保存用レジスタアレイ４３と、複数のＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎからそれぞれ得られる反射光スペクトルのデータと閾値保存用レジスタアレイ４３で保存されている最適な閾値とを比較して演算回路４１に各反射光スペクトルに応じた最適な閾値を出力する比較回路４４とを備えた。各ＦＢＧセンサ３１，３２，３ｎから反射される反射光スペクトルの中心を演算回路４１で計算するために必要な閾値を、予め閾値保存用レジスタアレイ４３で記憶された複数の最適な閾値から１つ選択する。 （もっと読む）

【課題】光学系の光学特性をより正確に計測する技術を提供する。
【解決手段】テストパターンを有するテストマスクをマスク保持部によって保持して光学系の物体面に配置し、前記光学系の像面に形成される前記テストパターンの像の位置を計測し、その計測結果を処理することによって前記光学系の光学特性を決定する方法において、前記テストマスクの変形量を計測し、前記像の位置の計測結果を処理して決定されうる前記光学系の光学特性を前記変形量に基づいて補正する。 （もっと読む）

【課題】複数のショット領域において同一の計測箇所で表面位置を計測するために好適な技術を提供する。
【解決手段】露光装置は、投影光学系と、基板を保持して移動するステージと、前記投影光学系の光軸の方向に関して前記基板の表面の位置を計測する計測器と、前記ステージおよび前記計測器を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記走査の方向に沿うようにショット領域の中心に対して対称に所定ピッチで配置された計測箇所のリストである第１計測箇所リストを生成し、前記計測器の制御には、前記第１計測箇所リストに含まれる計測箇所で前記計測器に前記表面の位置を計測させる第１の制御と、ショット領域において最後に計測される計測箇所及び／又はその次のショット領域において最初に計測される計測箇所を前記第１計測箇所リストから除いた第２計測箇所リストに含まれる計測箇所で前記計測器に前記表面の位置を計測させる第２の制御と、が含まれる。 （もっと読む）

【課題】構成が簡単で、しかもＡＥ、超音波応答や振動に対する応答信号の信号ノイズ比を改善可能な振動又は弾性波検出装置を実現する。
【解決手段】受信部ＦＢＧ１およびフィルタ部ＦＢＧ２の反射波長域を含む広帯域光を、受信部ＦＢＧ１およびフィルタ部ＦＢＧ２に入射し、受信部ＦＢＧ１およびフィルタ部ＦＢＧ２の透過光または反射光の強度変化から受信部ＦＢＧ１が受ける振動又は弾性波を計測する振動又は弾性波検出装置において、受信部ＦＢＧ１がひずみまたは温度変化を受けても受信部ＦＢＧ１およびフィルタ部ＦＢＧ２の反射光分布が常に交差するように受信部ＦＢＧ１およびフィルタ部ＦＢＧ２を被検体７に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 伸縮性を有する基板の伸縮状態を高精度に測定する。
【解決手段】 伸縮測定装置は、可撓性を有する基板を該基板の表面に沿って移送する移送部と、基板の移送方向に沿って所定間隔を隔てて基板に形成され基板の移送にともない該基板の移送経路上の第１及び第２検出領域内にそれぞれ移動された第１及び第２マークを検出する検出部と、第１及び第２検出領域間の移送経路に沿った基板の長さを基準長さに設定する基板長さ設定部と、第１及び第２マークの検出結果に基づいて基板の移送方向に関する伸縮情報を導出する導出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡略化されたプロセスによるひずみセンサ材料を提供することを課題とする。
【解決手段】下記一般式（１）で表される内部アルキン含有樹脂を提供する。
【化１】


（式中、Ｒ_２およびＲ_３はそれぞれ独立に置換されていてもよいアルキル基、置換されていてもよいアリール基を示し、ｐは０＜ｐ＜１である。ｎは平均重合度である。Ｒ_１は樹脂化合物を構成する高分子鎖を示す。）
提供された内部アルキン含有樹脂を用いて、これを被測定物の表面に貼着し、ひずみセンサとして用いることにより、簡略化されたプロセスによるひずみセンサが提供される。 （もっと読む）

【課題】小型で光弾性測定装置へのセッティングが容易な光弾性変調器およびそれを備えた光弾性測定装置を提供する。
【解決手段】円盤状の光学素子４６の周側面の一端に圧電素子４７を接触させ、当該圧電素子４７と対向する側をフレーム４８に接触させて光学素子４６の両端を支持する。当該構成において、光弾性変調器４５の共振周波数を光学素子４６の共振周波数より低い周波数に設定して圧電素子４７から振動させる。このとき、光学素子４６に付与される振動は減衰した後、光学素子４６には圧電素子４７の慣性による応力のみが付与されるので、光学素子４６内には均一に複屈折量が発生し、この状態で光学素子４６に光を透過させることにより、透過光に変調がかけられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安価な構造で温度とひずみを同時に計測できる光ファイバセンサ装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、ＯＦＤＲ方式に適用される光ファイバセンサ装置であって、光ファイバのコアに形成したＦＢＧからなるひずみ検知用のセンサ部３と、該ひずみ検知用のセンサ部に接続されてその端部に反射部を備えた温度検知用光ファイバからなる温度検知用のセンサ部７とを具備した光ファイバセンサＳと、参照用反射端１６と、光源１２と、受光器１３とが備えられ、前記温度検知用光ファイバの光路長の変化量から温度変化を計測し、前記ＦＢＧのブラッグ波長のシフト量から前記計測された温度変化に相当するブラッグ波長のシフト量を減算することによりひずみを計測する。 （もっと読む）

【課題】移動ウェブに関する速度、変位、歪みを効率的に測定する。
【解決手段】移動するウェブ部材14の近くに第１、第2の光センサ配列16、18を設置する。第１、第2の光センサ配列１６，１８はウェブ部材14の走行方向に沿って所定距離ｄだけ離れている。第１、第２の光センサ配列16、18の双方に結合されている処理装置40は、第1、第2、第3のコード区画それぞれにより制御され、それぞれ、第１の光センサ配列16でウェブ部材１４上のパターンを検出させ、第２の光センサ配列18でウェブ部材１４上で前記検出されたパターンを認識させ、そして、ウェブ部材１４の速度、距離ｄ、および第１のコード区画に応答するパターンの検出と第２のコード区画に応答するパターンの認識との間の経過時間に基づきウェブ部材１４の歪みを計算する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ひずみや温度変化が生じた光ファイバ位置を高い空間分解能で特定できる光ファイバセンサとその測定方法と光ファイバセンサ装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、光ファイバのコアに形成したＦＢＧをセンサとし、該センサからのブラッグ反射光と参照用の反射端からの反射光の干渉強度の周期的変化から、前記センサの位置を特定するとともに、前記センサからのブラッグ反射光の波長の変化量から検知部のひずみや温度変化を計測する光周波数領域反射測定（ＯＦＤＲ）方式に用いられる光ファイバセンサであって、ＦＢＧからなるひずみや温度変化を計測するための複数のセンシング部１と、これら複数のセンシング部の間に設けられ、ひずみや温度変化をセンシングした光ファイバ位置を特定するための光学マーキング部３を具備してなることを特徴とする。 （もっと読む）