少なくとも第１の軸を中心に回転自在な表面センサを有する座標位置決め装置の操作方法。この方法は、表面センサを第１の角方向に置いて第１の測定結果を取得するステップと、表面センサを第２の角方向に置いて少なくとも第２の測定結果を取得するステップと、を含む。第１と第２の角方向は相互に異なり、表面センサの、その想定位置からのあらゆるオフセットは、第１と第２の測定結果に対して少なくとも部分的に反する影響を与える。この方法では、その後、第１と第２の測定結果を利用してオフセットを補正および／または設定する。
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【課題】所定の基準面から試料の表面の各位置までの高さを各々検出することによって試料の表面形状を測定する表面形状測定機にて、１回の走査で試料の表面形状の稜線の位置を検出する。
【解決手段】表面形状測定機１０にて試料Ｗの表面形状の稜線Ｌの位置を検出する稜線位置検出装置１００は、試料Ｗの表面上の所定の閉じたループＣ上の各位置においてそれぞれの位置までの高さを測定したときに高さが極大となる極大点Ｐ１、Ｐ３を検出する極大点検出部１０３と、極大点検出部により検出した２つの極大点Ｐ１、Ｐ３を結ぶ直線の位置を、試料Ｗの表面形状の稜線Ｌの位置として算出する稜線位置算出部１０６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定子の汚れやごみ付着か、磨耗による変形か、基準球の汚れやごみ付着か、磨耗による変形かの特定を可能として、測定子、基準球の汚れやごみ付着であればその場所の特定、測定子、基準球の磨耗であればその磨耗領域の状況の特定、あるいは、測定子、基準球の交換の必要性の判断を可能とする。
【解決手段】測定子１２４を被測定物１０２に直接接触させて、その形状測定を行う形状測定機構の異常検出に際して、前記測定子の形状を校正するための複数の基準球１３０ａ、１３０ｂを測定し、該基準球の測定により得られた、位置と大きさの共通する形状異常値と共通しない形状異常値とを判別し、該共通する形状異常値から判別される測定子の磨耗状況と汚れ又はごみ付着状況、および該共通しない形状異常値から判別される基準球の磨耗状況と汚れ又はごみ付着状況のうちの少なくともいずれか１つを知らせる。 （もっと読む）

【課題】 測定アームのパラメータの校正作業に要する手間や時間を削減することのできる多関節型座標測定装置のパラメータ校正方法を提供する。
【解決手段】 まず、二つの小球２２を有する標準器２０Ａを測定アーム２の操作空間内に設置し、測定アーム２を操作してプローブ３をそれらの小球２２に近づけて複数のアーム姿勢で小球２２の各々の空間座標を測定し、その測定結果に基づいて一次校正パラメータについてのパラメータ校正処理を行う。つぎに、一つの小球２２を有する標準器２０Ｃを測定アーム２の操作空間内に設置し、測定アーム２を操作してプローブ３をその小球２２に近づけて複数のアーム姿勢で小球２２の空間座標を測定し、その測定結果に基づいて二次校正パラメータについてのパラメータ校正処理を行う。 （もっと読む）

【課題】運動誤差の補正を高精度に行える方法を提供する。
【解決手段】予め基準ワーク32を形状測定して得ておいた校正値信号を用いて測定ワーク40を形状測定して得られた測定値信号から運動部26の運動誤差による測定誤差を除去する方法において、該校正値信号は固定部30に対し該運動部26を相対運動しながら該基準ワーク32を形状測定した際の検出器36出力信号から該基準ワーク形状成分を除去したものであり、該測定値信号は該固定部30に対し該運動部26を相対運動しながら該測定ワーク40を形状測定した際の該検出器36出力信号から該測定ワーク形状成分を除去したものであり、該校正値信号を用いて該測定値信号に含まれる成分のうち該校正値信号と最も形状相関の高い成分を運動誤差成分として適応的に除去する工程(S10)を備えたことを特徴とする誤差補正方法。 （もっと読む）

【解決手段】測定機（１）は、測定容積内において測定センサ（３）を移動させるために座標軸線に沿って移動可能な複数の部材（８、１０、１２）を設けた可動ユニット（７）を備え、レーザセンサ（２６）は、可動部材（８）に結び付いて、可動ユニット（７）の動的変形に関連した値を供給し、これらの値は、動的変形により生じた測定機（１）の測定誤差を補正するために処理される。 （もっと読む）

【課題】地すべり、土砂崩れ、雪崩、土木構造物建設中の事故、建築構造物建設中の事故、建設機械の倒壊、古い建造物の崩壊、アミューズメント施設の異常作動などの災害・事故から市民及び工事関係者を守るために不可欠な動態観測を低コストで実現し、周辺環境で起こりつつある変化をリアルタイムに周辺関係者（住民、作業関係者、観客など）に情報開示するため、任意の観測点間の相対変位を光の色で表示する装置を提供する。
【解決手段】任意の２点間の相対変位を計測する計測部と、複数のＬＥＤ光源を配列させたＬＥＤチューブと、計測部で得られた変状量からＬＥＤ光源の色を決定するスイッチ部とを備え、スイッチ部は、非導電体と導電体とを適宜配列したスイッチパネルと、変状量に応じて移動し得る各ＬＥＤチップの電源ラインの接触点とから構成され、原位置でリアルタイムにその変状を光の色で告知する。 （もっと読む）

【課題】 過度の衝撃を検知し、衝撃を緩衝すると共に衝撃の大きさを見分けられるようにする。
【解決手段】 スピンドル２２の作動範囲の上死点を規制するストッパー２４に過度の衝撃を検知する検知手段を設け、この検知手段に衝撃を緩衝する機能を持たせると共に検知手段で衝撃の大きさを判別することができるようにする。また、ストッパー２４をステム２３の下端部、又は測定子２５の直上に備える。また、検知手段はストッパー２４の外周に設けたスリット２４ａや外周一周に渡って設けた溝などで構成する。 （もっと読む）

電動の関節式走査ヘッド（１６）における角度測定スケールを、基準加工品（４０；６０；８０）を用いて較正する方法が記載される。この方法は、走査ヘッド（１６）に取り付けられた走査プローブ（２８）などの表面検出デバイスを走査ヘッド（１６）の少なくとも１軸（Ａ１，Ａ２）のまわりに回転させ、基準加工品（４０；６０；８０）に対し異なる複数の角度方向に表面検出デバイスを移動させる工程を含む。次に、その異なる角度方向のそれぞれで、表面検出デバイスにより、基準加工品（４０；６０；８０）の少なくとも１つの特性を測定する工程が実行される。そして、測定された基準加工品（４０；６０；８０）の特性を用い、また付加的に既知または較正済みの基準加工品（４０；６０；８０）の特性を用いて、走査ヘッドの少なくとも１つの測定スケールに対する誤差マップまたは関数を生成する。この方法は、走査ヘッド（１６）を移動させるために、座標測定機械（１４）などの座標位置決め機械の使用を含むことができる。基準加工品（４０；６０；８０）は、単一の特徴部または配列された複数の特徴部（４６；６６）を含むことができる。
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【課題】触針プローブと被測定物表面との摩擦抵抗による測定誤差が発生しにくい形状測定装置を提供する。
【解決手段】触針プローブ２を被測定物Ｓに接触させ、相対的に走査させて被測定物Ｓの形状を測定する形状測定装置１は、触針プローブ２の表面に設けられ、触針プローブ２と被測定物Ｓとの間の摩擦抵抗を軽減する抵抗減少部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）