【課題】測定子の位置を適切に制御することができ、測定子が非接触か否かを適切に判断することができる形状測定装置の提供。
【解決手段】三次元測定機１は、測定子を有するプローブ２１と、プローブ２１を移動させる移動機構２２と、ホストコンピュータ５とを備える。ホストコンピュータ５は、測定子の移動量を取得する移動量取得部５２と、測定子を非接触とした状態における基準位置からの測定子の移動量を偏差として取得する偏差取得部５４と、偏差取得部５４にて取得される偏差が第１の閾値より大きいか否かを判定する判定部５５と、判定部５５にて偏差が第１の閾値より大きいと判定されると、基準位置と、偏差とを合成した位置に基準位置を更新する更新部５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工作機械上の被加工物を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。また、いくつかの方法で前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】パイプの先端切断形状について短い時間で簡易に検査することができる切断形状検査方法、切断形状測定器具、及び切断形状検査システムを提供する。
【解決手段】第１、第２球体２０ａ、２０ｂと、一組の球体２０ａ、２０ｂ間に被接合物の湾曲面と同形状の接触面２８が形成されたダミー体２２と、取付けによってパイプＰの先端部を接触面２８に案内する取付部２４と、を備えた切断形状測定器具１２に、パイプＰを取付けて検査空間に配置する。その後、第１、第２球体２０ａ、２０ｂの中心点位置をそれぞれ測定し、測定した第１、第２球体２０ａ、２０ｂの中心点位置とパイプＰの配置状態から、切断形状測定器具１２の位置状態を特定することで、パイプＰの先端切断形状を判別する。 （もっと読む）

【課題】筒状体の軸方向及び周方向の全面の外径と肉厚を同時に測定し、その内径および内外径中心線のずれである位置度を測定する装置及び方法を提供する。
【解決手段】筒状体形状測定装置１０は、筒状体１の外面を軸方向および周方向に三次元座標を測定するための三次元測定用プローブと、この三次元測定用プローブと所定の距離を隔てて配置され、筒状体１の厚さを測定するための探触子と、この三次元測定用プローブおよび探触子を搭載したプローブユニット１２を走査させる走査手段１３，１４と、走査手段１３，１４を制御して前記筒状体の軸方向および周方向にわたる外面を走査し、前記筒状体の周方向および軸方向の外径と肉厚とを計測し、この計測結果に基づいて前記筒状体の周方向および軸方向の内径と、前記筒状体の内外径中心線のずれである位置度を算出する三次元・厚さ測定器１１を具備する。 （もっと読む）

【課題】 形状測定装置において被測定物である光学素子を高精度に保持し、偏芯測定を可能にする光学素子測定用治具を提供すること。
【解決手段】 光学素子測定用治具１０において、外形基準検知手段４０が３つの球面部３０を基板２０上の光学素子ＯＥの外縁部ＰＡに付勢しつつ当接させるので、光学素子ＯＥの外形基準を精度よく測定できる。この際、当接その球形状の球面部で構成されているので高精度に加工し易い形状となっているため更に測定精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】機械的な基準部材を用いることなく、測定子の位置の校正をする。
【解決手段】基礎円の接線方向走査方法により歯車の歯形を求めこのときの歯形こう配誤差α１と、基礎円の接線方向以外の走査方法により歯車の歯形を求めこのときの歯形こう配誤差α２との偏差である、歯形こう配誤差の差Δαを求める。歯形こう配誤差の差Δαと歯車の諸元を用いて、位置誤差Δｘを求め、位置誤差Δｘに応じて測定子の位置の校正をする。 （もっと読む）

【課題】歯車の全体に亘り、歯車形状の測定を容易に行なえる歯車形状測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】第１回転軸芯Ｘ１の周りに被検査歯車１を回転駆動可能に支持する支持台３と、被検査歯車１に係合しつつ第２回転軸芯Ｘ２の周りで回転可能なゲージ歯車２と、第１回転軸芯Ｘ１に対する第２回転軸芯Ｘ２の相対傾斜角度を調節設定し、且つ、第１回転軸芯Ｘ１に対する第２回転軸芯Ｘ２の距離を変更可能な軸間角度設定部９と、被検査歯車１に対してゲージ歯車２を付勢する付勢部材１５と、第１回転軸芯Ｘ１と第２回転軸芯Ｘ２との距離を測定する軸間距離測定部１７と、測定したデータを演算処理する計測データ処理部１９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】高精度でなく安価な姿勢変更機構でも、被測定物を高精度に測定することができる形状測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗを載置したテーブル１４の姿勢を傾ける姿勢変更機構４を備え、プローブによって被測定物の形状を測定する形状測定方法。テーブル１４の被測定物載置面１４Ａに３つの基準球２１，２２，２３を互いに離間して配置し、この３つの基準球をプローブによって測定して各基準球の中心座標を求め、これら中心座標を含む姿勢変更前基準面を算出する。次に、姿勢変更機構を動作させてテーブルの姿勢を傾けたのち、３つの基準球をプローブによって測定して各基準球の中心座標を求め、これら中心座標を含む姿勢変更後基準面を算出する。そして、姿勢変更前基準面と姿勢変更後基準面とから姿勢変更機構により傾けられたテーブルの姿勢傾き量を算出する。 （もっと読む）

【課題】作業能率の一層の向上が図れる真円度測定機を提供する。
【解決手段】真円度測定機において、被測定物Ｗの測定部位に対応して用意された複数種のスタイラス３１を取出可能かつ格納可能に収容したスタイラスストッカ５０と、制御装置６０とを備える。制御装置は、測定指令が与えられた際、回転テーブル２０の回転駆動機構２３および検出器駆動機構４０の動作を制御しながら、被測定物の真円度測定を実行する測定実行手段と、スタイラス自動交換指令が与えられた際、検出器駆動機構を制御しながら、検出器３０とスタイラスストッカとの間でスタイラス交換動作を実行するスタイラス交換実行手段と、検出器自動ゲイン校正指令が与えられた際、スタイラスに予め設定された設定変位量を付与し、検出器によって検出されるスタイラスの変位と設定変位量とから検出器のゲインを校正するゲイン調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】プローブと被測定物との接触圧を従来よりもさらに微小に調整できる微小表面形状測定プローブを提供する。
【解決手段】微小表面形状測定プローブは、被測定物１と接触する接触子を２先端に有するプローブシャフトと、プローブシャフトに与える付勢力に対する反力が作用するようにプローブ本体に組み込まれた圧電センサと、圧電センサに作用する荷重を測定する荷重検出部と、荷重検出部により検出された荷重に基づいて、付勢装置による付勢力を調整する制御部と、接触子２を通して被測定物１との接触点へレーザ光を照射し、接触点で反射されたレーザ光を検出することで、接触子２と被測定物１との接触を感知する接触感知装置と、を備える。 （もっと読む）