【課題】測定時間の短縮が図れる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗを載置する回転テーブル２０と、被測定物の表面性状に応じた信号を発する検出手段３０と、回転テーブルおよび検出手段を相対移動させる検出器駆動機構４０と、検出手段からの信号を取り込み、この取り込んだ信号を処理して被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状を求める処理装置６０とを備える。検出手段は、複数の検出器３１，３２を含んで構成される。処理装置６０は、複数の検出器３１，３２からの信号を順番に取り込んで処理する。 （もっと読む）

【課題】電極の整形方法に関わらず、死角を生じることなく電極の先端形状の良否を正確に判別する。
【解決手段】電極Ｗの先端が嵌合する凹部３ａを有する着座部材３と、着座部材３に対して可動に取り付けられ、電極の正規の先端形状に対応した形状の受け面４ａ１を有する受け部材４とを備え、着座部材３の凹部３ａに嵌合した電極Ｗの先端に受け部材４の受け面４ａ１を当接させ、このときの受け部材４の着座部材３に対する相対的な位置に基づいて、電極Ｗの先端形状の良否を判別する。 （もっと読む）

【課題】測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出する。
【解決手段】測定物の真円度を測定する真円度測定装置における心ずれ量算出方法において、前記検出器を前記測定物に対して所定の方向に直線的に移動させる手段を備え、前記検出器の先端球を、直径値既知の異なる直径値Ｄ３、Ｄ４を有する２つの基準測定物Ｃ３、Ｃ４に対し、前記各基準測定物Ｃ３、Ｃ４の中心を通り前記検出器が水平に直線移動する方向に平行な直線である母線と平行に移動して前記各基準測定物の対向する２つの検出点で前記各基準測定物に接触させて測定を行い、各測定差を検出する工程と、前記各測定差に基づいて、前記各基準測定物Ｃ３、Ｃ４の母線と前記検出点とのずれ量である心ずれ量Ｙを算出する心ずれ量算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の位置測定装置、形状測定装置、位置測定方法、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】位置測定装置１０は、支持部材１４と、支持部材１４に上端部が固定され自由状態で垂直配置された光ファイバー１１と、光ファイバー１１の下端部に設けられた探触子１２と、光ファイバー１１の上下方向中間位置にあって光ファイバー１１の撓みを検知する光学振れ検知機構１５と、測定対象物２３を載せてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に測定対象物２３を移動させるＸＹＺステージ２５と、光学振れ検知機構１５及びＸＹＺステージ２５の制御部２６とを有し、光ファイバー１１は、光ファイバー１１を揺らす振動手段３０を介して支持部材１４に取付けられ、探触子１２がＸＹＺテーブル２５に載った測定対象物２３に当接した場合の光ファイバー１１の撓み量を光学振れ検知機構１５で検知し、測定対象物２３の特定部位の座標を検知する。 （もっと読む）

【課題】測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出する。
【解決手段】測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、直径値既知の基準測定物と前記検出器を前記基準測定物の母線と平行に相対的に移動して前記基準測定物の対向する２つの検出点でそれぞれ測定を行い、その測定差を検出する手段と、前記測定差に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段と、を備えたことを特徴とする真円度測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】プローブの撓みの影響を受けずに高精度の形状測定を行う。
【解決手段】プローブ先端部３に一体に平面ダイクロイックミラー１０及び球面ミラー１６を設ける。オートコリメータ光学系５により平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量を測定し、並進移動量測定光学系１２により球面ミラー１６のＸ，Ｙ軸方向のずれ量を測定する。ずれ量算出部４２ｂは、測定した平面ダイクロイックミラー１０の傾斜量及び球面ミラー１６のずれ量に基づいて、プローブ先端部３において被測定物４の表面に接触する接触点となる球１９の基準位置に対するＸ，Ｙ軸方向のずれ量を算出する。推定部４２ｃは、ずれ量算出部４２ｂにより算出されたずれ量から、プローブ先端部３の球１９のＸ，Ｙ軸方向の位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】心ずれ量を算出して補正することにより、基準測定物とは異なる直径値の測定物の直径値を正確に算出する。
【解決手段】測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、直径値の異なる複数の基準測定物２６−１、２６−２をそれぞれ測定し、その測定差を検出する手段と、前記測定差に基づいて、前記基準測定物２６−１、２６−２の母線と前記検出器の前記基準測定物に対する検出点とのずれ量である心ずれ量Ｙを算出する手段と、前記算出した心ずれ量Ｙに基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】気体を注入して膨らませるボールの直径及び真球度を簡単に、かつ、正確に測定できるようにする。
【解決手段】気体を注入して膨らませるボールの直径及び真球度を測定するためのボール測定具１は、ボールの規定の直径と同じ直径の円周を半分にした半円弧状に形成され、ボールの外周面を接触させるボール接触部１０ａ，２０ａを有している。 （もっと読む）

【課題】回折光学素子のように滑らかでない面の形状を高精度に測定する。
【解決手段】プローブを第１の走査軌跡に沿って走査させて第１の測定データを得る。次に、プローブを、第１の走査軌跡と所定の分解能の同じ範囲を通り、第１の走査軌跡と反対向きの走査方向を有する第２の走査軌跡に沿って走査させて第２の測定データを得る。これらの測定データの安定区間と不安定区間とを抽出する。そして、安定区間の測定データを選択し、選択後の測定データに基づいて面形状を演算する。これにより、滑らかでない面の形状を高精度に測定できる。 （もっと読む）

【課題】周期的な複数の設計段差を有する設計形状に基づいて形成された被測定面の測定データと設計形状とのフィッティングを高精度に行う。
【解決手段】被測定面の測定点列から段差領域と段差の高さとを特定する（Ｓ３）。そして、点列に対する段差高さの移動を行う（Ｓ４）。即ち、段差をなくすような処理を行い、段差のないフィッティング対象データを得る（Ｓ５）。一方、設計形状から複数の設計段差のない参照形状を取得する（Ｓ６、７）。そして、フィッティング対象データと参照形状とを、例えば最小二乗法などによりフィッティングする（Ｓ８）。フィッティング対象データと参照形状とから段差形状成分を除去しているため、フィッティングを高精度に行える。 （もっと読む）