【課題】一台で高抵抗薄膜の抵抗値と表面凹凸を正確に測定できる測定装置を提供する。
【解決手段】載置板１２をポリアセタール樹脂で構成し、裏面にガード電極５２を配置する。載置板１２上に配置した基板２３の表面に、円環電極４３と円盤電極４４とを接触させ、円盤電極４４を電流計４７を介してガード電極５２に接続し、ガード電極５２を接地させて、円環電極４３と円盤電極４４の間に電圧を印加し、電流計４７の検出結果から基板２３表面の高抵抗薄膜の抵抗値が測定される。ポリアセタール樹脂の抵抗値は高く、表面は平坦なので、基板２３の表面に触針を接触させながら移動させて、触針６３の変位を測定して基板２３の表面の凹凸も正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の真円度の測定を迅速かつ正確になすことができる真円度測定機を提供する。
【解決手段】 測定子１９を被測定物７の外周面に接触させた状態で、被測定物７を軸心廻りに回転させて、被測定物７の外周面の変位を変位測定器２により測定し、該測定結果の情報を管制部４に送信し、管制部４で前記情報により算出された結果により被測定物７の真円度の測定を行うようにした真円度測定機であり、機械テーブル３３に吸着解除可能に吸着されるマグネット吸着部３０とマグネット吸着部３０に対して移動調整可能とされた測定器取付部とを有するマグネットスタンド３を具備し、変位測定器２をマグネットスタンド３の測定器取付部に取り付けて、変位測定器２の測定子１９を被測定物７の外周面に接触させるようにした。 （もっと読む）

【課題】微細な孔内の形状測定が行えるとともに屈曲部分の干渉が回避できる接触式プローブおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】直径１００μｍ未満の微細孔内の形状等を測定するために用いられる接触式プローブ１０として、棒状のステム１１と、前記ステム１１に対して交叉方向へ延びるチップ１２と、前記チップ１２と前記ステム１１とを接合する接合部１３とを設け、前記ステム１１と前記チップ１２との間の挟み角αが９０度以下であるとする。 （もっと読む）

【課題】先端の曲率半径が小さいプローブを用いても、プローブで発生する誤差を好適に検出および補正することができる形状測定方法を提供する。
【解決手段】プローブを備えた接触走査式の形状測定センサを用いて被検物の表面形状を測定するための形状測定方法は、形状測定センサにより、被検物の中心軸を通る一断面における表面形状の点列データを取得する点列データ取得工程Ｓ４０と、点列データから誤差を除去する誤差除去工程Ｓ５０とを備え、誤差除去工程において、プローブの先端と被検物の表面との接触に伴う力によるプローブ先端部の変位に関する理論モデルを点列データに当てはめてプローブ変位誤差を取得し、プローブ変位誤差を点列データから除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細な孔内の形状測定が行えるとともに屈曲部分の干渉が回避できる接触式プローブおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】接触式プローブ１０は、棒状のステム１１と、ステム１１に対して交叉方向へ延びるチップ１２と、チップ１２とステム１１とで挟まれた部分に形成された切欠き状のピット１３とを有する。ピット１３は、ステムのチップが延びる方向の側面の延長線とチップのステムが接合された面の延長線との交点Ｃよりも深く形成される。 （もっと読む）

【課題】被測定物を取り付けるための回転テーブルの中心位置に測定子の中心が届かなくても、その被測定物の形状を測定する測定子を、高精度に校正することができる形状測定用測定子の校正方法を提供する。
【解決手段】回転テーブル１１上のワークの形状を測定する測定子２２の校正方法において、校正用の基準円筒３０を、軸間距離Ｌに位置するテーブル回転軸Ｃ周りに旋回可能に設け、測定子２２の半径ｒ、基準円筒３０の半径Ｒ及び旋回角度α_tに基づいて、測定子２２の理論中心位置Ｏ_L，Ｏ_Rを設定し、この理論中心位置Ｏ_L，Ｏ_Rに位置決めした測定子２２と、旋回角度α_tに旋回させた基準円筒３０とが接触する理論接触位置及び実接触位置を求め、これらの間の旋回角度誤差、軸間距離Ｌ、測定子２２の半径ｒ、基準円筒３０の半径Ｒに基づいて求めた位置誤差に応じて、測定子２２を校正する。 （もっと読む）

【課題】操作者の負担を増すことなく、最適な条件で精度の良い測定が可能な円形状特性測定方法、装置及びプログラムを提供することが可能となる。
【解決手段】円形状特性測定装置は、円形断面を有する被測定物の円形断面の輪郭形状を測定し測定データを得る形状測定機と、形状測定機で得られた測定データに対して転がり円処理及びフィルタ処理を行って得られた輪郭データに基づいて円形断面の円形状特性を算出する演算処理装置とを有する。演算処理装置は、フィルタ処理のカットオフ値、最小サンプリング点数、及び転がり円処理における円形断面の径と測定子の径の比からなる３つのパラメータのうちの１つを入力する入力装置と、３つのパラメータの関係を記憶し、入力されたパラメータから他の２つのパラメータを決定するパラメータテーブルと、最小サンプリング点数に基づいて測定データを間引き処理する間引き処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】
特に軟らかい試料を針とびがなく、かつ変形が少ない最適の条件で測定できるようにする触針式段差計の針飛び抑制方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の針飛び抑制方法は、試料の段差、探針の走査速度、探針先の曲率半径、探針先の形状、探針を試料に押し付ける力、変位センサを支える支点周りの慣性モーメント、及び支点と探針間の距離のパラメーターで決まる探針の飛びの大きさすなわち飛びの高さ、飛び時間、飛び時間中に進む距離を、前記パラメーターの関数として算出して、飛びが起きない条件を予め求め、前記パラメーターに基く測定条件に応じて探針を試料に押し付ける最小限の力を設定することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ２０の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ２０の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の１５Ｈｚ程度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】支点上でバランスする探針と変位センサで構成される触針式段差計の感度と変位分解能を向上させる方法及び該方法を実施している表面形状測定用触針式段差計を提供する。
【解決手段】Fを探針に加える力、Ｉを支点回りの慣性モーメント、ｒを支点−探針間の距離、ｚを探針の先端の変位、ｔを時間としたときに成り立つ、探針の先端の運動方程式Ｆ＝Ｉ／ｒ^２ｄ^２ｚ／ｄｔ^２に基づき、探針に加える力に応じて支点−探針間の距離ｒを決め、支点と探針の先端とを結ぶ線を水平より４５度傾け、探針の先端を下げる。 （もっと読む）