【課題】小型、安価で、高速の高精度測定が可能であり、工作機械における機上測定や搬送ラインでのインサイト測定が容易な、座標測定用ヘッドユニットを提供する。
【解決手段】座標測定用ヘッドユニット１０において、コンピュータ数値制御によりプローブ１２を互いに直交する複数の駆動軸に沿って移動させ、測定対象に当接させて測定対象の寸法を計測するための駆動手段（Ｘ軸駆動部１４、Ｙ軸駆動部１６、Ｚ軸駆動部１８）と、該駆動手段１４、１６、１８を収めるための一体化された筐体１３と、該筐体１３のいずれかの側面に設けられた、前記駆動手段１４、１６、１８のいずれか一つを支持体（ベース３０に固定されたスタンド３２上のサポート３４）に取付けるための取付手段（取付面２０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】１回の走査で精度よく測定対象表面の３次元表面形状を算出することができる３次元表面形状算出装置を提供する。
【解決手段】３次元表面形状算出装置１は、センサ基台６と、先端に球形状を１方向に移動できる変位センサ２と、原点を定めた３次元空間で平面方程式算出点２２を囲む３点の接触点に変位センサ２を接触させてセンサ基台６を移動させる演算部８とを備え、演算部８は、センサ球２の移動距離である変位信号２００およびセンサ基台６の原点からの方向ならびに距離を用いて３点の球中心座標を求め、１点の球中心座標から他の２点の球中心座標へ向かう２つのベクトルの外積である法線ベクトルの単位ベクトルに球形状の半径を乗したベクトルを求め、このベクトルを球中心座標に加えて接触点の座標を求め、この接触点の座標が囲む平面方程式を算出する。 （もっと読む）

【課題】測定物の上面も側面も１０〜１００ナノメートルの超高精度で走査測定できる三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】上面スタイラス１ａは、エアスライド１ｃによりＸＹ方向には振れずに測定物の上面を走査測定でき、第１のミラー１ｂとレンズ２ｄｅによりＺ座標も精度良く測定でき、側面スタイラス２ｉａは、ＸＹ方向にのみ変位可能でＺ方向には振れないので測定物の側面を走査測定でき、側面スタイラス２ｉａのＺ座標測定は前記第１のミラー１ｂのＺ座標測定値を利用して、より高精度に側面スタイラスのＸＹ変位を傾斜角度測定部２ｊで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】プローブの構成に関係なく、先端にかかる負荷を高感度に検出することができる形状測定センサを提供する。
【解決手段】被検物の表面形状を測定するための形状測定センサは、自身の軸方向に摺動可能に支持され、軸方法に摺動することにより被検物の表面形状に追従するプローブ１１と、プローブに向かって流体を供給しつつ、プローブを軸方向に摺動可能に支持する静圧軸受１２と、流体の動態の変化を監視することにより、プローブの先端部にかかる負荷を検出する加速度センサ１６とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の解決すべき課題は、真円度測定機の機構を用い、被検球体の真球度、形状を効率よく測定することにある。
【解決手段】
回転テーブル１４と、
該回転テーブル１４と平行な赤道面上での被検球体輪郭を、回転テーブル１４の回転に伴い測定するプローブ２２と、
前記回転テーブル１４上に載置され、被検球体３０を保持する被検球体保持手段２４と、を備え、
前記被検球体保持手段２４は、被検球体３０の中心を前記回転テーブル１４の回転軸上に位置させ、かつ該被検球体３０を前記回転テーブル面に対して、正弦が１／√３となる角度を中心として±５度の範囲で傾けた傾斜軸線上で回転可能に保持することを特徴とする球体形状測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】ロータリーカップリングによって下ハウジングを上ハウジングに対して連続的に回転させることを可能とするプローブヘッドを提供する。
【解決手段】測定プローブ２を支持する連結手首を有し、プローブを２つの回転軸Ａ、Ｂのまわりに回転させるプローブヘッド６であり、ヘッドは装置と接続するための上ハウジング１０と回転可能に接続し、第１モータＭＢによって上ハウジングに関して第１軸Ｂまわりに連続的に回転することができる、下ハウジング１２と測定プローブに回転可能に接続し、第２モータＭＡによって下ハウジングに関して前記第１軸を横切る第２軸Ａまわりに回転することができるキャリジ１４と、第１軸まわりの連続的な回転を可能として少なくとも第２モータのための電力経路ａを提供するロータリーカップリング９０と、を具えた。 （もっと読む）

【課題】短時間で簡易にレンズ計上を測定することのできる測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 レンズ基板を載置固定するステージと、レンズ基板の表面を検出する変位センサを備え、同一直線上に並んで配列された複数のプローブと、を含むレンズ形状測定装置とする。 （もっと読む）

【課題】公知のゲージの欠点を克服した、機械部品の直径および形状誤差を検出するプラグゲージとしての検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置は、２つ以上の数のフィーラ３６と、前記フィーラ３６の測定方向に沿った相互移動を示す電気信号を生成する位置トランスデューサ３７とを備える検査装置であって、適合システムが前記フィーラ３６のうち少なくとも１つのフィーラ３６と結合され、前記少なくとも１つのフィーラ３６を、前記測定方向と垂直な適合方向に実質的に沿って動かすことができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物全体が加圧された状況下での変形状態を形状データと分布圧力データとして瞬時に測定する装置を提供する。
【解決手段】ベース４０と、前記ベース４０の上部に取り付けられた面圧シート１０と、前記面圧シート１０の上部に複数取り付けられたプローブピン２０と、複数の前記プローブピン２０を各々覆うように取り付けられた複数のガイド筒３０から構成されており、前記プローブピン２０は下側ピン２２と前記下側ピン２２を覆うように配置されたプローブカップ２４と前記下側ピン２２とプローブカップ２４の間に挟まるように配置された弾性体とから構成されており、前記面圧シート１０と前記下側ピンと２２が接触している。 （もっと読む）

【課題】プローブの運動の履歴に基づく測定誤差を補正することができ、測定精度を向上させることができる形状測定装置の提供。
【解決手段】形状測定装置１は、装置本体２と、装置本体２を制御する制御手段３とを備える。装置本体２は、プローブ４を備え、プローブ４は、被測定物に接触する測定子を先端側に有する棒状のスタイラス４１と、スタイラス４１の基端側を支持する支持機構４２とを備える。支持機構４２は、スタイラス４１の位置を検出するプローブセンサ４２１を備え、スタイラス４１を一定の範囲内で移動可能に支持する。制御手段３は、プローブセンサ４２１にて検出されるスタイラス４１の位置を入力とし、測定子、及び被測定物の接触する位置を出力とする伝達関数に基づいて、測定値を算出する。 （もっと読む）