【課題】変位センサ等に影響を与えずに、蓋部材の着脱を簡単にすることができる触針式表面形状測定器を提供する。
【解決手段】触針式表面形状測定器は、差動トランスを支持する第一支持部材２及び探針１６を支持する第二支持部材１５を収容する収容ケース１を設け、ケース本体１ａと、蓋部材１ｂとから成り、前記ケース本体１ａに、２つの蓋固定用磁石を、それらの磁極が互いに反対向きになるように隣接して配置すると共に、前記蓋部材固定用磁石の側面及び一端面を囲むように強磁性体材料から成る周囲壁を設け、前記蓋部材１ｂにおける、ケース本体１ａに装着した時に前記蓋部材固定用磁石に対面する位置に、強磁性体材料から成る被吸着部を設け、蓋部材１ｂをケース本体１ａに装着した時に、ケース本体１ａの周囲壁と前記蓋部材１ｂの被吸着部とで前記蓋固定用磁石の周囲が囲まれる。 （もっと読む）

【課題】
特に軟らかい試料を針とびがなく、かつ変形が少ない最適の条件で測定できるようにする触針式段差計の針飛び抑制方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の針飛び抑制方法は、試料の段差、探針の走査速度、探針先の曲率半径、探針先の形状、探針を試料に押し付ける力、変位センサを支える支点周りの慣性モーメント、及び支点と探針間の距離のパラメーターで決まる探針の飛びの大きさすなわち飛びの高さ、飛び時間、飛び時間中に進む距離を、前記パラメーターの関数として算出して、飛びが起きない条件を予め求め、前記パラメーターに基く測定条件に応じて探針を試料に押し付ける最小限の力を設定することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】平面視で直線的な測定経路内に障害部分のある被測定物でも、障害部分に妨げられることなく測定を行えるようにする。
【解決手段】被測定物（Ｂ）の表面（Ｈ）に接触されるスタイラス（３０、３２）を有するスタイラスアーム（２２）を備え、該スタイラスアームを平面視で１つの軸線に沿って駆動することにより、スタイラスが被測定物の表面の凹凸に従って上下動することに基づいて当該被測定物の表面の粗さや形状を測定する輪郭形状測定装置に用いられるスタイラスアーム。このスタイラスアームは、細長いアーム部（１９）と、該アーム部の長さ方向で間隔をあけて設けられ、それぞれ、被測定物の表面に接触可能とされた接触端を有する第１及び第２のスタイラス（３０、３２）とを有する。 （もっと読む）

【課題】ワークの三次元形状の計測を、インラインで、かつ小型、低コストにて、しかも高精度に行なうことのできる三次元形状測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】三次元座標が既知のマスタＭを用いてワークＷの三次元形状を測定する方法（比較測定技術を用いる測定方法）を適用して、インラインでの使用を可能とし、構成の小型・低コスト化を可能とした。マスタＭ及びワークＷを同一の三次元座標系に固定し、それらを、相互位置関係を変えることなく同時に走査させながらワークＷの三次元座標を繰り返し測定するようにして、比較測定技術を用いる測定方法でありながらワークＷの三次元形状測定を高精度化した。 （もっと読む）

【課題】マスターボールによるスタイラス先端座標の校正を行うことができる表面形状測定プローブおよびその校正方法を提供すること。
【解決手段】表面形状測定プローブ３０のスタイラス３１の近傍に校正用接触子３５を装着し、スタイラス３１の先端と校正用接触子３５とのオフセットＯＦＳを測定し、校正用接触子３５で三次元測定機の基準器であるマスターボール１７を測定して校正用接触子３５の座標位置を割り出し、校正用接触子３５の座標位置にオフセットＯＦＳを加算してスタイラス３１の先端の座標位置を割り出す。 （もっと読む）

【課題】定常状態で測定が行えるとともに、複数の断面形状が直接測定できる断面形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 接触式のプローブ１７を用いてワーク３０の複数の測定位置Ｓ１，Ｓ２，…での断面形状Ｆ１，Ｆ２，…を測定する断面形状測定方法であって、測定位置Ｓ１，Ｓ２，…を通りかつワーク３０を一巡する経路に沿ってプローブ１７を移動させる際に、プローブ１７を測定対象物の一周分である測定区間Ｅｎに所定の重複区間である加速区間Ｅａおよび減速区間Ｅｄだけ長い距離を加えて移動させるとともに、次の測定位置へとプローブ１７を移動させる際の変移経路Ｅｍとし、プローブ１７の移動方向を断面形状が隣接する連続方向Ｌに対して傾斜させて重複区間分を相殺する。 （もっと読む）

【課題】表面形状の設計値が複数の関数によって定義される場合にも、測定データのアライメント補正を行った上で被測定体の表面形状の設計値からのずれ量として測定することができるようにする。
【解決手段】表面形状の設計値を複数の関数で定義する形状定義工程（Ｓ１）と、表面形状の測定データを取得するデータ取得工程（Ｓ２）と、測定データを関数の定義域ごとの部分群に区画するデータ区画工程（Ｓ３）と、部分群による表面形状の設計値からのずれ量を表す移動パラメータを推定する解析工程（Ｓ４、Ｓ７、Ｓ１１）と、この移動パラメータを用いて測定データのアライメント補正を行って、補正済測定データを生成するアライメント補正工程（Ｓ５、Ｓ８、Ｓ１２）と、補正済測定データと複数の関数との偏差を形状誤差として算出する形状誤差算出工程（Ｓ１３）と、を備える形状測定方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】被計測物の周囲の形状を手軽に計測する。
【解決手段】バンドは、互いに平行な連結軸であるジョイントを介して複数のパネルが連結され、ジョイントを軸にして隣接するパネル間の角度であるパネル間角度を調節可能である。各ジョイントには、パネル間角度を検出する角度センサが設けられている。そして、検出された各パネル間角度に基づいて、バンドが装着された被計測物の周囲の少なくとも一部の形状である周囲形状が計測される。本技術は、例えば、腹囲計測装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】エンジンのシリンダブロック等の貫通穴の内周面を簡便に測定する内周面測定装置を提供する。
【解決手段】内周面測定装置１は、測定スピンドル２９と第１支持部５と第２支持部１７とガイドブロック４８とを有する。第１支持部５及び第２支持部１７はシリンダブロック２の両端面に着脱自在に取付られ、シリンダブロック２の貫通穴３に挿通された、測定スピンドル２９を回転自在に支持する。測定スピンドル２９は、円筒形状であり、内面３２を切欠いて回転軸３０の方向に略平行にのびるスリット３３を有する。測定スピンドル２９の内側に配置されるガイドブロック４８には、貫通穴３の内周面４を計測する変位センサ５１が固定される。ガイドブロック４８は、スリット３３に係合し回転軸３０に沿って測定スピンドル２９内を手動でスライド移動する。任意の測位位置において測定スピンドル２９を手動で回転させて、内周面４の形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】探針の交換を、支点を傷めずに、片手でワンタッチで行うことができる触針式表面形状測定器用の探針交換用冶具を提供する。
【解決手段】探針交換用冶具は、触針式表面形状測定器に下方から装着可能なハウジングを備え、ハウジングが測定器に装着された時に、測定器の第一支持部材２に接触して、第一支持部材２を下方から持ち上げて、支点用針５を支点支持面から離間させる押上面２６ａをハウジングに設け、ハウジングに、探針と共に測定器の第二支持部材を取り外す探針交換部材２１を上下方向に移動可能に設け、探針交換部材２１の上端に磁石２２を配置し、ハウジングを下方から測定器に装着した状態において、探針交換部材２１がハウジングに対して最上位置にある時に、磁石２２で第二支持部材の高透磁率部材１７を吸着し、そのままの状態で、探針交換部材２１を下方に下げることにより第二支持部材を第一支持部材２から取り外すように構成する。 （もっと読む）