【課題】半導体製造装置の配管を流通する全ガス流量が大きく変わった場合でも常に最適な検出精度で流量検出を行える様にする。
【解決手段】半導体製造装置の配管１に流量検出装置２が設けられ、該流量検出装置がガス導入路１６とガス導入路に対して並列に設けられた調整流路１３，１４，１５を具備する流量調整部とを有し、前記ガス導入路にガス流量検出器７を設け、前記ガス導入路を流通するガス流量が所定範囲となる様、前記調整流路の流路断面積を変更可能とした半導体製造装置に係り、又前記流量検出装置は複数の調整流路を有し、該複数の調整流路は独立して開閉され、ガス導入路を流れるガス流量を流量検出器の検出適正流量とすることで、配管の全ガス流量が大幅に変化したとしても流量検出器の持つ最適精度で流量検出を行う。 （もっと読む）

【課題】 ＬＰガスメータの電源装置として頻繁な電池交換を不要とする。
【解決手段】 ＬＰガスメータ３の電源として二次電池９を設ける一方、ＬＰガスボンベ１のガス出口部１１と配管５との間には、二次電池９を充電するための熱電発電ユニット１３を設ける。熱電発電ユニット１３は、温度差により起電力が発生するゼーベック効果を利用するもので、ハウジング内流路の内壁に熱電素子を設置している。ＬＰガスは、使用時に気化熱が発生して外気温度より温度低下し、この両者間の温度差に基づいて熱電発電ユニット１３が発生する起電力により二次電池９を充電する。 （もっと読む）

【課題】 ガスメータ等の駆動電源としてのバッテリーの交換を行う必要のない駆動電源装置を提供すること。
【解決手段】 測定管２の内部に流体物質、例えば被測定物としてのガスを流し、このガスの流量を測定するようにした流量計３と、測定管２の内部に流れるガスの流体エネルギーによって発電される発電手段４とが具備されており、発電手段４によって得られる電気出力を、流量計３を駆動するためのバッテリー５への充電電力として使用するように構成されている。従って、バッテリー５に対しては発電手段４によって常に充電が成され、バッテリー５の放電により交換を行う必要のない流量計が実現できる。 （もっと読む）

【目的】 流速センサを併用したフルイディック流量計において、流量がある状態で、正確に流速センサの零点補正を行うことができるようにする。
【構成】 流量計は、フルイディック素子３０に基づいて流量を計測中であり且つ流量が所定のしきい以上のとき、すなわちフルイディック素子３０のみを用いて流量を計測するときに、フルイディック用遮断弁２１によってフルイディック用流路１５を開き、フローセンサ用流路１７内に設けられた逆止弁２０によってフローセンサ用流路１７に気体が流れない状態として、フローセンサ用流路１７内に設けられたフローセンサ１９の零点補正を行う。 （もっと読む）

【目的】 流量計のマイクロコンピュータなどの各部に対して電力を供給するための一次電池や蓄電池の消費電力を少なくして、その寿命を長くする。
【構成】 入口部１１からノズル部２１に到る流体流路の適所、例えば入口部１１の近傍に、流体の流れに応じて電力を発生させるための発電部４０が設けられている。この発電部４０において発生した電力を補助電力としてマイクロコンピュータ５１，フローセンサ３５などに供給する。 （もっと読む）

【目的】 プロペラの空転を容易且つ確実に防止でき、これによってプランクトンネットを通過する全水量を正確に計測することができる。
【構成】 プランクトンネットに固定される外筒１４内のプロペラ１６の回転数によって、プランクトンネットを通過する全水量を演算するための水量演算手段とからなる濾水計であって、外筒１４の外面に軸支されたレバー１７と、レバー１７の一端部に取り付けられた、レバー１７の一端部に押上げ力を付与するためのスプリング１９と、プランクトンネットの開口面部分に取り付けられた浮体と、レバー１７に固定された、プロペラ１６の回転面に対して出入り可能なストッパー２３とからなり、前記浮体とレバー１７の他端部とはロープ２４によって連結されている。前記浮体による浮力が生じなかった場合に、ストッパー２３がプロペラ１６の回転面内に入り込んでプロペラ１６の回転を阻止する。 （もっと読む）