【課題】ワークピースの熱処理のための方法およびシステムを提供する。
【解決手段】１つの方法は、ワークピースの第１の表面から熱的に放射される放射の現在の強度を測定することと、現在の強度および第１の表面の少なくとも１つの先の熱特性に応答して、第１の表面の現在の温度を識別することと、を含む。ワークピースは半導体ウェハを含み、第１および第２の表面はそれぞれウェハの装置および基板側を含む、ことが望ましい。装置側の現在の温度は、装置側が、例えばウェハの熱伝導時間より短い持続時間を有する照射フラッシュによって照射されている間に識別されることが望ましい。装置側温度は、先の装置側温度に応答して識別してもよく、先の装置側温度とは異なる基板側の先の温度およびウェハの温度履歴に応答して識別してもよい。 （もっと読む）

【課題】事前に赤外線カメラの欠落素子の位置を把握するための赤外線カメラの欠落素子位置を特定する装置および方法を得る。
【解決手段】監視領域の温度状態に応じた信号を検出する複数の素子で構成された赤外線カメラにおいて、複数の素子の一部に、正常な信号を検出できないために隣接する正常な素子のデータを転用して出力する欠落素子が含まれている場合に、赤外線カメラで撮像することで得られた温度状態の異なる複数の画像データのそれぞれについて、隣接する画素に同一の計測値を有する画素を１としてマッピングし、すべての画像データに共通して１とマッピングされた画素に対応する素子を欠落素子として特定する制御部（１１、１２）を備える。 （もっと読む）

【課題】通常の方法では測定困難な条件下である、炉内に装入された原料の混合率の測定のような場合においても、混合物の混合率を計測可能な、混合物の混合率計測方法を提供すること。
【解決手段】放射率が異なる２種類の物質の各々の放射率の値と、前記放射率が異なる２種類の物質からなる混合物の放射率の値とを用いて、前記混合物の体積混合率を求めることを特徴とする混合物の混合率計測方法を用いる。放射率として、放射温度計で測定した放射温度計表示温度を用いめること、放射率が異なる２種類の物質からなる混合物の放射温度計表示温度と、前記混合物の実際の温度との差を用いて、混合物の体積混合率を求めること、混合物の実際の温度として、雰囲気温度を用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】半導体加熱装置において、赤外放射温度計が、半導体加熱装置によって加熱されるウエハの温度をより正確に測定できる温度測定用ウエハ及び温度測定方法を提供する。
【解決手段】半導体加熱装置１において、物体から放射される赤外線の強度を測定して温度を測定する赤外放射温度計４０を用いて、炭化珪素からなる基板２０ａと、基板２０ａの表面に形成された反射防止膜２０ｂとからなり、反射防止膜２０ｂは、炭化珪素からなり、反射防止膜２０ｂの表面粗さは、Ｒａ０．８μｍ以上である温度測定用ウエハ２０の温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】通常の方法では測定困難な条件下である、炉内に装入された原料の混合率の測定のような場合においても、混合物の混合率を計測可能な、混合物の混合率計測方法を提供すること。
【解決手段】熱拡散率が異なる２種類の物質からなる混合物について、前記混合物を加熱した際の温度変化を計測し、該計測結果の伝熱解析により得られる前記混合物の平均熱拡散率と、前記２種類の物質の各々の熱拡散率とを用いて、前記混合物の質量混合率を算出することを特徴とする混合物の混合率計測方法を用いる。放射温度計を用いて温度変化を計測すること、高炉内に装入された状態での原料の混合率を計測することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】連続焼鈍設備の加熱炉の温度を送り込まれる冷延鋼板の放射率に応じて適切にフィードフォワード制御することができ、鋼板温度のばらつきに起因する品質不良を抑制することができる連続焼鈍設備の加熱炉の板温度制御方法を提供する。
【解決手段】連続焼鈍設備の加熱炉１の入側に設置されたルーパ５よりも手前側において測定器６により鋼板表面の反射率を測定し、測定された反射率から鋼板表面の熱吸収特性を示す放射率を演算する。その値をトラッキングし、冷延鋼板の測定部位が加熱炉１に入るタイミングに同調させてバーナ３の出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウエハの表面温度を放射率に依存することなく精密に放射温度計測することを可能にする。
【解決手段】高温高速放射温度計用参照光源装置であって、光源用材料として貴金属箔からなるリボン２を使用し、このリボンに電流を流して光源とすると共に、該光源の前方部に、２枚のレンズ３をそれぞれの焦点距離の和の間隔を置いて配置し、かつそれぞれのレンズの焦点位置にチョッパ４を配置することを特徴とする光源装置。次世代ウエハ熱処理工程として開発中のフラッシュランプアニール法（ＦＬＡ）やレーザーアニール法（ＬＡ）において処理されるシリコンウエハの表面温度を放射温度計測するための高温高速放射温度計用参照光源装置を提供することが可能である。 （もっと読む）

【課題】放射率を増加させた放射体とその製造方法を提供する。
【解決手段】全体構造のサーマル放射率を増加させるのに役立つ薄膜コーティングを有する放射体１０は、基板１２、アモルファスカーボン層１６、及び前記基板１２と前記アモルファスカーボン層１６の間に挿入された金属化カーバイド形成層１４を備えている。さらに、放射体を製造する方法は、基板上に金属化カーバイド形成層を形成する工程、及び前記金属化カーバイド形成層上にアモルファスカーボン層を形成する工程を備える。 （もっと読む）

本発明は、食肉のようなタンパク質含有物質片の深部温度を測定するためのマイクロ波ラジオメトリ検出器に関する。
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【課題】
誘導加熱調理器における、赤外線センサユニットからのコネクターの外れ防止、及び、基板の破損防止。
【解決手段】
赤外線センサと第１のコネクターが実装された基板と、第１のコネクターと接続する第２のコネクターが設けられた信号線を有する赤外線センサ装置と、信号線を通す開口が形成され、前記赤外線センサ装置を内部に収納するケースを有し、ケースには突起部が形成され、該突起部は、前記赤外線装置が前記ケースに取付けられた状態において、第２のコネクターの第１のコネクターからの抜き方向に位置する端面に接触して、又は、若干のクリアランスを介して位置していることを特徴とする赤外線センサユニットを誘導加熱調理器に用いればよい。 （もっと読む）