【課題】焦電素子を用いた構造で薄型化が図られた、赤外線センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板２上には、チタン酸ジルコン酸鉛からなる薄膜状の焦電素子１４が設けられている。薄膜状の焦電素子１４は、ゾルゲル法により形成することができる。ゾルゲル法では、粉体原料の焼結により焦電素子１４を形成する手法と比較して、焦電素子１４の厚さを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ベース部材にリング部材を接着したユニット部材の全数検査に適用可能であり、より短い検査時間にてより適切に接着状態を検査することができる接着状態検査装置を提供する。
【解決手段】円筒状の本体部の一方の開口端にフランジ部１１Ｆが形成されたベース部材１１におけるフランジ部１１Ｆに、フランジ部の径に対応した径を有して中央部が開口した円板状であるリング部材１２を、接着剤を用いて接着したユニット部材１０の接着状態を検査する接着状態検査装置２０において、ユニット部材を固定する固定手段２１と、固定手段にて固定されたユニット部材を超音波加振する加振手段２２と、加振手段にて加振されたユニット部材におけるリング部材の表面温度分布状態を示す画像を撮像可能な撮像手段２３と、撮像手段にて撮像された画像を解析して得られた温度分布に基づいてリング部材の接着状態を判定する画像処理手段２４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】入射した赤外線を効率良く吸収し、得た赤外線エネルギーを効果的に利用できる赤外線検出素子及び赤外線検出装置を提供する。
【解決手段】温度の上昇により自発分極の値が変化し、表面電荷を生じる焦電体２と、焦電体２の上面に配置された上部電極３と、焦電体２の下面に配置された下部電極４を有する焦電素子１０，１１，１２から成る焦電素子層が上下に配置された、２層以上の焦電素子層を含む赤外線検出素子１００を構成する。また、この赤外線検出素子１００を備えた赤外線検出装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】航空機の運航上有用な特定対象を操縦士が容易に認識できるように赤外線画像を表示することができる赤外線撮像装置及び赤外線画像の表示方法の提供。
【解決手段】航空機に搭載される赤外線撮像装置であって、前記航空機に固定され、被写体から放射される赤外線を検知する検知部と、前記検知部から順次出力される信号に基づいて前記被写体の二次元の温度情報を生成する処理部と、前記二次元の温度情報に基づく赤外線画像を表示する表示部とを少なくとも備え、前記処理部は、前記二次元の温度情報に基づいて前記被写体から予め設定した特定対象（稜線などの指標となる対象、電線や他の航空機などの障害物となる対象）を抽出し、前記被写体の前記特定対象以外の温度情報を予め定めた一定の低い値に設定して、前記特定対象を識別可能にする。 （もっと読む）

【課題】 アームの強度を高め、アームから熱の散逸を低減し、あるいはアーム上の配線の断線も防止できる熱型光検出器を提供すること。
【解決手段】 熱型光検出器１０Ａ〜１０Ｄは、検出素子３０と、検出素子を支持する支持部材４０，１００，２００，３３０とを有する。支持部材は、検出素子を搭載する搭載部材５０とそれに連結されたアーム６０と、配線層８０とを含む。アームは、搭載部材かに連結されたアーム基端部６２と、アーム基端部に連結されたアーム本体部６４とを含む。アーム本体部はアーム基端部から第１延在方向に延び、アーム基端部は搭載部から第１延在方向に延びる。アーム本体部は第１幅に形成され、アーム基端部は第１幅よりも広い第２幅に形成される。第２幅のアーム基端部及び第１幅のアーム本体部が延びる第１，第２延在方向は交差している。 （もっと読む）

【課題】 光吸収膜にて吸収されなかった光を効率よく反射させて光吸収膜に導き、熱型光検出器の検出感度を高めること。
【解決手段】 熱型光検出器１０Ａ〜１０Ｄは、凹部２２の底面が光反射曲面２４となる基板２０と、光吸収膜３２を含む熱型光検出素子３０と、熱型光検出素子を支持する支持部材４０とを有する。基板２０と支持部材４０とは空洞部５０を介して熱分離される。平面視において、光反射曲面２４と光吸収膜３２とが重なり合い、かつ、光反射曲面２４の平面視での投影面積は光吸収膜３２よりも広く形成されている。入射光のうち光吸収膜３２にて吸収されなかった光は、光反射曲面２４にて反射されて、光入射方向とは逆向きの反射光経路を辿って光吸収膜３２に吸収されることで、光検出感度が向上する。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出器における熱容量の低減と、機械的強度の確保とを両立すること。
【解決手段】 熱型光検出器は、基板に支持されている支持部材５０を含み、支持部材５０は、熱型光検出素子を搭載する搭載部５１と、一端が搭載部に連結され、他端が基板に支持された少なくとも一本のアーム部５２と、を有し、搭載部および少なくとも一本のアーム部に含まれる第１アーム５２ａ、の少なくとも一方は、基板側に設けられる、横断面形状の横幅が第１幅に設定されている第１部材４１と、熱型光検出素子側において第１部材に対向して設けられ、横断面形状の横幅が第１幅に設定されている第２部材４５と、第１部材と第２部材とを連結すると共に、少なくとも一つの横断面の形状の高さが所定高さに設定され、その横幅が第１幅よりも小さい第２幅に設定されている第３部材４３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 熱コンダクタンスを低減させる連結構造または支持構造の加工に最適なＭＥＭＳの製造方法等を低起用すること。
【解決手段】 固定部６０上に形成された、第１空洞部３０を有する被エッチング層２２を加工するＭＥＭＳの製造方法は、被エッチング層２２の露出面のうち、被エッチング層２２が第１空洞部３０に臨む少なくとも側壁２２Ａに、マスク層２４を形成する第１工程と、マスク層２４の表面２４Ａ側の第１空洞部３０内に供給されたエッチャントを、マスク層２４の裏面２４Ｂ側に導いて被エッチング層２２を等方性エッチングして、第１空洞部３０に連通する第２空洞部３２をマスク層２４の裏面２４Ｂ側に形成して被エッチング層２２を加工する第２工程とを有する。被エッチング層２２はアンダーカット形状またはアーチ形状に加工される。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出素子を支持する支持部材についての熱容量の低減と、製造工程において必要となる機械的強度の確保と、を両立させること。
【解決手段】 熱型光検出器の一実施形態は、基板ＢＳと、光吸収膜４を含む熱型光検出素子５と、熱型光検出素子５を支持すると共に、基板ＢＳに支持されている支持部材５０と、基板ＢＳおよび支持部材５０の少なくとも一方から他方に向けて突出する少なくとも一本の補助支柱（５７ａ，５７ｂ）と、を含み、少なくとも一本の補助支柱（５７ａ，５７ｂ）の突出全長Ｌ０は、基板ＢＳと支持部材５０との間の最大距離Ｌ１よりも小さく設定されている。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面形状に起因した反射成分による温度測定誤差を局部的に補正をすることができる赤外線温度測定装置を提供する。
【解決手段】赤外線エネルギと可視光線とから測定対象物Ｄの温度分布を演算する温度分布演算部３０を備えた赤外線温度測定装置１０であって、可視光線から可視光画像を生成する画像生成部と、可視光画像の各画素の輝度値の度数分布を演算し度数分布の度数のピークとなる輝度値を基準輝度値として演算する基準輝度値演算部と、基準輝度値よりも輝度値が大きい可視光画像の画素を抽出する画素抽出部と、抽出画素の輝度値に対する基準輝度値の比を輝度比として演算する輝度比演算部と、抽出された画素に輝度比を割り当てその他の画素に輝度比として１を割り当てマスクを作成するマスク生成部と、マスクを用いて赤外線画像の各画素の温度に輝度比を乗じて赤外線画像の各画素の温度を補正する温度補正部とを備える。 （もっと読む）