【課題】 周囲温度変化の影響を受けず、精度の良い圧力および温度の検出を可能とする弾性表面波デバイスを提供する。
【解決手段】 半導体基板の一部を薄肉に形成し弾性表面波素子が形成された弾性表面波デバイスであって、異なる周波数を励振する弾性表面波素子２０，２１と、それぞれを励振させる発振回路３１，３６と、それぞれの発振周波数を電圧に変換し出力するＦ／Ｖ変換回路３２，３７と、基準となる温度と圧力における発振周波数に関するデータおよび温度係数と圧力係数に関するデータが記憶された記憶装置３４と、発振周波数に関するデータを比較しその差分を出力する比較回路３３，３８と、比較回路３３，３８から出力されるデータおよび記憶装置３４から出力される温度係数と圧力係数に関するデータに基づき、温度および基準となる温度における圧力のデータを演算して出力する演算回路３９を備える。 （もっと読む）

【課題】 板状の圧電片の表面に当該圧電片を励振させる箔状の電極とを備えた圧電振動子において、高温状況下においても電極の劣化を抑えることができる圧電振動子を提供すること。また高温の温度測定に好適な温度センサを提供すること。
【解決手段】 前記電極は、圧電片の表面に形成され、クロム、チタン、ニッケル、アルミニウム及び銅から選ばれる少なくとも一種または前記圧電片に対する密着性がこれら金属と同等の第１の金属層と、この第１の金属層の表面に形成された金あるいは銀からなる第２の金属層と、この第２の金属層の表面に形成されたクロムからなる第３の金属層と、からなる。この圧電振動子を用いた温度センサは、３００℃以上の高温領域においても高精度に温度測定することができる。 （もっと読む）

路上安全性を高めるために、タイヤの走行条件、特に物理的パラメータの制御が推奨される。本発明は、種々の要因、例えばタイヤの温度及び圧力を測定するセンサに関する。センサは、車両の地面接触手段、特に製造中、タイヤのゴム中に組み込み可能な受動式のハイブリッド共振構造体である。
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開口３が形成され、当該開口を完全に覆うように基板４が設けられたベース２ａを備える、表面弾性波に基づく圧力センサである。基板４は、開口３の周縁に液密なシールを形成するようにベース２ａに接着される。第１のＳＡＷ共振器５は、基板４上のうち、開口３を覆う領域の完全な内側に設けられ、一方、２つのさらなるＳＡＷ共振器６，７は、基板の撓みにより生じるひずみ場から完全に切り離されるように、基板上のうち、下にあるベース２ａへの接着により強化された領域の完全な内側に設けられる。 （もっと読む）

非接触式の弾性表面波に基づくトルク・温度センサは、Ｙ＋３４°カットの水晶で形成される共通基板１上に設けられた３つの弾性表面波共振器（ＳＡＷ）２，３，４を含む。第１のＳＡＷ２は、基板のＸ軸に対して＋４５°で傾く主軸を有する。基板のＸ軸は、使用中において、トルクが測定されるものの長手方向軸に一致するか、垂直となる。第２のＳＡＷ３は、基板のＸ軸に対して−４５°で傾く主軸を有する。第３のＳＡＷ４は、各ＳＡＷが平行とならないように、第２および第３のＳＡＷの両方の主軸に対して、主軸が好ましくは０〜３０°の範囲内の角度で傾くように配置される。第３のＳＡＷ４は、温度測定を可能にする。 （もっと読む）

計測センサが、センサおよび／または識別ユニットとしての少なくとも１つのＳＡＷ素子（２０）を有し、該ＳＡＷ素子が、実質上同軸導体を形成するハウジング部分（１０）内に無接点で内蔵されている。該ハウジング部分（１０）は、接続ケーブルのシールド（１３）に接続されており、該接続ケーブルの信号導体（１２）が、無接触で少なくともほぼ中央にＳＡＷ素子（２０）の表面結合構造部にわたって延設されている。近傍界結合を改良するために、ＳＡＷ素子（２０）の表面結合構造部が、前記信号導体（１２）の両側に配置された、追加的な結合を行う部分構造部を有し、該部分構造部が、好ましくは少なくとも１つの導線路を備え、ＳＡＷ素子（２０）の周囲領域を少なくとも大部分包含し、焦電電荷用の内蔵放電ループとして機能する。
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【課題】 外部要因が発振周波数に与える影響が少なく、また温度補償が容易な振動子を使用し高い精度のQCM測定を可能とする水晶マイクロバランスセンサー装置を提供する。
【解決手段】 水晶振動子の電極表面に吸着膜を設け、同膜に吸着する物質の質量を同振動子の発振周波数の変化として検出する水晶マイクロバランス（QCM=Quartz Crystal Microbalance）センサー装置において、同振動子にSC-Cut水晶振動子を用いる。水晶マイクロバランスセンサーにSC-Cut振動子を使用することにより、熱衝撃等の外部ストレスによる周波数変化が少なく、また周波数情報を与えるC-Mode発振と温度情報を与えるB-Mode発振を切り替えて発振できる。これにより精度の高い微小質量測定が可能になる。これによりQCM（=水晶マイクロバランス）測定の高精度化と応用分野が広がることが予測できる。 （もっと読む）

【課題】消費電流の少なく精度の高い基準信号源を提供することを目的とする。
【解決手段】 温度に依存して発振周波数を変化させる水晶発振器から構成され、温度に依存して変化するセンサ信号を制御回路に供給するセンサ回路と、複数の水晶振動子から構成され、前記センサ信号の周波数変化を測定するための基準となる基準信号を前記制御回路に供給する基準信号源と、前記センサ回路から供給されるセンサ信号と前記基準信号源から供給される基準信号と基づいて温度を算出する制御回路と、から構成される。そして、前記制御回路は、前記基準信号源を構成する水晶振動子のうち、測定中の温度範囲毎に誤差が最小となる水晶振動子を選択して、選択した水晶振動子により構成される発振回路の出力信号に基づき基準信号を発生させる。 （もっと読む）

【課題】 温度、湿度、照度に関わらず、所望の画像を書き込むことができる画像表示装置と画像書き込み装置を提供することにある。
【解決手段】 電子ペーパー１０内部に物理量（温度、湿度、照度）を検知するワイヤレスのセンサ０を設ける。そして、制御部４０は発信部１１１からそのセンサに電波を発信する。センサ０は電波を受信すると物理量（温度、湿度、照度）の影響を受けた弾性表面波を電波信号として受信部１１２に送信する。制御部４０は受信部１１２が受信した電波信号を元に電子ペーパー１０内部の物理量を解析し、電子ペーパー１０に印加する電圧を設定する。駆動パルス電圧生成部３６は、制御部４０の制御を受けて電子ペーパー１０に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】 画像形成装置内の温度・湿度を複数箇所において検知し、検知した結果を元に画像形成を行う各部を制御する。
【解決手段】 画像形成装置内のロータリー装置１４近傍、感光体１１近傍、二次転写部分近傍、ヒートロール４２ａ近傍にそれぞれワイヤレスセンサ１１０、１２０、１３０および１４０を設け、発信部１１１からそれぞれのワイヤレスセンサに電波を発信する。発信部１１１から送信される電波は、アンテナ４Ａで電気信号に代えて受信され、アンテナ４Ａで受信された電気信号は櫛形電極３Ａで誘電体薄膜２表面の弾性表面波に変換される。この弾性表面波は誘電体薄膜２に加わった物理量（温度・湿度）の変化によって、振幅、位相差、周波数等が変化する。この弾性表面波の変化を電気信号として受信部１１２で受信し、制御部７０は電気信号における変化を解析する。そして解析した情報を元に制御部７０は画像形成装置１００の各部を制御する。 （もっと読む）