【課題】高温の雰囲気の中でシリコンウエハの温度を測定し、シリコンウエハの表面温度の測定を行うとき、シリコンウエハの出来るだけ多点の表面温度を測定できる圧電温度センサの提供
【解決手段】圧電振動領域とアンテナ領域とが橋絡部で結ばれており、圧電振動領域の両面に配置される励振電極とアンテナ領域に設けられるループ状の導体とが結合されることによって、励振電極と導体とが一体となる構成の圧電温度センサ。また、励振電極とアンテナ領域と橋絡部分を耐熱性があり、且つ、電磁波を透過する容器部で覆うようにすることで、高温での雰囲気にも耐え、外部の機器との信号の送受信を行うことを可能とする。 （もっと読む）

【課題】従来、半導体プロセスの拡散や酸化工程におけるウェハの温度測定には、熱電対が広く用いられていたが、熱電対は、ウェハに直接接触させて温度を測定することができず、ウェハ内、ウェハ間の温度のばらつきを測定できないために、高精度の温度測定ができなかった。
【解決手段】圧電振動子とコイルからなる小型温度センサをウェハに直接取り付け、半導体製造装置の外部に配置した送受信装置に対し無線で測定データを送信することにした。ウェハ内、ウェハ間の温度のばらつきを測定することが可能になった。また、圧電振動子の材料にLTGAを用いることにした。1000〜1300℃の高温領域でも安定に精度の高い温度測定を行うことが可能になった。 （もっと読む）

【課題】検出対象物の時間経過に伴う温度傾斜特性が変化した場合や、検出対象物の時間経過に伴う温度変化の傾斜が、上昇、或いは下降へ反転した場合に、直ちに検出可能な温度変曲点検知装置を提供する。
【解決手段】温度変曲点検知装置１は、検出対象物の温度変曲点において、温度変曲前の周波数と比べて大きく周波数が変化した周波数信号を出力する温度変曲点検知センサ２と、検出対象物の温度変動に対して変化の少ない安定した周波数信号を出力する基準信号発生器３と、前記温度変曲点検知センサ２が出力する周波数信号と基準信号発生器３の出力する周波数信号の差を出力する減算器４とにより構成する。 （もっと読む）

【課題】 高出力増幅器の温度検出のため、人工衛星には温度センサを搭載しなくてはならない。また、人工衛星の送信するテレメトリ信号は、他の情報に関するテレメトリ信号も送信しているため、温度テレメトリ信号を常時出力しているわけではなく、高発熱機器の温度の検出が遅れる可能性がある、という問題点があった。
【解決手段】 高発熱機器の近傍に配置される発振回路が高発熱機器の発熱による温度で周波数を偏移させた連続波を発振し、その連続波で送信信号をアップコンバートさせる周波数偏移工程と、送信周波数の連続波で受信信号をダウンコンバートさせた出力信号より周波数オフセット量を検出し、周波数オフセット量を送信機の発振回路近傍に配置した高発熱機器の温度に換算して、高発熱機器の温度を検出する温度検出工程と、を備えることを特徴とする温度検出方法である。 （もっと読む）

非接触型のＳＡＷに基づくトルク・温度センサは、Ｙ＋３４°カットの水晶からなる基板上に設けられた第１（２）および第２（３）のＳＡＷ共振器を備える。第１のＳＡＷ共振器（２）は、使用時に、トルク測定対象となる装置の長手方向軸に揃う向きないし垂直な向きに配置される前記基板のＸ軸に対して、その主軸が＋４５°傾いており、第２のＳＡＷ共振器（３）は、前記基板のＸ軸に対して、その主軸が−４５°傾いている。第３のＳＡＷ共振器（４）は、前記基板のＸ軸に対して、３０°の角度で傾いている。前記各ＳＡＷ共振器（２、３、４）は、前記基板上に、厚み（ｈ）のアルミニウム膜を配置することにより形成され、ＳＡＷ共振器は、平均動作波長λを有し、ｈ／λが０．０２１〜０．０３２の範囲にある。
（もっと読む）

【課題】被測定物の各所の温度を測定できるようにした多点水晶温度測定装置の提供。
【解決手段】センサー支持部材１０に対して所定の箇所に複数個の水晶振動子からなる水晶温度センサ１１ａ．１１ｂ．１１ｃ．１１ｄ．・・・・１１ｋが導熱性の接着剤等によって固着されている。上記各水晶温度センサ１１（ａ、ｂ、ｃ、・・・・）を励振する電極端子は、一対の振動電極部が高周波線路１２に対して順次並列的に接続されている。そして、その一端が同軸ケーブル１３に接続されたプラグを介して温度測定装置１４に接続される。温度測定装置１４は前記高周波線路１２に周波数の変化する交流信号を供給し、流れ込む電流値を検出する。複数個の水晶温度センサ１１（ａ、ｂ、ｃ、・・・・）の総合的なインピーダンス特性の特異点（例えばピーク点）を検出することによって、各水晶温度センサ１１（ａ、ｂ、ｃ、ｄ、・・・）が載置されている箇所の温度を測定する。 （もっと読む）

【課題】高精度に物理量を検出することができるようにする。
【解決手段】ブリッジ回路１８Ａによって、カンチレバー１０の振動状態に応じた歪み抵抗素子１６Ａの抵抗変化を電圧変化として検出し、検出した振動信号を出力する。また、カンチレバー１０が共振している状態において、ハイパスフィルタ１９Ｂによって振動信号から高周波数成分の共振信号が取り出され、ローパスフィルタ１９Ｃによって、振動信号から低周波数成分としてのＤＣ成分の変形信号が取り出される。そして、変形信号を用いて共振信号を補正して、共振周波数の変化を検出し、共振周波数の変化からカンチレバーに付着した物質の質量の時間変化を検出する。または、変形信号に基づいて、温度の時間変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】 連続的にセンシングが必要な力学量センサシステムにおいて、そのセンサの有無や個体識別や正常動作診断、温度変化に対する補償、複数個のセンサ管理を可能とする力学量センサシステムを提供すること。
【解決手段】 圧電基板上に形成された櫛歯電極及び反射器を有する表面弾性波共振子からなるセンサ素子１０１とアンテナ１２０からなる振動センサ１０２が測定領域内の被測定物に設置されており、さらに振動センサ１０２に搬送波信号を無線送信して振動センサ１０２からの反射波を監視する質問器１０３が設置されている。質問器１０３は基準となる搬送波周波数の信号を発生する基準信号発生部１０４、その搬送波信号の基準の周波数を中心に連続的かつ周期的に周波数を変化させた信号を発生させる周波数変調部１０５、アンテナ１０８、信号受信部１０９、信号処理部１１０、判定出力部１１１からなっている。 （もっと読む）

【課題】検温素子を有するダミー用基板の温度を、より多くの箇所で精度よく検知／測定することができる検知シートおよび温度測定システムを提供し、ダミー用基板の温度を精度よく測定することができる熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】水晶振動子ＸにコイルＣが接続されてなる検温素子ｓを有するダミー用基板ＷＤを、センサコイル１３が設けられている樹脂シート１１上に載置する。検温素子ｓにセンサコイル１３を十分近い距離まで近接させることができるので、センサコイル１３は、検温素子ｓとの間で感度よく無線で送受信することができるとともに、対向していない検温素子ｓから出力される電磁波を受信することがない。よって、ダミー用基板ＷＤのより多くの箇所の温度を、精度よく検知することができる。 （もっと読む）

【課題】極めて高い精度にて基板の温度を測定することができる温度測定用基板を提供する。
【解決手段】温度測定用基板ＴＷには水晶振動子を内蔵する１７個の検温素子１５が装着されている。各検温素子１５には耐熱性に優れたフッ素樹脂にて被覆された同軸ケーブルにて構成されるケーブル線５０が接続されている。検温素子１５との接点ＡＰから基板外部への境界点ＢＰに至るまでのケーブル線５０の全経路が温度測定用基板ＴＷの上面を通過するように、かつ、接点ＡＰから境界点ＢＰまでの長さが等長となるように、１７本のケーブル線５０が接着剤を使用して温度測定用基板ＴＷに接着されている。ケーブル線５０がそれぞれの検温素子１５に与える熱的外乱を最小限かつ均質にすることができ、高い精度にて基板の温度を測定することができる。 （もっと読む）