【課題】処理対象となる基板を移動させつつ、その基板温度を正確に測定することができる温度測定システムを提供する。
【解決手段】処理対象となる基板Ｗの主面に水晶振動子を備える検温素子３０を装着し、その基板Ｗを移動させつつ、送受信アンテナ２０の下方検出エリアを検温素子３０が通過したときに送受信アンテナ２０と検温素子３０との間で無線で送受信を行い、そのときの送受信周波数の変化率から基板Ｗの温度を測定する。水晶振動子を用いて基板Ｗの温度を測定しているため、非常に高い精度にて温度測定を行うことができる。また、検温素子３０は接着剤によって着脱自在に基板Ｗに接着されるものであるため、温度測定専用基板ではなく、実際に処理対象となる基板Ｗに検温素子３０を接着してその温度を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 もともと他の目的で必要不可欠な複数の水晶振動子が備えられた撮像装置において、異なる水晶振動子の温度偏差特性を利用して温度を検出することにより、温度検出に必要な専用部材を除いて、コスト・実装面積を削減する。
【解決手段】 異なる温度偏差特性を持つ複数の水晶振動子を備えた撮像装置において、それぞれの水晶振動子のクロックをカウントする手段と、異なる水晶振動子間のクロックカウント数の差分を演算する手段と、前記クロックカウント数の差分と温度との関係をあらかじめ記憶する手段とを備え、前記クロックカウント数の差分を読み取ることにより温度を特定することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 カップリングの温度を的確に測定する。
【解決手段】 相対回転自在に支持されたクラッチ・ハウジング４１及びクラッチ・ハブ４３間でトルク伝達を行うカップリング３７と、前記カップリング３７に取り付けられて該カップリング３７から温度状態を検出すると共に検出信号を無線送信する温度状態センサ３９とを備え、カップリング３７から温度状態を直接的に検出することができ、検出された温度状態に基づいてカップリング３７の温度を的確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】信号レベル検波方式を利用し、シンプル且つ小型な回路で、複数の素子部の応答の検波を容易に実現できる弾性表面波素子、センサ、センシングシステム、及び状態検知方法を提供すること。
【解決手段】測定用素子部１９と参照用素子部２１との間に、遅延線の構造を有する第１遅延部５１を備えているので、測定用素子部１９から出力される信号を参照用素子部２１から出力される信号に対して遅延させることができる。つまり、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、時間的にずらすことができる。従って、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、無線によって送信した場合でも、その信号を受信した外部装置３では、両信号の時間的ずれにより、両信号を分離することができる。 （もっと読む）

【課題】回路規模の増大を抑制しつつ温度を検出することができるデータ通信システム及び受信装置を提供する。
【解決手段】RF回路13は、クロック周波数が温度に応じて変動する温度特性を有するクロックに同期して生成されたデータを受信する。周波数同期回路16及び送信周波数検出回路24は、受信されたデータからクロック周波数を検出する。温度特性データバッファ34は、クロック周波数の温度特性に関わる温度特性情報を記憶する。温度検出回路26は、検出されたクロック周波数と温度特性情報とに基づいて、クロック周波数に対応する温度を演算する。 （もっと読む）

測定される同じ温度環境に配置されて異なる熱特性を有する第１の温度センサ及び第２の基準温度センサを含む温度計による温度測定を補償する方法及びシステム。本方法及びシステムは、温度効果によって生じる基準センサの変動による測定温度の誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】被測定信号の周波数変化を高精度で，かつ，低消費電力で測定する．
【解決手段】 物理量の変化に対応して周波数が変化する被測定信号と基準発振器の出力信号を各々分周し，互いの分周周期を異なる周期で発生させ，その周期時間差を求め，近接した複数の該周期時間差間における基準発振器の出力信号をカウントし，これらのカウント値の総和から被測定信号の周波数変化を測定する． （もっと読む）

【課題】無給電温度センサに経時変化があっても、被測定物の温度の測定誤差の発生を防ぐことができる温度測定装置を提供する。
【解決手段】温度測定装置１０は、患者３２の温度に対応した信号を出力する無給電温度センサ２０と、無給電温度センサ２０からの出力信号に基づいて校正される温度算出校正装置４０とを備え、無給電温度センサ２０は、患者３２の温度に対応した出力信号を検出し、検出した前記温度に対応した出力信号を温度算出校正装置４０に無線で送信し、温度算出校正装置４０は、前記患者３２の温度に対応した出力信号に基づいて患者３２の温度を算出し、患者３２の温度に対応した出力信号の電界強度が閾値以上の場合に、無給電温度センサ２０が温度算出校正装置４０に載置されたと判断し、無給電温度センサ２０の出力信号に基づいて校正される。 （もっと読む）

【課題】
圧電素子から出力する音波を撹拌に利用するときに、反応容器或いは反応液７の有無、更には音波伝播媒体８となる液体の有無、周辺部から反射される意図しない超音波により圧電素子を損傷する可能性がある。また、誤って空気中に超音波を繰り返し照射したときに、圧電素子の自己発熱により、圧電素子自体が損傷する可能性がある。簡単な機構で圧電素子から音波を出力する前に周辺状況をモニタして、異常を検出した場合は音波の出力を停止して、圧電素子の信頼性を向上することにある。
【解決手段】
本発明は音源となる圧電素子の電気的インピーダンスを測定することにより、圧電素子の周辺状況を推定することができる。 （もっと読む）

センサデバイスのためのデバイス固有校正データを提供する方法であって、環境が監視されるある領域内にセンサデバイスを設ける工程を含み、該センサデバイスは、前記領域の選択された状態に反応する部分と、送信部分と、メモリ部分とを少なくとも備える。前記センサデバイスが分類されるセンサ群に関連付けられた包括的校正データが、前記センサデバイスから離隔したデータベースに格納される。前記センサデバイスの実際の校正データをより正確に適合させるための、前記包括的校正データの修正に用いる訂正データが少なくとも、前記センサデバイスのメモリ部分に格納される。前記センサデバイスは、前記訂正データを取得するために問合せデバイスにより問い合わせられる。前記センサデバイスに関する前記包括的校正データは、前記データベースから取得され、センサデバイス固有校正データを作り出すため、前記校正データを用いて修正される。 （もっと読む）