【課題】検温素子を有するダミー用基板の温度を、より多くの箇所で精度よく検知／測定することができる検知シートおよび温度測定システムを提供し、ダミー用基板の温度を精度よく測定することができる熱処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】水晶振動子ＸにコイルＣが接続されてなる検温素子ｓを有するダミー用基板ＷＤを、センサコイル１３が設けられている樹脂シート１１上に載置する。検温素子ｓにセンサコイル１３を十分近い距離まで近接させることができるので、センサコイル１３は、検温素子ｓとの間で感度よく無線で送受信することができるとともに、対向していない検温素子ｓから出力される電磁波を受信することがない。よって、ダミー用基板ＷＤのより多くの箇所の温度を、精度よく検知することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物と接触して被測定物の温度を精度よく検出／測定することができる温度検出シートおよび温度測定システムを提供し、基板の温度を精度よく測定することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】被測定物の温度を測定する温度測定システムにおいて、樹脂シート１１に水晶振動子１３が設けられてなる温度検出シート１と、水晶振動子１３から得られた、水晶振動子の固有振動数に相当する周波数に基づいて温度を測定する温度測定部５と、を備えて、温度検出シート１を被測定物に接触させる。水晶振動子１３は被測定物の温度に応じた固有振動数を有するので、温度測定部５は、この固有振動数に相当する周波数に基づいて被測定物の温度を精度よく測定することができる。 （もっと読む）

【課題】伝搬経路の温度を正確に計測する。
【解決手段】球状弾性表面波素子１０は、すだれ状電極１２の形成位置とは異なる伝搬経路１１Ｓ上の位置に、Ｖ_Ｓ／Ｓ＝Ｎ・（Ｖ_Ｌ／２Ｌ）の関係式を満たすような細線間隔Ｌで、すだれ状電極１２と平行に細線パターン１３を形成している。但し、Ｖｓ：すだれ状電極の形成位置における弾性表面波の伝搬速度、ＶＬ：細線パターンの形成位置における弾性表面波の伝搬速度、Ｓ：すだれ状電極の電極周期、Ｌ：細線パターンの細線間隔、Ｎ：自然数である。 （もっと読む）

共振装置のインタロゲーションのための共振周波数を決定する方法は、様々な帯域幅のＲＦインタロゲーションパルスを発生し結合して、１つ以上のＳＡＷ共振素子を付勢するステップを含む。最初のインタロゲーションパルスは、共振装置の共振周波数の大まかな位置を便宜的に決定することができるように、比較的広い帯域幅を有している。次いで、その決定した共振周波数の大まかな位置の近い周波数で、より狭い帯域幅パルスを有するインタロゲーションパルスを共振装置に結合して、共振位置を更に絞る。或る実施例では、共振装置の想定動作範囲の中心又は想定動作範囲内の予想される値の周波数で１つ以上のインタロゲーションパルスを共振装置に結合する。その最初の位置で共振周波数が見つからない場合には、動作範囲を半分に分割し（又は、３つ以上のほぼ等しい周波数範囲部分に分割し）、それら新しい検索周波数範囲部分の各々の中心で１つ以上のインタロゲーションパルスを共振装置に結合する。共振周波数が見つかるまで、検索周波数範囲の分割工程を続ける。
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【課題】対象部位にかかる応力や該応力による歪をワイヤレスで検出することができ、廉価で小型、省電力なセンサを提供する。
【解決手段】圧電基板１と櫛歯電極２を有する表面弾性波素子とアンテナ手段３を備えた応答器と、上記応答器に対して駆動信号を発信すると共に、当該応答器からの応答信号を受信する問い合わせ器から成る表面弾性波センサにおいて、上記圧電基板１の上に磁歪膜４を設け、当該磁歪膜４による表面弾性波の伝搬特性の変化に基づいて、上記圧電基板１に働く応力をワイヤレスで検出する。 （もっと読む）

【課題】コストの上昇を抑えつつ、タイヤの空気圧及び温度などの複数の測定値を正確に検出すること。
【解決手段】トランスポンダ１０に、アンテナ１１と、コントローラとの間で送受信される信号の変復調を行うダイオード１２と、タイヤの温度に応じて共振周波数が変化する共振器１４と、タイヤの空気圧に応じて抵抗値が変化する圧力センサ１５とを備える。コントローラは、共振器１４を共振させるための信号を送信する一方、共振器１４の共振周波数の信号をトランスポンダ１０から受信し、当該受信信号から抽出される共振周波数の信号に応じてタイヤの温度を算出する一方、当該共振周波数の信号の信号レベルに応じてタイヤの空気圧を算出する。 （もっと読む）

【課題】電源を供給する必要がなくて自動化に適し、耐熱性を高め、簡単な回路でウェハの温度分布を測定できるウェハ型温度センサとこれを用いた温度測定装置、温度測定機能を有する熱処理装置および温度測定方法を提供する。
【解決手段】ウェハ１と、ウェハ１の上面を複数の領域に区分し、区分された各領域に配置された複数の温度センサ２ａ，２ｂ…とを備えてウェハ型温度センサ１０を構成し、各温度センサ２ａ，２ｂ…は、高周波信号が入力されたことに応じて、各領域ごとに異なる周波数帯域内で対応する領域の温度に基づく周波数信号を送り返す表面弾性波素子を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は複数の親機が他の親機によって監視されるべき子機を自己の子機として誤認する問題を確実に解決するＳＡＷセンサー監視システムを提供する。
【解決手段】複数の親機Ａ１乃至Ａｎで監視する複数の子機群Ｂ１乃至Ｂｎの各子機ｂ１乃至ｂｎにＳＡＷ素子で構成したＳＡＷセンサー兼発信器ＴＳを所有せしめ、各子機ｂ１乃至ｂｎに各子機固有の発信周期を予め記憶せしめておき、該各子機のＳＡＷセンサー兼発信器ＴＳは各子機ｂ１乃至ｂｎが記憶している発信周期Ｔ１乃至Ｔｎで固有周波数Ｆ１乃至Ｆｎの信号Ｓ１乃至Ｓｎを発信し、各親機Ａ１乃至Ａｎは受信した固有周波数Ｆ１乃至Ｆｎの信号Ｓ１乃至Ｓｎが各子機ｂ１乃至ｂｎが記憶せる固有発信周期Ｔ１乃至Ｔｎであると判断した時にその固有周波数Ｆ１乃至Ｆｎの信号Ｓ１乃至Ｓｎを自己の子機ｂ１乃至ｂｎから発信されたものであることを認識するＳＡＷセンサー監視システム。 （もっと読む）

【課題】耐久性を有する小型の流速計を提供する。
【解決手段】ヒーター１２を備える弾性表面波素子を用いて、配管５内を流れる物質６の流量を求める流速計２０は、配管内５の物質６および伝搬面１１Ｓの圧力と参照信号の強度の減衰率とを対応付けて記憶する記憶部２１と、基材１１を設定した温度にまで加熱するように制御する制御部２３と、弾性表面波の検出信号の位相および強度のデータを取得する取得部２４と、位相のデータに基づいて伝搬面１１Ｓの温度を算出する温度算出部２５と、強度のデータに基づいて伝搬面１１Ｓの圧力を算出する圧力算出部２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ガス濃度を感度良く検知できるガスセンサを提供する。
【解決手段】 表裏に主面１７を有し厚みすべりの振動モードを励振する水晶振動片１０
と、水晶振動片１０の主面１７に形成された励振電極１５および接続電極１６と、少なく
とも励振電極１５上に形成され水素ガスに反応して発熱する水素反応触媒膜１３と、水晶
振動片１０を励振させる発振回路とを備え、水素反応触媒膜１３の発熱による水晶振動片
１０の温度変化を周波数信号として検出する。 （もっと読む）