【課題】 本発明は、実質的に全面的にセラミックで構成されていて、それにより高い程度に耐食性のある容量式の真空測定セルに関する。
【解決手段】 非常に低い圧力を高い精度で測定できるようにするため、厚さ２５０μｍ以下の非常に薄いセラミックダイヤフラムを使用し、このセラミックダイヤフラムは応力なしに、かつ左右対称にセラミックケーシングの内部に配置される。 （もっと読む）

プロセッサと、第１のセンサと、第２のセンサとを有する計測機器である。該プロセッサは、物理的量の計測を実施する計測信号を出力するように適合される。該第１のセンサおよび該第２のセンサは該プロセッサに接続され、物理的量の第１の計測および第２の計測をそれぞれ生じるように動作可能である。該プロセッサは、計測信号が第１の計測に依存し、第２の計測に依存しない第１の計測範囲を定義する。該プロセッサは、計測信号が第２の計測に依存し、第１の計測に依存しない第２の計測範囲を定義する。第１の範囲および第２の範囲は既定の遷移で交わる。第１の計測および第２の計測は該遷移では異なり、計測信号において実施される計測は、急激に変化することなく、該遷移に交差する。
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【課題】トランスデューサ型真空計において、装置にかかるコストの増大を抑制し、セットポイントの設定と、設定されたセットポイントの読み出しとを容易に行なうことができるトランスデューサ型真空計及びその制御方法を提供する。
【解決手段】セットポイントを特定するための設定値Ａ、Ｂを記録する記憶手段７と、記憶手段７に記録された設定値Ａ、Ｂを読み出し可能な制御手段２と、制御手段２に対し設定値Ａ、Ｂの読出し命令を行なうための読出しスイッチ４と、所定数を示す信号を制御手段２に供給するためのロータリスイッチ６と、制御手段２の制御により少なくとも２値表示可能な表示手段８，９とを備え、制御手段２は、読出しスイッチ４の読出し命令により読み出された設定値Ａ、Ｂとロータリスイッチ６により供給された所定数を示す信号とが一致した場合に表示手段８，９により当該一致を示す表示を行なう。 （もっと読む）

容量式の真空測定セル（８）は全面的にセラミックで製作されている。封止されて結合されなくてはならない領域では、またはブッシングや測定接続部が設けられる領域では、結合されるべき酸化アルミニウムセラミック部品の間に少量のアルミニウム（３，６）が配置され、これら両方の部品が高められた温度と高められた圧力のもとで、水素のような還元性のガスを含む保護ガス雰囲気の存在下で押し合わされる。それによってすでに堅固な結合が成立する。これに続く次のステップで、高められた温度と酸素を含有する雰囲気の中で、まだ残っている可能性のある結合領域（３，６）の金属アルミニウムがさらに酸化されて酸化アルミニウムとなる。それによって結合領域（３，６）それ自体も、結合されるべき各部品自体と実質的に同一の材料からなるようにすることができる。それにより、特に攻撃性のプロセスガスに曝露される領域で、非常に高い耐食性が実現される。
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【課題】屋外に設置される器具に真空ゲージを取り付けた場合でも、この真空ゲージが、天候の影響を受けることなく、確実に真空部の真空度を測定できる真空ゲージを備える屋外設置器具を提供する。
【解決手段】屋外設置器具1は、内部に真空部を形成するケース本体3と、ケース本体3における真空部の外側に取り付けられ、この真空部の真空度を測定する真空ゲージ6とを備える。ケース本体3に、真空ゲージ6を収納するゲージ収納部4を設けている。このゲージ収納部4は、遮光性を有し、透湿性の小さい材料で形成され、ケース本体3に対し着脱可能なカバー42を備える。このカバー42をケース本体3に固定することにより、ケース本体3とカバー42とにより密閉状態のゲージ収納部4を形成する。 （もっと読む）

【課題】気体の圧力を精度よく求めることが可能な圧力測定装置１８５を提供する。
【解決手段】気体の圧力に対応した電気信号を出力するピラニ真空計１０と、ピラニ真空計１０の出力から気体の圧力を求める換算式を算出する演算装置（ＣＰＵ）と、ピラニ真空計に近接配置され、気体の圧力を測定する第２圧力計１００とを備え、第２圧力計１００は、ピラニ真空計１０の圧力測定範囲より狭い範囲で気体の圧力を測定し、演算装置（ＣＰＵ）は、第２圧力計による気体の圧力測定結果を用いて、ピラニ真空計１０の圧力測定範囲の全体に適用される換算式を算出する。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の温度を一定に制御することで、水晶振動子の固有共振抵抗と温度との相関特性データの収集工数と演算回路とをなくしてコストダウンし、被測定気体にも影響を与えずにメインテナンスも容易な水晶式気体圧力計及びそれを用いた真空装置を提供する。
【解決手段】ヒータ７０を金属製の筒体５４の外壁に接して大気側に配置し、金属製の筒体５４とフィルタ部材６０を熱伝達部材として熱伝達して、水晶振動子３０を加熱する。 （もっと読む）

【課題】 音叉型水晶振動子の温度を極めて効率よく一定に制御することで、温度校正のためのデータ収集工数や演算回路をなくして、コストダウンを図ることができる水晶式気体圧力計を提供すること。
【解決手段】 それぞれ矩形断面の２つの腕部３２Ａ，３２Ｂとそれを連結する基部３４とを有する音叉型水晶振動子３０を含み、音叉型水晶振動子の固有共振抵抗Ｚ_０と、測定された共振抵抗Ｚとの差ΔＺから、気体の圧力を測定する水晶式気体圧力計１である。この圧力計１は、音叉型水晶振動子３０の２つの腕部３２Ａ，３２Ｂ及び基部３４の表面に互いに絶縁して形成された第１，第２の電極パターン７０Ａ，７０Ｂと、２つの腕部３２Ａ，３２Ｂ及び基部３４の少なくとも一つの表面３２Ａ３，３２Ｂ３に形成され、かつ、少なくとも一つの表面３２Ａ３，３２Ｂ３に形成された第１，第２の電極パターン７０Ａ，７０Ｂの一方または双方と互いに絶縁して形成された発熱抵抗体パターン７２とを有する。 （もっと読む）

隔膜真空測定セルを製造する方法が提供され、隔膜（２）の一方の側には間隔をおきながら第１のハウジングプレート（１）が縁部領域で、結合手段（３）により封止をするように配置されており、隔膜（２）の他方の側には間隔をおきながら第２のハウジングプレート（４）が縁部領域で結合手段（３）により封止をするように配置されており、第２のハウジングプレート（４）は開口部を有しており、該開口部には測定セル（８）を測定されるべき媒体と接続するために接続手段（５）が結合手段（３）により封止をするように配置されており、隔膜（２）と両方のハウジングプレート（１，４）は金属酸化物でできている。測定セルが真空室（６４）の中で、特に測定セルの開口部を通じてＡＬＤ法によりコーティングされ、それにより測定真空室（９）の内壁および開口部が接続手段（５）とともに保護層（１３）で被覆され、それにより少なくとも隔膜（２）の結合手段（３）が腐食から保護されるように覆われる。
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真空計（１５）用ダイヤフラム装置はダイヤフラム（２０）を包囲する管状ダイヤフラムケーシング（１４）を含んでなり、前記ケーシングは真空計（１５）と連通するための出口孔（１６）と被測定対象チャンバと連通するための接続孔（２２）とを有し、前記ダイヤフラム（２０）は前記双方の孔（１６，２２）の間に配置されており、さらに前記ダイヤフラム（２０）は螺旋巻き山（２１）を有するスクリューダイヤフラムとして形成され、前記螺旋巻き山のフランクの外径は前記ダイヤフラムケーシング（１４）の内壁に密接し、前記螺旋巻き山のフランクの前記外径と前記内壁との間のガス漏通を阻止してガスの流れを基本的に前記螺旋巻き山に沿った通路に強制誘導し、かつ、前記出口孔（１６）は前記管体（１４）の一端に配置され、前記接続孔（２２）は前記管体の反対側の他端に配置され、前記スクリューダイヤフラム（２０）は軸方向目視方向において前記ダイヤフラム装置（２５）が前記双方の孔（１６，２２）の間で光学的に密であるように形成されている。
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