【課題】濃度分布の分解能を図ることを可能にすると共により高い応答性の確保を可能とし、且つノズル形状の特定を容易とし、熱線濃度計そのものも小さくすることを可能とする。
【解決手段】ノズル部１９を、微小な幅で所望流量の気体を吸い込み可能とする矩形扁平断面に形成した。シリコンウェハの表面に絶縁層を製膜すると共に該シリコンウェハに吸引部に接続させるための接続流路を形成する第１の工程と、絶縁層の表面に、センサ部をスパッタリングにより形成する第２の工程と、絶縁層の表面に、センサ部に接続した配線部を蒸着する第３の工程と、配線部の端末に、電極を蒸着する第４の工程と、絶縁層の表面にポリイミド層をコーティングする第５の工程と、ポリイミド層にノズル部及びノズル部に連通しセンサ部を臨ませ接続流路３１に連通する流路をエッチングする第６の工程とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来の接触角計では一方向からの映像だけを用いて測定していたため、実際のぬれの状態がどうなっているかを考慮せず、均一にぬれているという仮定の下に演算された数値を検証することなくそのまま用いていておりばらつきの原因を接触角の特性や限界であると考えていた。また上から測定する際には、既知の液量と定義しており、実際の着液量は計測していない。
【解決手段】二方向の映像を同時に撮影することで実際の着液量を毎回測定するとともに、真円度が低い異常データを排除して従来の接触角の定義に沿った形状のみを評価することでばらつきを低減し、さらに客観的なぬれの状態を真円度やぬれ面積やぬれの方向というあらたな定義付を用いた評価装置を提供する。また、前記評価装置は単に横と上からの二方向の画像によるぬれ現象を記録する用途にも用いることができる。 （もっと読む）

【課題】基材上に形成された膜の状態を簡便に、かつ大面積の膜を迅速に検査することのできる方法を提供すること。
【解決手段】
１）標準となる膜を形成した基材（Ａ）について、液体の後退接触角又は前進接触角を測定する工程、
２）上記１）における後退接触角又は前進接触角の測定に使用する液体と同じ液体に対して、検査する膜を形成した基材（Ｂ）を、上記基材（Ａ）の後退接触角と同じ角度で引き上げる又は前進接触角と同じ角度で沈める際に、レーザー光照射手段と反射光を検知するスクリーンを有するレーザー測定装置から照射されるレーザー光を基材と液体との界面に照射し、反射した光をスクリーン上に受けることにより反射光を検知する工程、及び、
３）液体面にレーザー光を照射して反射した光を検知したスクリーン上の位置と、上記２）において反射した光を検知したスクリーン上の位置の差異を測定する工程
を有することを特徴とする基材上に形成された膜の検査方法。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、簡易な構成で、半田の濡れ性を判定することができる、半田濡れ性判定装置を提供することである。
【解決手段】
本発明の半田濡れ性判定装置は、部品を保持する部品搭載部と、部品搭載部を駆動する駆動部と、部品搭載部の駆動方向に位置し、半田を搭載するステージと、部品の位置を検出する位置センサと、位置センサによる検出結果に基づいて、部品の加速度または部品に働く反力を算出する算出部と、算出部による算出結果に基づいて、半田の濡れ性を判定する判定部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】経過時間毎の溶融半田の形状を精度よく予測できる溶融半田評価装置、評価方法及びプログラムを提供する。
【解決手段】溶融半田評価装置１は、張力モデル演算部２と、濡れ角測定部３と、シミュレータ４とを備える。張力モデル演算部２は、溶融した半田の経過時間毎の表面張力を示す張力モデルを演算する。濡れ角測定部３は、半田の液滴形状から溶融状態の半田の濡れ角を測定する。シミュレータ４は、半田の表面張力及び半田の濡れ角に対応する複数のパラメータを含むパラメータセットと半田の形状との関係を示す形状モデルに、濡れ角及び経過時間毎の半田の表面張力に対応するパラメータセットを代入して、経過時間毎の半田の形状を予測する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い部材の濡れ性評価を行う。
【解決手段】供試部材１００を液体中に浸漬させることで、供試部材の持つ濡れ性の如何に関わらず供試面に液体Ｗを接触させる。供試部材１００の傾斜角度を０°から３°、６°、９°、１２°、１５°と増加させた際の、濡れ性が悪い供試部材に付着させた気泡１０２の画像をＢの列に、濡れ性が良い供試部材に付着させた気泡１０２の画像をＧの列に示している。図示の例では、濡れ性が悪い供試部材に付着させた気泡１０２は、ステージ１８ａの傾斜角度を１５°へと増加させても、気泡１０２が供試部材１００に付着しているのに対し、濡れ性が良い供試部材に付着させた気泡１０２は、ステージ１８ａの傾斜角度を１２°まで増加させた時点で、図中模擬的に矢印で示されるように、供試部材１００の供試面を伝って撮影範囲外へと移動した。 （もっと読む）

【課題】簡便にチューブ状試料の内表面の特性を評価することが可能な方法、ならびにそれに直接使用する接触角測定システムおよび気液界面観測装置を提供する。
【解決手段】チューブ状試料に液体を導入し、前記チューブ状試料内の前記液体と雰囲気ガスによる気液界面（メニスカス）と、前記チューブ状試料の内表面との接触角を測定し、該測定値に基づいて前記チューブ状試料の内表面の特性を評価することを特徴とする、評価方法。 （もっと読む）

【課題】正確にフロントガラスの撥水効果を判定できる撥水効果判定装置を提供する。
【解決手段】Ｓ１０１で、フロントガラスの画像を取得し、画像内の水滴の像にあたる黒色部分が真円に近いか否かを判断する。真円に近ければ（Ｓ１０１：ＹＥＳ）、Ｓ１０２に進み、Ｓ１０２では、撥水効果があると判断する。またＳ１０３では、自車両が例えば時速６０キロ以上であるか否かを判断する。時速が６０キロ以上であれば（Ｓ１０３：ＹＥＳ）、Ｓ１０４に進み、Ｓ１０４では、画像中の水滴につき、時間の経過とともに上方向への動きがあるか否かを判断する。水滴に上方向の動きがあれば（Ｓ１０４：ＹＥＳ）、Ｓ１０５に進み、撥水効果があると判断する。 （もっと読む）

【課題】必要な最小の装置構成で、簡易かつ迅速により正確な接触点を判別して好ましい接触角の測定を実現する接触角測定システム及び接触角測定方法を提供する。
【解決手段】基板（１２）の表面に測定対象の液滴を滴下するディスペンサー（１８）と、基板の表面に基板と液滴の境界を判別するための境界判別部材を配置し、液滴及び境界判別部材が同一画面内に収まるように基板に対して水平方向又は斜め方向から撮影するカメラユニット（２２）と、画像処理装置（２６）によりカメラユニットから取得した境界判別部材の画像から基板の表面と液滴の境界を判断し、当該境界に基づき基板に対する液滴の接触角を求めることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】接触角を光学的に測定することが不可能なミクロンメータ・オーダ以下の領域においても、簡便にかつ精度良くその領域の接触角を得ることができる接触角測定方法を提供する。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーを用いて、前記試料上の参照とする領域において該カンチレバーの探針先端と試料との間に働くフォースカーブから付着力を計測し、前記参照とする領域に滴下した液滴を観察して参照とする接触角を計測し、前記参照とする領域の付着力と、前記参照とする領域の接触角と、ヤングの式を基にして、予め付着力と接触角との関係式を求めておき、次に、前記試料上の接触角を測定すべき領域においてフォースカーブから付着力を計測し、前記測定すべき領域の付着力の値を前記関係式に挿入して前記測定すべき領域の接触角を求めることを特徴とする。 （もっと読む）