【解決手段】 発光素子５は、第１強度の励起光を瞬間的に照射した後、それよりも低い第２強度の励起光を照射する。（図２）
共振器８内に設けられたレーザ媒質６は、上記励起光によって励起されて対象成分としてのグルコースに吸収される波長の光を発光し、この光が上記グルコースに吸収されることで、光音響効果による音響振動が発生する。（図３）
上記音響振動により、共振器からは一時的にレーザ光が出力されなくなり（図４）、計測手段１３は、受光素子７がレーザ光を受光しなかった時間を出力停止時間Ｔとして計測し、この出力停止時間Ｔを光音響効果の作用時間とすることで、血液中のグルコースの濃度を求める。
【効果】 正確な成分の検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
不完全部分を有する半導体結晶を予め製造プロセスから取り除くことができる、半導体結晶のスクリーニング方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の半導体結晶のスクリーニング方法は、半導体結晶に電子線又は光を照射することによって半導体結晶の不完全部分での欠陥を誘起し、その後、カソードルミネッセンス法又はフォトルミネッセンス法により半導体結晶の欠陥検査を行い、その結果に基づいて半導体結晶のスクリーニングを行う工程を備える。 （もっと読む）

本発明は、非破壊方法で、未知の半導体基板から少なくとも活性キャリアプロファイルを決定するための方法および装置を提供する。該方法は、ｍ個の反射信号から２ｍ個の独立した測定値を生成すること、これらの２ｍ個の測定値を２ｍ個の独立したキャリアプロファイル値と相関させることを含む。該方法は、追加の２ｍ個の測定値を生成し、４ｍ個の測定値を４ｍ個のプロファイル値と相関させることによって、活性キャリアプロファイルおよび第２パラメータプロファイルを決定することをさらに含む。該方法は、全部で２ｍ［ｎ，ｋ］個の測定値を生成し、［ｎ，ｋ］個の独立した材料パラメータ深さプロファイルを決定することをさらに含み、各材料パラメータプロファイルはｍ個のポイントからなる。
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光計測において反復構造に関する単位セル構成を選択するため、反復構造に対して複数の単位セル構成が定められる。各単位セル構成は、１つ以上の単位セルパラメータによって定められる。複数の単位セル構成の各単位セル構成は、少なくとも１つの単位セルパラメータにおいて互いに異なっている。複数の単位セル構成のうちの１つを選択するために、１つ以上の選択基準が用いられる。そして、選択された単位セル構成が、上方から見た反復構造のプロファイルを特徴付けるために使用される。
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【課題】
本発明では、測定時の被検体又は被測定物の温度変化による測定誤差を小さくして被検体又は被測定物の測定対象の成分濃度を正確に測定することを目的とする。
【解決手段】
本発明は、異なる２波長の光を、同一周波数で逆位相の信号により電気的に強度変調して、被測定物に出射する混合光出射手段と、前記被測定物の温度を変化させる温度制御手段と、前記２波長のうち１波長の光を電気的に強度変調して、前記被測定物に出射する単一光出射手段と、前記被測定物から発生する音波の大きさを測定する音波強度測定手段と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの表面を検査する装置及び方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの広帯域スペクトルによりウェーハの画像領域を照明する照明手段、照明に基づくウェーハの画像領域の多色イメージングのための検出器を備えた光学画像手段、及び複数の狭帯域スペクトルを選択する画像手段を具備したフィルタ装置を有するウェーハの表面を検査する装置と、複数の狭帯域スペクトルを共通の強度レンジに平均化し、少なくとも１つの広帯域スペクトルによりウェーハの画像領域を照明し、照明に基づいて画像領域から複数の狭帯域スペクトルを映すステップを有するウェーハの表面を検査する方法が実現する。 （もっと読む）

【課題】被検体に発生する音波を雑音の影響を軽減して高精度に検出し、成分濃度を正確に測定する。
【解決手段】光を被検体へ断続的に照射して、照射する前記光の強度を連続的に照射する場合よりも強くして照射する。被検体への照射時間が短い場合、前記光を強くして照射できる。強い光を照射する場合、測定対象とする成分により被検体内に発生する音波は大きくなり、信号対雑音比が大きい状態で成分濃度を高精度に測定できる。さらに、音波及び音波に混入する雑音を検出して、音波から雑音を差し引くことにより、測定対象とする成分により被検体内に発生する音波を高精度に検出する。 （もっと読む）

【課題】被検査体の個々のばらつきに起因する超音波のばらつきを表面波以外の超音波により補正することで、欠陥深さ計測精度を向上させる。
【解決手段】被検査体にレーザ光を照射して超音波を励起させる超音波励起装置１３と、前記超音波励起手段のレーザ光が照射された位置から既知の距離離間した位置にレーザ光を照射し、その反射光を受信することにより超音波を受信する超音波受信装置１５と、この超音波受信手段からの出力信号を入力して記録し、被検査体の欠陥を検出する補正手段を有するデータの収録・解析装置１６を備え、前記補正手段は出力信号のうちの透過表面波を表面波以外の超音波で補正する。 （もっと読む）

【課題】ノイズの影響を受けずに微小な欠陥深さでも高精度で検出できる表面検査装置および表面検査方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る表面検査装置は、被検査体１０に励起させて表面波ＳＲを発信する送信用対応探触子１２と、被検査体１０の欠陥Ｃを透過した透過波ＳＴを受信する受信用超音波探触子１３と、この受信用超音波探触子１３から透過波ＳＴに基づいて被検査体１０の欠陥Ｃの深さを演算処理する欠陥評価装置１６ａとを備えた。 （もっと読む）

【課題】赤外反射膜の被覆不良を的確に判定できる赤外反射膜コーティング部材の検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】 赤外光照明51と、撮像装置（検査用カメラ53）と、輪郭データ抽出部と、第一判定部とを有する。赤外光照明51は、赤外反射膜の被覆部を有するコーティング部材（ウェハW）に赤外光を照射する。撮像装置は、コーティング部材から反射した赤外光を用いて同部材の正反射像を得る。輪郭データ抽出部は、正反射像に画像処理を施し、赤外反射膜の輪郭データを抽出する。第一判定部は、この輪郭データを用いて赤外反射膜の被覆不良を判定する。 （もっと読む）