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国際特許分類[G01N21/01]の内容

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無電極放電型極紫外線(EUV)放射(10)においては、高温高密度、一様、軸安定なプラズマ柱が、磁気圧力及び誘導電流駆動で効果的にまとめられている。本発明では、磁気ミラーに閉じ込められたプラズマのシータピンチ型の圧縮が用いられている。磁気ミラーに閉じ込められたプラズマは、共鳴磁気圧縮によって放射が生じるようになっている。本装置は、放射源ガス投入ノズル(1)と、任意のバッファガス投入フロー(2)と、ミラー磁場コイル(9a、9b)と、シータピンチコイル(8a、8b)と、プラズマ及びデブリ集積部(11)と、排出ポート(7)とを備える。円電流により、軸安定なプラズマ磁場構造と、再現性があり安定で対称性の高いEUV源が得られる。
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【課題】明るい拡散光により対象物の表面の色分布を高精度に測定できる小型な撮像装置、及びこの撮像装置に用いられる照明ユニットを提供すること。
【解決手段】照明光を供給する光源部210と、光源部210からの照明光を反射して拡散する拡散部211と、拡散された照明光を射出する開口部212a、212bとを有し、光源部210は、光源部210から供給された照明光が、拡散部211において少なくとも1回反射して開口部212a、212bから射出する位置に設けられている。 (もっと読む)


【課題】紫外域において連続的なスペクトルを呈する紫外光源を提供することを主な目的とする。
【解決手段】ガスセル内に封入された不活性ガスに対しパルスレーザー光を集光照射することによりレーザープラズマを発生させ、該プラズマから発生する紫外光を、紫外光透過窓を通してガスセル外に誘導することを特徴とする紫外光の発生方法、および
不活性ガスを封入するためのガスセル、不活性ガス導入部、ガスセル内の不活性ガスに対してパルスレーザー光を集光照射する機構、およびガスセル内で発生する紫外光をガスセル外に誘導する窓を備えたことを特徴とする紫外光源装置。 (もっと読む)


本発明は、危険物質の相変化特性を測定するための方法であって、前記物質の試料の像を光学的に記録し、そして前記像を客観的に評価することを含んでなる方法を提供する。この相変化特性は、一般に、固体/液体あるいは液体/固体の相変化に関し、そしてこの方法は危険物、特に放射性物質の結晶化点の測定に特別な適用を見出す。この像は、通常、カメラによって記録され、そして相変化の発生が初めに観察される点を客観的に測定することができ、それによって正確な、信頼性のあるそして客観的なデータを提供するコンピューターを用いて評価される。 (もっと読む)


【課題】従来に比べて長寿命化が可能な赤外線放射素子およびそれを用いたガスセンサを提供する。
【解決手段】赤外線放射素子Aは、半導体基板1の厚み方向の一表面側に半導体基板1よりも熱伝導率が十分に小さな断熱層2が形成され、断熱層2よりも熱伝導率および導電率それぞれが大きな層状の発熱体3が断熱層2上に形成され、発熱体3上に通電用の一対のパッド4,4が形成されている。ここにおいて、半導体基板1はシリコン基板により構成している。また、断熱層2および発熱体3は、互いに多孔度の異なる多孔質シリコン層により構成し、発熱体3は、断熱層2よりも多孔度の小さな多孔質シリコン層により構成している。このような赤外線放射素子Aをガスセンサにおける赤外放射源として用いることで赤外放射源の長寿命化を図れる。 (もっと読む)


【課題】 性能、寿命が向上され、製作が容易な寿命が向上され製作赤外線光源装置を実現する。
【解決手段】 基板にマイクロブリッジ状に形成されるフィラメントを有し、このフィラメントに通電して発熱させることにより赤外線を発光させる赤外線光源装置において、
厚さ方向に不純物濃度が均等になるように不純物が添加されつつ堆積されたポリシリコンからなりエッチング形成されたされてエッチング形成されフィラメントを具備したことを特徴とする赤外線光源装置である。 (もっと読む)


【課題】光軸に略垂直な方向の所定面内における光強度分布が均一であり、かつ光軸に沿った方向の光量変化が低減され、対象物の表面の色分布を高精度に測定できる小型な撮像装置、及びこの撮像装置に用いられる照明ユニットを提供すること。
【解決手段】照明光を供給する光源部210と、光源部210からの照明光を反射して拡散する拡散部211と、拡散された照明光を射出する開口部212a、212bとを有し、開口部212a、212bは、拡散された照明光を略平行光として射出する開口径Dを有する。 (もっと読む)


【課題】 付随測定器具を対応する主測定器具に対して標準化するための方法、携帯装置および測定器具を提供する。
【解決手段】 携帯装置は、基準物質を収容するための手段と、基準物質と主測定器具における基準物質の測定とについての情報を記憶するための情報ユニットとを備えている。付随測定器具に設置されると、携帯装置の情報ユニットに記憶された主器具からの情報は、付随器具に自動的にワイヤレスで送信され、携帯装置における基準物質の付随器具による測定に伴って、付随器具および試料の種類のための標準化モデルが得られる。
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試験体の測定または分析のための各種のシステムが、与えられている。一つのシステムは、第1の光学サブシステム(これは、パージされた環境中に配設されている)を含んでいる。パージされた環境は、差動パージングサブシステムによって、与えられてよい。第1の光学サブシステムは、真空紫外光を用いて測定を行なう。このシステムは、第2の光学サブシステム(これは、パージされていない環境中に配設されている)も含んでいる。第2の光学サブシステムは、非真空紫外光を用いて測定を行なう。別のシステムは、真空紫外光を用いて試験体の測定を行なうよう構成された二つまたはそれ以上の光学サブシステムを含んでいる。システムは、二つまたはそれ以上の光学サブシステムの周りにパージされた環境を維持するよう構成されたパージングサブシステムも含んでいる。パージングサブシステムは、また、両方の光学サブシステム内に、同じレベルでパージングを維持するよう構成されている。いくつかのシステムは、真空紫外波長での測定に先立って、試験体の一部から汚染物質を除去するよう構成された清浄化サブシステムも含んでいる。
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装置(1)は、相応する装置(7および9)並びに光ファイバー光導体(10および11)による集積されたビーム偏向部を有しており、これは液状媒体(2)の分析に使用される光(3)を例えば分光光度器、分光蛍光光度器等の測定装置において、装置(1)に設けられた、媒体に対する収容面(4)として構成された測定箇所へ導き、この測定箇所から分光光度器、分光蛍光光度器等の検出器へ戻す。ここでこの収容箇所(4)は測定箇所として平面状に装置(1)の上面に設けられており、使用位置において、カバー状の取り外し可能な反射部(8)によって覆われている。この反射部は試料ないし媒体(2)にも直接的に接触し、試料の載置前並びに測定箇所の洗浄のために取り外すことができる。
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