【課題】探傷精度を向上させると共に、探傷時間を短縮すること。
【解決手段】フェーズド・アレイ・プローブ３は超音波発生素子群４を有している。この素子群４は、欠陥部２を有する検査対象物１に対して超音波の発信・受信を行う複数の素子Ｐ1〜Ｐ100で構成されている。超音波制御手段６は、これら素子Ｐ1〜Ｐ100の超音波発信・受信動作の制御を行い、超音波受信信号を超音波解析手段７に送出する。超音波解析手段７の欠陥部有無判別手段８は、最初の超音波発信・受信動作により得られた超音波受信データを簡易解析することにより欠陥部２の有無を判別する。そして、欠陥部位置特定手段９は、欠陥部２が有ると判別された場合、次回以降の超音波発信・受信動作により得られた超音波受信データを詳細解析することにより欠陥部２の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】サンプルの損失を減らし、シグナルの干渉及びノイズを減少させることができるＳＡＷセンサーデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷセンサーデバイス１０１に関する技術であって、発振器３１０、３２０、３３０、３４０をＳＡＷセンサー２１０、２２０、２３０、２４０と平行にならないように装着することにより、ＳＡＷセンサー間の間隔を縮小することができる。従って、サンプル試料の浪費を画期的に減らすことができ、発振（Ｏｓｃｉｌｌａｔｉｏｎ）方式であっても、シグナルの干渉及びノイズを減少させることができ、センシング感度が高く、経済性に優れる。 （もっと読む）

【課題】表面が凹曲面の検査対象物の深い位置にも超音波を集束させることのできる超音波探触子を提供する。
【解決手段】検査対象１０２の凹曲面の曲率半径の２分の１から３分の２の曲率半径を持つ音響レンズ１０３を超音波発生又は／及び受信用素子１０５と検査対象１０２との間に介在させ、音響レンズ１０３から中間媒質（接触媒質）へ超音波が伝播する際の超音波の拡散方向への屈折で、検査対象１０２の凹曲面による超音波の集束効果を低減して、凹曲面から深部（凹面の曲率半径の数倍程度）にて超音波を集束させ、その深部に有る欠陥１０６からの超音波のエコーを逆伝播経路で受信する。 （もっと読む）

【課題】２次元アレイ構造を有する超音波プローブにおいて、歩留まり向上を実現する。
【解決手段】超音波プローブは、２次元状に配列された複数の振動子群１０を有する。各振動子群１０は、２次元状に配列された複数の振動子５０を有する。複数の振動子群１０には、複数の第１基板３０がそれぞれ電気的に接続されている。複数の第１基板３０には、単一の第２基板４０が電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】本発明においては、前記従来技術におけるギャップ法の問題を解決して簡便な装置で安定した超音波の伝達を可能にした超音波検査ができる超音波探触子を提供するものである。
【解決手段】上記課題を達成するために、
下面に振動子を備える超音波探触子本体と、該超音波探触子の周囲に設けられたスカート部分とからなり、スカート部分下面は超音波探触子本体下面よりも低位置にあって被検査体と当接し、超音波探触子本体とスカート部分と被検査体とで囲まれたギャップ部分に水を充填して超音波探傷を行う超音波探触子において、
前記スカート部分に第二の水供給路を設けるとともに、第二の水供給路の噴射口部分を被検査体との当接面側周囲に設けた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で位相速度を増加させると共に、群速度が一定の入射周波数の帯域幅を増加させて超音波の可視化性能を向上させるウェーブガイド超音波センサ装置を提供する。
【解決手段】対象体に対して超音波信号を送受信する超音波センサ１０と、超音波センサ１０の一側を支持して超音波信号のモードを切り替えるウェッジ２０と、ウェッジ２０と対象体との間に備えられ、送受信される超音波信号をガイドするウェーブガイド３０と、送受信される超音波信号を処理する高出力超音波システム５０とを含み、ウェーブガイドの外面のうちの少なくとも一部に酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）および／またはベリリウム（Ｂｅ）で形成されるコーティング層が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 半導体チップ１１と基板１２との間のはんだ１４の接合状態を低コストで実施するはんだ接合の検査装置の提供。
【解決手段】 検査対象物１０の表面近傍に設けられたワイヤボンディング装置のボンディングヘッド１中に含まれる超音波発振器と、この検査対象物１０の裏面に設けられ、超音波発振装置から検査対象物１０を通して伝達した超音波を受振する超音波受振子６と、超音波受振子６で受振した超音波の波形により検査対象物１０のはんだ接合状態を判断する判断装置８とを備える。 （もっと読む）

【課題】光源より照射される光の光路と機械電気変換素子の弾性波受信部を近づけることが可能な検査装置を提供する。
【解決手段】機械電気変換素子は、光源１０から照射された光により検査対象１で発生する弾性波を受けて弾性波を電気信号に変換する。光源１０より照射される光の光路中に置かれる機械電気変換素子の少なくとも一部が、光透過性を有し、光源１０からの光の少なくとも一部が機械電気変換素子を通過して検査対象１に照射される。 （もっと読む）

【課題】管状被探傷材の軸方向に対して種々の傾斜角度を有するきずを高精度に且つ高速に探傷することが可能な超音波探触子等を提供する。
【解決手段】本発明は、管状の被探傷材Ｐを超音波探傷するための超音波探触子１Ａであって、環状の曲面に沿って配列された複数の振動子１１を備え、前記環状の曲面は、所定の回転楕円体Ｍを、当該回転楕円体の中心Ｏを通らず且つ当該回転楕円体の中心を挟まずに対向し、なお且つ当該回転楕円体の回転軸に直交する２つの平行な平面Ｓ１及びＳ２で切断して得られる曲面であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】信号レベル検波方式を利用し、シンプル且つ小型な回路で、複数の素子部の応答の検波を容易に実現できる弾性表面波素子、センサ、センシングシステム、及び状態検知方法を提供すること。
【解決手段】測定用素子部１９と参照用素子部２１との間に、遅延線の構造を有する第１遅延部５１を備えているので、測定用素子部１９から出力される信号を参照用素子部２１から出力される信号に対して遅延させることができる。つまり、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、時間的にずらすことができる。従って、測定用素子部１９から出力される信号と参照用素子部２１から出力される信号とを、無線によって送信した場合でも、その信号を受信した外部装置３では、両信号の時間的ずれにより、両信号を分離することができる。 （もっと読む）