【課題】 素子毎の電気信号を入出力する配線を各素子から素子基板の周辺部の接続パッドまで引き出す場合、素子毎に変換特性のばらつきが生じやすい。
【解決手段】 本発明の電気機械変換装置の回路部は、素子部の素子基板の前記反対側の面と接合された回路基板と、前記回路基板に形成された複数の第二の接続端子と、前記素子基板の裏面に形成された複数の第一の接続端子と前記第二の接続端子とを夫々電気的に接続する複数の第二の配線と、を有し、前記複数の第二の接続端子は、前記回路基板の前記素子基板が接合された面とは反対側の面に形成され、前記複数の第二の配線は夫々、前記回路基板に前記第一の接続端子毎に形成された貫通孔を通り、前記第一の接続端子と前記第二の接続端子とを電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】高温環境で、長期間にわたるプラントの稼動／運転停止の際の熱サイクルにより繰り返される熱衝撃に対して超音波センサの接合を維持する。
【解決手段】被検査対象に設置して超音波を送受信し、被検査対象の高温状態でモニタリングを行う超音波センサを用いた超音波検査装置において、超音波センサに超音波センサを加熱するヒータと超音波センサの温度を測定する温度センサを設ける。 （もっと読む）

【課題】保温材を取り外す必要なく、被検体の複雑形状部の状態を常時監視する。
【解決手段】被検体の複雑形状部に耐熱性を有する接着剤を適量塗布して該接着剤に薄膜センサを載せる第一の工程（ステップＰ３）と、薄膜センサに超音波探傷器を接続してセンサ信号波形を確認し、センサ信号波形が確認できたら信号強度を計測し、センサ信号波形が確認できなかったら再度第一の工程の処理を行う第二の工程（ステップＰ５）と、薄膜センサと超音波探傷器との接続を解除し、接着剤を硬化させる第三の工程（ステップＰ７）と、薄膜センサに超音波探傷器を接続してセンサ信号波形を確認し、センサ信号波形の強度が向上していれば薄膜センサの設置を完了し、センサ信号波形の強度が向上していなければ再度第一の工程の処理を行う第四の工程（ステップＰ９）とにより薄膜センサを被検体の複雑形状部に設置するようにした。 （もっと読む）

【課題】 超音波プローブ用に消費電力の小さい受信回路を提供する。
【解決手段】 受信回路（１０）は、超音波振動子で受信されたエコー信号の電流を増幅する増幅部（１２）と、増幅部に接続され出力電流に遅延時間を与える第１回路と第２回路とを有する遅延部（１４）と、を備える。そして、第１回路（１４２）及び第２回路（１４４）は、４ｎ（ｎは自然数）のキャパシタバンク（ＣＡ，ＣＢ）を有し、キャパシタバンクはそれぞれ、増幅部で増幅された出力電流が書き込まれ、容量が異なる二以上のコンデンサと、第１及び第２コンデンサに出力電流を書き込む書き込みスイッチ（ＷＳ）と、第１及び第２コンデンサに書き込まれた出力電流を読み出す読み出しスイッチ（ＲＳ）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】部品中の欠陥の寸法を決定するための方法及び装置を提供すること。
【解決手段】音響トランスデューサの線形アレイを、第１の焦線に沿って収束超音波ビームを伝搬させるために使用する。収束超音波ビームを、第１の焦線に実質的に垂直な第１のアレイ方向に欠陥を横切って移動させる。欠陥の寸法を、欠陥を横切って収束超音波ビームを移動させる際の欠陥からの収束超音波ビームの１以上の反射から決定する。 （もっと読む）

【課題】デバイスを破損させることなく、また歩留まり良く、フレキシブル基板に電子デバイスを実装させることができる電子デバイス搭載方法を提供する。
【解決手段】下面に導電部材を有する電子デバイス２１，２２をフレキシブル基板１０に搭載する方法であって、電子デバイス２１，２２をフレキシブル基板１０の上面に接合させる第１工程と、フレキシブル基板１０の下面側からフレキシブル基板１０に開口２１１，２２１を形成して、電子デバイス２１，２２の下面に設けられた導電部材を部分的に露呈させる第２工程と、フレキシブル基板１０の下面に電子デバイス２１，２２の導電部材と電気的に接続する配線パターン３０を形成する第３工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易に測定でき、かつ、測定の精度を向上できる。
【解決手段】弾性表面波を伝播する圧電素子基板（１０）と、電気信号と前記弾性表面波との変換を行う電極（１１−１ａ、１１−１ｂ、１１−２ａ、及び１１−２ｂ）と、前記弾性表面波の伝播路に配置され、検体である液体が導入される検出領域（１２）と、前記検出領域に接触し、液体が浸潤する多孔性基材（１３）と、前記電極が液体と接触することを防ぐ封止構造（１４−１及び１４−２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ｄ_３３方式で駆動される圧電素子において、分極処理時に圧電薄膜にかかる応力を低減し、下地層との界面付近まで圧電薄膜を分極処理することにより、駆動電圧の増大および特性低下を回避する。
【解決手段】圧電素子は、開口部を有する基板と、振動板と、圧電薄膜と、複数の電極とを備えている。振動板は、開口部を覆うように基板上に形成される。圧電薄膜は、振動板に対して基板とは反対側に形成されて、振動板を振動させる。複数の電極は、圧電薄膜に対して略面内方向に電界を印加するように設けられている。上記の圧電薄膜は、菱面体晶の（００１）配向膜で構成されている。 （もっと読む）

【課題】弾性波センサのセンシングの正確性を向上させる。
【解決手段】弾性波センサ１は、圧電体２と、圧電体２の上に形成された複数の電極３、４と、圧電体２の上であって複数の電極３、４の間の伝搬路の上に形成された反応部５と、電極３によって励振される弾性波の特性を検出する検出部（図示せず）とを備え、反応部５は、枝分かれするように積み重なり、一体的に結合した複数の粒子からなることを特徴とする。この特徴により、反応部５の表面積が大きくなり、反応部５に吸着される検出対象物質量が増加する。このため、弾性波センサ１のセンシング精度が向上する。 （もっと読む）