【課題】高い位置精度でシリコンが埋め込まれ、かつ反りの小さいシリコン埋込ガラス基板とその製造方法を提供する。
【解決手段】第１主面と第２主面を有するガラス基体にシリコンが埋め込まれてなるシリコン埋込ガラス基板であって、ガラス基体は、互いに異なる線膨張係数を有する第１ガラス層と第２ガラス層とを含んでなり、第１ガラス層の表面が第１主面を構成し、第２ガラス層の表面が第２主面を構成する。 （もっと読む）

【課題】圧電片に加わる外力を高精度にかつ容易に検出することができる外力検出装置を提供すること。
【解決手段】水晶片２を容器１内に片持ちで支持する。水晶片２の例えば中央部にて上面及び下面に夫々励振電極３１、４１を形成する。水晶片２の下面側の先端部に、下面側の励振電極４１に引き出し電極４２を介して接続される可動電極５を形成し、この可動電極５に対向して容器１の底部に固定電極６を設ける。上面側の励振電極３１と固定電極６とを発振回路１４に接続する。水晶片２に外力が加わって撓むと、可動電極５と固定電極６との間の容量が変わり、この容量変化を水晶片の発振周波数の変化として捉える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、可動部を気密封止する封止構造体の割れを抑制し、かつ、加速度の測定精度の低下も回避できる静電容量型加速度センサーを提供することを目的とする。
【解決手段】加速度を検出するコンデンサーを形成する加速度センサー可動部および加速度センサー非可動部と、該加速度センサー可動部と接触せず該加速度センサー可動部を気密封止する封止構造体とを備え、該加速度センサー可動部および該加速度センサー非可動部が該コンデンサーを形成する部分では、該加速度センサー可動部および該加速度センサー非可動部が櫛歯形状であり、該加速度センサー非可動部の該櫛歯の一部は該封止構造体の支柱であり、該支柱は該加速度センサー可動部に囲まれるが該加速度センサー可動部に直接接触せず、かつ、両端が該封止構造体の内壁と接する。 （もっと読む）

【課題】圧電板に加わる外力を高精度にかつ容易に検出することができる技術を提供すること。
【解決手段】水晶板２を容器１内に片持ちで支持する。水晶板２の例えば中央部にて上面及び下面に夫々励振電極３１、４１を形成する。水晶板２の下面側の先端部に、下面側の励振電極４１に引き出し電極４２を介して接続される可動電極５を形成し、この可動電極５に対向して容器１の底部に固定電極６を設ける。上面側の励振電極３１と固定電極６とを発振回路１４に接続する。水晶板２に外力が加わって撓むと、可動電極５と固定電極６との間の容量が変わり、この容量変化と水晶板２の変形とを発振回路１４の発振周波数の変化として捉える。また、外力の加わる方向と外力が加わる前における水晶板２の長さ方向に沿った可動電極５の向きとのなす角度θを３０°〜６０°、より好ましくは４０°〜５０°に設定して測定する。 （もっと読む）

【課題】スティッキングを抑制することができつつ、ストッパ部の破損を抑制することのできる静電容量式センサを得る。
【解決手段】錘部（可動電極）４３と固定電極４２の対向壁部４３ｅ、４２ｅどうし、錘部４３とばね部４４の対向壁部４３ｆ、４４ｆどうし若しくはばね部４４の対向壁部４４ｇ、４４ｇどうしのうち少なくとも何れか一つに、互いに相手側に向けて突出して錘部４３が動作した際に当該錘部４３の可動範囲を制限する一対のストッパ部５０，５０を設けるとともに、一対のストッパ部５０，５０を、線接触または面接触させるようにする。 （もっと読む）

【課題】加速度に応じて感度を変化させることができる信頼性の高い加速度センサを得る。
【解決手段】質量部５に可動電極６の一端が連結されている。質量部５及び可動電極６は、加速度に応じてシリコン基板１に対して変位可能である。固定電極７ａ，８ａは、可動電極６の側面に対向して配置され、シリコン基板１に固定されている。容量・電圧変換回路１２は、可動電極６と固定電極７ａとの間の容量Ｃ１１の変化と、可動電極６と固定電極８ａとの間の容量Ｃ１２の変化とを電気信号に変換する。固定電極７ａは、固定電極８ａよりも可動電極６に近く、可動電極６の変位量を規制するストッパとして機能する。固定電極７ａと質量部５との距離は、固定電極８ａと質量部５との距離とは異なる。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板と絶縁基板とを接合した時に形成される密閉空間部の圧力を調整することの可能なＭＥＭＳセンサを得る。
【解決手段】シリコン基板４と、シリコン基板４の上下両面４ａ、４ｂに接合される一対の絶縁基板２、３と、シリコン基板４と絶縁基板２、３とを接合した時に形成される密閉空間部６とを備えたＭＥＭＳセンサ１において、絶縁基板２、３またはシリコン基板４の露出した外表面３ｂに、密閉空間部６と連通する貫通孔７を設ける。 （もっと読む）

【課題】全体の大形化を抑えながらも、外部応力に起因する可動電極部の変形を効果的に防止する。
【解決手段】支持基板２上に絶縁層３を介して設けられた単結晶シリコン層４に溝を形成することにより、可動電極部６及び固定電極部７，８からなるセンサエレメント５を設ける。可動電極部６は、錘部６ａから櫛歯状に延びる可動電極６ｄを有し、錘部６ａの前後両端部に梁部６ｂを有すると共に、前端側に第１のアンカ部６ｃを有している。アンカ部６ｃの上面に、アルミ製の電極パッド９を設ける。アンカ部６ｃに、応力遮断用の２本のスリット１２を単結晶シリコン層４全体が除去される深さで形成する。各スリット１２は、アンカ部６ｃの左右の両側縁部から、電極パッド９の左右両端縁部を延ばした仮想延長線を横切る位置まで内側に延びている。スリット幅寸法ｃを５μｍ以上とする。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上させることが可能な物理量センサーの製造方法の提供。
【解決手段】物理量センサーの製造方法は、ベース基板に溝部を形成し、溝部内に配線を設けるベース基板配線形成工程Ｓ１と、センサー基板に導電性を有する突起部を設けるセンサー基板突起部形成工程Ｓ２と、配線と突起部とが、平面視において、互いに重なるようにベース基板とセンサー基板とを位置合わせする位置合わせ工程Ｓ３と、ベース基板とセンサー基板とを接合し、配線と突起部とを接続する接合工程Ｓ４と、センサー基板をエッチングしてセンサー素子を形成するセンサー素子形成工程Ｓ５と、を含み、配線の厚さ寸法ｔ１を溝部の深さ寸法ｄよりも小さく、且つ、配線の厚さ寸法ｔ１と突起部の厚さ寸法ｔ２との和を、溝部の深さ寸法ｄよりも大きくすることを特徴とする（ｄ＞ｔ１、且つ、ｄ＜（ｔ１＋ｔ２））。 （もっと読む）

【課題】小型化及び検出精度の向上が可能な物理量センサーの提供。
【解決手段】物理量センサー１は、ベース基板２と、ベース基板２の第１主面２ａに設けられた固定部３１，３２と、連結部３４，３５と、可動部３３と、可動部３３に設けられた可動電極指３６１〜３６５と、ベース基板２の第１主面２ａに設けられ、且つ、可動電極指３６１〜３６５に対向して配置された固定電極指３８１〜３８８と、を備え、固定電極指３８１〜３８８は、可動電極指３６１〜３６５の一方の側に配置された第１固定電極指３８２，３８４，３８６，３８８と、他方の側に配置された第２固定電極指３８１，３８３，３８５，３８７と、を有し、第１固定電極指（３８２など）は、ベース基板２の第１主面２ａに設けられた配線４１に接続され、第２固定電極指（３８１など）は、貫通電極４７１を介してベース基板２の第２主面２ｂに設けられた配線４２に接続されている。 （もっと読む）