【課題】周波数が変化する高周波電源装置を使用するプラズマ処理システムでも、保持している一部の周波数に対する校正データから生成する校正データにより、所定の周波数範囲で校正を行うことができる高周波測定装置を提供する。
【解決手段】高周波測定装置において、高周波信号を検出する信号検出手段と、下限周波数ｆminにおける検出値Ａminと上限周波数ｆmaxにおける検出値Ａmaxをそれぞれ真の測定値ＡＳminとＡＳmaxに校正するための校正データＣmin，Ｃmaxが記憶された校正データ記憶手段と、高周波信号の周波数ｆｍを検出する周波数検出手段と、周波数ｆｍに対する校正データＣｍを演算する校正データ演算手段と、校正データ演算手段で演算された校正データＣｍを用いて信号検出手段で検出された検出値Ａｍを真の測定値ＡＳｍに校正する測定値校正手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 低コスト化を実現して、局所的な磁界や高周波磁界を磁界センシング部に高精度に印加する工夫が施されたプローブカードを提供する。
【解決手段】 上記目的を達成する本発明のプローブカードは、プローブピン４を支持する基体１１と、該基体１１に支持された、上記プローブピン４がウエハ７上の１つのチップの磁気センサ端子７４に接触したときにその１つのチップと同一のチップの磁界センシング部７２に磁力を与える電磁石８とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ホイートストンブリッジ回路を構成する各抵抗の抵抗値を測定できる装置を提供する。
【解決手段】ホイートストンブリッジ回路を構成する抵抗の抵抗値を測定するホイートストンブリッジの抵抗測定システムであって、ホイートストンブリッジ回路の４つの端子電極それぞれに２本ずつ接触させるためのプローブカード４のプローブ針と、ホイートストンブリッジ回路の端子電極と、プローブ針をフリッティング現象を利用して導通させるフリッティング用回路５と、４つの端子電極のそれぞれと導通する２本のプローブを用いて、四端子法によってホイートストンブリッジ回路の端子間の電流及び電位差を測定する抵抗測定部３と、を有する。また、抵抗測定部３によって測定された端子間の電流及び電位差を用いて、ホイートストンブリッジ回路を構成する各抵抗の抵抗値を演算する抵抗測定制御部２を備える。 （もっと読む）

【課題】フラックスゲート型地磁気センサにあって、いわゆるセルフチェック機能を持たせた。
【解決手段】磁心１に巻回された励磁コイル２と磁心１及び励磁コイル２を囲むように巻回された検出コイル４とを有するフラックスゲート５と、検出コイル２による検出信号を処理し地磁気の強さに相応する出力信号を得る検出回路６と、を有するフラックスゲート型地磁気センサにおいて、磁心１及び励磁コイル２を囲むように巻回された自己診断用励磁コイル２０と、この自己診断用励磁コイル２０に自己診断信号を送出し自己診断用励磁コイル２０での自己診断信号に基づく検出コイル４での検出信号の変化にて自己診断を行う自己診断制御部２１と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 通信プログラムの作成・修正に関する知識がなくても校正を行うことができる測定装置、測定装置の調整又は校正方法及び校正システムを提供すること。
【解決手段】 調整又は校正動作を制御するホストＰＣの制御に基づき、標準器の標準出力値との比較によって調整又は校正される測定装置において、
文字列からなる前記標準器の標準出力値を、数値に変換することで調整値又は校正値を算出するファイル変換手段と、
前記ファイル変換手段によって算出された調整値又は校正値を用いて調整又は校正を行う調整・校正手段と
備える。
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【課題】 電力量測定器の交換やエネルギー診断の際も蓋を閉めて使用することができると共に脱落や短絡を防止するチェックターミナルと、これを用いた電力量測定方法を提供する。
【解決手段】 チェックターミナルＣＴは、箱１に収納した試験用端子１０と第二の電力量測定器とを接続するリード線７ａ〜７ｃが通る切欠き４ａ，４ｂを設けた蓋２を有する。第二の電力量測定器と接続した測定用リード線の先端に設けた端子２４を試験用端子１０に接続した状態で固定し、リード線が通る切欠き４ａ，４ｂを設けた蓋体２を箱１の開口部に被せた状態で電力量を測定する。 （もっと読む）

【課題】位相校正された信号源を直接は適用できない高周波数帯域の振幅測定データを用いて、１つの帯域における複数の周波数の複数の信号を一度に測定する測定装置が含むアナログ信号パスを等化にするフィルタを求める。
【解決手段】正弦波信号源を正確なパワーメータと共に用いて、周波数が所望の周波数帯域に渡ってステップ状に変化する入力信号を、振幅を正確に測定しながらアナログ信号パスに供給する。アナログ信号パスの出力信号をデジタル化し、得られる周波数の振幅を算出する。得られたパワーメータの結果を測定装置で測定した周波数の振幅から差し引いて、アナログ信号パスの振幅応答を求める。所望の周波数帯域が最小位相であるとの仮定に基いて、ヒルベル変換を用いて対応する位相応答を求める。振幅応答及び位相応答から、アナログ信号パスを等化にする逆特性のデジタル等化フィルタを設計できる。 （もっと読む）

【課題】被検査装置（ＤＵＴ）の出力インピーダンスを許容インピーダンスの所定の範囲内に実質的に正確に較正することを行う。
【解決手段】ＤＵＴは、ソース直列終端（ＳＳＴ）シリアル・リンク送信器の一部であり、当該送信器において、並列トランジスタの２つの分岐は、それぞれ、並列分岐の特定のトランジスタがオンになる場合に、インピーダンス値を提供する。当該インピーダンス値は、直列接続された抵抗器に付加されて、出力インピーダンスを提供する。ＤＵＴは、抵抗器に直列な並列トランジスタの１つの分岐からなる。ＤＵＴの出力インピーダンスは、基準抵抗器の抵抗と比較され、比較器は、出力インピーダンスが基準抵抗の予め設定されたパーセンテージ変動内に収まるかどうかに基づいて、制御信号を提供する。制御信号は、ＤＵＴインピーダンス値が所望の範囲内に収まるまで、並列分岐内のトランジスタを個別にオンまたはオフするように動作するＦＳＭ（有限ステート・マシン）によって処理される。 （もっと読む）

【課題】従来は、表面電位計の校正を簡便に行うことができなかった。それゆえ、表面電位計のユーザの多くは、表面電位計の校正を外部に委託せざるを得ず、そのための委託費用が発生するという問題があった。
【解決手段】校正用固定治具１は、上板２と、上板２の辺Ｓ１（第１の辺）に連設された側板５ａ（第１の側板）と、上板２の辺Ｓ１に相対する辺Ｓ２（第２の辺）に連設された側板５ｂ（第２の側板）と、上板２に設けられ、校正対象となる表面電位計のプローブ部が挿入される開口部３と、を備えている。 （もっと読む）

４点探針は、本体と、１つの探針をそれぞれ含む４つの探針アームとを有し、これらの探針アームは本体から平行に延在する。４点探針は、電気信号を送信及び受信するための試験装置と、これらの探針との間に電気的な接触を確立するための複数の電気接点を含む。本方法は、探針アームを試験サンプルの表面に接触するように位置合わせするステップと、第１及び第２の探針アームを備える第１の組と、第３及び第４の探針アームを備える第２の組を選択するステップと、試験装置から、第１の組の第１の探針アームを介して第１の組の第２の探針アームに、試験サンプル中を伝搬する第１の電流を印加するステップと、第２の組の第３の探針アーム間の第１の誘起された電圧を検出するステップと、第１の電圧と第１の電流との比である第１の４点抵抗Ｒ_{ｆｉｒｓｔ}を計算するステップとを含む。
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