【課題】動作の遅延を抑制しつつ、空間光変調素子の温度変化に伴う位相分布の歪みを抑える。
【解決手段】空間光変調装置１Ａは、位相変調型の空間光変調素子１０と、空間光変調素子１０の温度を検出する温度センサと、駆動信号ＳＤを空間光変調素子１０に提供する制御部２０Ａとを備える。制御部２０Ａは記憶部２２を有する。記憶部２２は、空間光変調素子１０の位相歪みを補正するために空間光変調素子１０のＮ個（Ｎは２以上の整数）の温度値に対応して作成されたＮ個の補正用パターンを記憶している。制御部２０Ａは、空間光変調素子１０の温度値に応じて一の補正用パターンを選択し、該一の補正用パターンを所望の位相パターンに加算することにより作成される位相パターンに基づいて駆動信号ＳＤを生成する。 （もっと読む）

【課題】反射膜間のギャップを精度よく設定可能な波長可変干渉フィルターを提供すること。
【解決手段】本発明の波長可変干渉フィルター５は、第一基板５１と、第二基板５２と、第一反射膜５６と、可動部５２１に設けられ、第一反射膜５６と光学ギャップを介して対向する第二反射膜５７と、第一基板５１に設けられた第一電極部５４１と、第一電極部５４１に電極間ギャップを介して対向する第二電極５４２と、を備え、前記第一電極部５４１は、第一電極５４１１と、第一電極５４１１の第二基板５２に臨む側の面を覆う絶縁層５４１２と、絶縁層５４１２の第二基板５２に対向する面を覆い、電極間ギャップを介して第二電極５４２に対向し、かつ第一電極５４１１と絶縁された導電性部材５４１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光分析装置に組み込んだ際にＳ／Ｎ比を高くできて高精度の測定を行うことができる波長可変干渉フィルター、光モジュールと、高精度の測定を行うことができる光分析装置を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルターであるエタロン５は、第１基板５１と、第２基板５２と、固定ミラー５４と、可動ミラー５５と、静電アクチュエーター５６を備える。各ミラー５４，５５は、一層のＴｉＯ_２膜５７と、一層の合金膜５８とが積層されて形成される。ＴｉＯ_２膜５７の膜厚寸法ＴおよびＡｇ合金膜５８の膜厚寸法Ｓは、参照波長５６０ｎｍの反射率が目標反射率９１％となり、かつ、設定波長４００ｎｍの反射率が、前記金属膜のみで反射膜を構成した場合より低くなる膜厚に設定される。 （もっと読む）

【課題】基板に生じる撓みを低減して、分解能を向上させた波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１反射膜５６と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられ第１反射膜５６と対向する第２反射膜５７と、第１基板５１の第２基板５２との対向面に設けられた第１電極５３と、第２基板５２の第１基板５１との対向面に設けられた第２電極５４とを備え、第２基板５２は、第２反射膜５７を設けた可動部５２２と、可動部５２２を基板厚み方向に移動可能に保持する連結保持部５２３とを備え、連結保持部５２３は可動部５２２を囲んで連続して、かつ可動部５２２より厚み寸法が小さく形成され、第２電極５４は第２基板５２の連結保持部５２３より厚み寸法が大きい部分に設けられる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で電極間の導通を可能にする波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置を提供すること。
【解決手段】エタロン５は、固定基板５１と、固定基板５１に対向する可動基板５２とを備える。固定基板５１は、接合膜５３１，５３２を介して可動基板５２に接合される第１接合面５１５と、第１電極５６１の一部が形成される第１電極面５１６とを備える。可動基板５２は、接合膜５３１，５３２を介して第１接合面５１５に接合される第２接合面５２４と、第２電極５６２の一部が形成される第２電極面５２５とを備える。固定基板５１及び可動基板５２が接合膜５３１，５３２により接合された状態において、第１電極面５１６に形成された第１電極５６１と、第２電極面５２５に形成された第２電極５６２とが接触する （もっと読む）

【課題】分散素子による偏波依存性損失を低減でき、出力される光信号のＳ／Ｎを向上できる波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】 入力ポート１０ａ−１０ｄと、入力光を分散する第１分散部３０ａ，３０ｂと、分散される光を偏向する偏向部５０と、偏向部５０で偏向された光を波長多重する第２分散部３２と、波長多重された光を出力する出力ポート１０ｅと、を備え、第１分散部３０は、入力ポート１０ａ−１０ｄからの光を分散する第１分散素子３１ａ，３１ｂを備え、第２分散部３２は、偏向部５０により偏向された光を分散して出力ポート１０ｅに入射させる第２分散素子３３を有し、第２分散素子３３は、第１分散素子３１ａ，３１ｂの偏光特性を相殺するような偏光特性を有する。 （もっと読む）

【課題】容易に配線を接続可能な波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供すること。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５では、第１基板５１の第２基板５２との対向面に第１電極５３、第１電極５３から延出する第１電極引出部５３１Ｌ，５３２Ｌ、および少なくとも一部が第２電極引出部５４２Ｌと対向する第３電極引出部５４３Ｌを設け、第２基板５２の第１基板５１との対向面に第２電極５４および第２電極５４から延出する第２電極引出部５４２Ｌを設け、第２電極引出部５４２Ｌおよび第３電極引出部５４３Ｌが設けられた引出部形成溝５１５と、引出部形成溝５１５と外部とを連通する貫通孔５２４と、貫通孔５２４に接続される引出部形成溝５１５に配置され第２電極引出部５４２Ｌと第３電極引出部５４３Ｌとを導通させる導電性部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】ギャップ量を精度良く得る光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】光フィルター１０は、第１基板２０と、第２基板３０と、第１基板２０に設けられた第１反射膜４０と、第２基板に設けられた第２反射膜５０と、平面視で第１反射膜の周囲の位置にて第１基板２０に設けられた第１，第２固定電極６２，６４と、第２基板に設けられて第１，第２固定電極と対向する第１，第２可変電極７２，７４とを有し、第１、第２可変電極は反射膜を中心とした、中心対称構造なるように、第２可変電極のスリット部を形成した。 （もっと読む）

【課題】可動ミラーの応答性を向上できる波長可変干渉フィルター、光モジュール、光分析装置、および波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定ミラー５５を有する第一基板５１と、第一基板５１に接合され、可動部５２２および可動部５２２に固定される可動ミラー５６を備えた第二基板５２と、第一基板５１とは反対側で第二基板５２に接合される第三基板５３と、可動部５２２を基板対向方向に変位させる静電アクチュエーター５４とを備え、第一基板５１と第二基板５２との間の射出側空間５８１および第二基板５２と第三基板５３との間の入射側空間５８２を外部に連通する貫通孔５１７が形成され、貫通孔５１７は各空間５８１，５８２を減圧状態に密閉する封止材で封止される。 （もっと読む）

【課題】光学基板に備わるアクチュエータの特性のバラツキにかかわることなく、高速且つ正確に光学特性を変化させることのできる可変分光素子を提供する。
【解決手段】第１〜第４センサが、一対の光学基板の対向面の重心を結んだ線を軸として対称となる位置に配置された可変分光素子であって、第１〜第４アクチュエータ４_１〜４_４の各々が、一対の光学基板の対向面の重心から第１〜第４センサの各々の中心方向へ伸びる線の線上に配置され、第１〜第４センサの信号から、一対の光学基板の対向面の重心同士の間隔を算出し、第１・第３センサの信号、第２・第４センサの信号から、夫々、移動させる光学基板の対向面と重心を結んだ線に垂直な面がなす第１の角度、第２の角度を算出し、第１・第２センサの信号から夫々の配置位置での一対の光学基板の対向面同士の面間隔との差分を算出し、間隔、角度、差分に基づいて第１〜第４アクチュエータを駆動する。 （もっと読む）